Chế tạo vi mô - nano



Chế tạo vi mô - nano

Chế tạo vi mô - nano

Thiết bị lắng đọng từng lớp nguyên tử (ALD)

• Dòng ALD

Máy đánh bóng cơ-hóa học (CMP)

• Máy đánh bóng đơn AP 300

• xCMP 150

Giải pháp phủ tùy chỉnh

• Mẫu CCS

Hệ thống quang khắc chùm electron (EBL)

• Hệ thống chiếu chùm electron Pharos310

Giải pháp chân không cao

• Thiết bị tinh chế thăng hoa phân tử nhỏ

Đặc trưng vi mô - nano

Surface Analysis

Kính hiển vi lực nguyên tử (AFM)

• Hệ thống đo điện AFM

• Bộ điều khiển kép AFM Galaxy

• Đầu dò kính hiển vi quét giáo dục

• Kính hiển vi quét đường hầm giáo dục (FM-Nano View T-STM)

• HYBRID NANOPROFILER (AFX-1000-3D)

• Nano - Observer XL

• Nano - Giải pháp hiệu quả chi phí tốt nhất của Observer AFM

• Park NX-7

• Park NX-10

• Park NX-20

• Park NX-Wafer

Quang phổ học Raman & PL đồng tiêu

• Kịch bản ngoại tuyến cho Demo & Chế tạo tùy chỉnh (QC/QA/FA/RD)

• Kịch bản nội tuyến cho Chế tạo tùy chỉnh & Tự động hóa

Kính hiển vi thu phóng kỹ thuật số

• Kính hiển vi thẳng đứng kỹ thuật số

• Kính hiển vi soi nổi kỹ thuật số

Hệ thống kính hiển vi (Microscope System)

• Hệ thống kính hiển vi siêu phổ

• Kính hiển vi trở kháng vi sóng quét (sMIM)

• Kính hiển vi nhiệt quét (SThM)

Kính hiển vi điện tử quét phát xạ trường FESEM

Đo độ dày màng

• Máy đo độ elip

Máy đo biên dạng xúc giác

• Máy đo biên dạng xúc giác Tencor^® P-7

Hệ thống phát hiện quang học

• AT-1

Máy đo biên dạng quang học

• Máy đo biên dạng quang học Profilm3D

Đo lường quang học

• Kính hiển vi đo 3D Micro1000

• HUD (Màn hình hiển thị trên kính lái)

• Máy kiểm tra ứng suất bên trong tấm bán dẫn SV200

• Đồng hồ đo độ cong vênh của tấm bán dẫn

Phân tích cơ học & tại chỗ

Chụp ảnh phát quang catốt

• Hệ thống chụp ảnh & phát hiện phổ phát quang catốt

• Hệ thống chụp ảnh phát quang catốt

Hệ thống tại chỗ

• Hệ thống gia nhiệt thiên vị tại chỗ cho kính hiển vi điện tử

• AFM tại chỗ trong SEM

• Chip & giá đỡ gia nhiệt tại chỗ

• Bộ điều khiển nano bốn bậc tự do TEM tại chỗ

• Thử nghiệm kéo căng tại chỗ

Kiểm tra cơ học & logic ma sát học

• Đo lực

• Máy đo ma sát

Đặc Tính Điện

Trạm dò mẫu

Resistivity Measurement System

Hệ thống lập bản đồ điện trở suất lớp mỏng

• Dòng Filmetrics^® R54

Thiết bị phụ trợ vi mô - nano

Bộ cách ly rung động

Bộ cách ly rung động chủ động

• Hệ thống cách ly chủ động để bàn

• Hệ thống cách ly chủ động nhỏ gọn cho SEM thông thường

• Hệ thống cách ly chủ động khí nén dạng nền

• Hệ thống cách ly chủ động cho đo lường quang học laser

• Hệ thống cách ly chủ động kèm buồng chống ồn

• Vỏ đa năng

• MINI-450F

• MINI-560F

• Dòng ARISTT

• Dòng ARISMD PRO

Bộ cách ly rung động thụ động

• Dòng SOTOTT

• Dòng SOTOMD PRO

Tùy chỉnh bộ cách ly rung động

• Vỏ đa năng

• SMU

Máy phân phối chính xác 3 trục

Yêu cầu Báo giá

Liên hệ với Chúng tô

Gửi E-mail

Vật tư tiêu hao thông thường (Phụ kiện)

Ứng dụng & Dịch vụ