Chiều cao bậc thang

Máy đo độ nghiêng Tencor P-7 có khả năng đo chiều cao bậc thang 2D và 3D từ nanomet đến 1000µm. Điều này cho phép định lượng vật liệu lắng đọng hoặc loại bỏ trong quá trình khắc, phun, SIMS, lắng đọng, phủ quay, CMP và các quy trình khác. Tencor P-7 có khả năng kiểm soát lực không đổi, điều chỉnh động để tác dụng cùng một lực lên bề mặt mẫu, bất kể chiều cao bậc thang. Điều này mang lại độ ổn định đo tốt và cho phép đo chính xác các vật liệu mềm, chẳng hạn như chất cản quang.

Kết cấu: Độ nhám và độ gợn sóng

Tencor P-7 đo kết cấu 2D và 3D, định lượng độ nhám và độ gợn sóng của mẫu. Các bộ lọc phần mềm tách phép đo thành các thành phần độ nhám và độ gợn sóng và tính toán các thông số, chẳng hạn như độ nhám bình phương trung bình căn bậc hai (RMS).

Hình dạng: Độ cong và hình dạng

Tencor P-7 có thể đo hình dạng 2D hoặc độ cong của bề mặt. Bao gồm phép đo độ cong của wafer có thể do sự không khớp giữa các lớp trong quá trình chế tạo thiết bị, chẳng hạn như lắng đọng nhiều lớp để sản xuất thiết bị bán dẫn hoặc bán dẫn hợp chất. Máy định hình để bàn Tencor P-7 cũng có thể định lượng chiều cao và bán kính cong của các cấu trúc, chẳng hạn như thấu kính.

Ứng suất: Ứng suất màng mỏng 2D và 3D

Máy định hình Tencor P-7 có khả năng đo ứng suất phát sinh trong quá trình chế tạo thiết bị có nhiều lớp quy trình, chẳng hạn như thiết bị bán dẫn hoặc bán dẫn hợp chất. Độ cong của bề mặt được đo chính xác bằng cách sử dụng mâm cặp ứng suất để hỗ trợ mẫu ở vị trí trung tính. Sau đó, sự thay đổi hình dạng từ một quy trình, chẳng hạn như lắng đọng màng, được sử dụng để tính ứng suất bằng cách áp dụng phương trình Stoneys. Ứng suất 2D được đo bằng một lần quét duy nhất trên đường kính mẫu đối với các mẫu có kích thước lên đến 200mm mà không cần khâu. Ứng suất 3D được đo bằng cách kết hợp các lần quét 2D, với giai đoạn theta xoay giữa các lần quét để đo toàn bộ bề mặt mẫu.

1. Chiều cao bước: Nanomet đến 1000µm

2. Lực thấp với điều khiển lực không đổi: 0,03 đến 50mg

3. Quét toàn bộ đường kính của mẫu mà không cần khâu

4. Video: Camera màu độ phân giải cao 5MP

5. Hiệu chỉnh vòng cung: Loại bỏ lỗi do chuyển động vòng cung của bút stylus

6. Phần mềm: Giao diện phần mềm dễ sử dụng

7. Khả năng sản xuất: Hoàn toàn tự động với trình tự, nhận dạng mẫu và SECS/GEM

Tùy chọn bút stylus

Tencor P-7 có nhiều loại bút stylus có sẵn để hỗ trợ đo chiều cao bước, các bước có tỷ lệ khung hình cao, độ nhám, độ cong mẫu và ứng suất. Bán kính đầu bút từ 100nm đến 50µm và xác định độ phân giải ngang của phép đo. Góc đi kèm từ 20 đến 100 độ, chỉ định tỷ lệ khung hình tối đa của tính năng được đo. Tất cả các bút stylus đều được sản xuất từ ​​kim cương để giảm mài mòn và tăng tuổi thọ của bút stylus.

Mâm cặp mẫu

Tencor P-7 có nhiều loại mâm cặp có sẵn để hỗ trợ các yêu cầu ứng dụng. Tiêu chuẩn là mâm cặp chân không phổ thông có chốt định vị chính xác cho các mẫu từ 50 đến 150mm. Mâm cặp phổ thông hỗ trợ các phép đo độ cong và ứng suất bằng bộ định vị 3 điểm để hỗ trợ mẫu ở vị trí trung tính. Có các tùy chọn bổ sung cho các mẫu năng lượng mặt trời và mâm cặp phổ thông 200mm.

Bàn cách ly

Tencor P-7 có cả tùy chọn bàn cách ly để bàn và bàn cách ly độc lập. Dòng sản phẩm Granite Isolator cung cấp các hệ thống để bàn kết hợp đá granit với gel silicon cấp cao để cung cấp khả năng cách ly thụ động. Hệ thống cách ly để bàn dòng Onyx sử dụng bộ cách ly khí nén để cung cấp khả năng cách ly thụ động. Bàn cách ly dòng TMC 63-500 là bàn khung thép độc lập sử dụng bộ cách ly khí nén để cung cấp khả năng cách ly thụ động.

Tiêu chuẩn chiều cao bậc

Tencor P-7 sử dụng các tiêu chuẩn chiều cao bậc mỏng và dày có thể theo dõi NIST do Tiêu chuẩn VLSI cung cấp. Các tiêu chuẩn có một bước oxit trên một khuôn silicon gắn trên một khối thạch anh, hoặc một bước thạch anh khắc với lớp phủ crôm. Có sẵn phạm vi chiều cao bước từ 8nm đến 250µm.

Phần mềm phân tích Apex

Phần mềm phân tích Apex nâng cao khả năng phân tích dữ liệu tiêu chuẩn của Tencor P-7 với bộ kỹ thuật phân tích địa hình bề mặt, lọc, độ cao bậc, độ nhám và san lấp mặt bằng mở rộng. Apex hỗ trợ các phương pháp tính độ nhám ISO cùng với các tiêu chuẩn địa phương như ASME. Apex cũng có thể đóng vai trò là nền tảng viết báo cáo với khả năng thêm văn bản, chú thích và tiêu chí đạt/không đạt. Apex được cung cấp bằng mười một ngôn ngữ.

Phần mềm phân tích ngoại tuyến

Tencor P-7 sử dụng các tiêu chuẩn độ cao bậc có thể theo dõi NIST dạng màng mỏng và dày do VLSI Standards cung cấp. Các tiêu chuẩn này có một bậc oxit trên khuôn silicon gắn trên khối thạch anh hoặc một bậc thạch anh khắc có lớp phủ crôm. Có sẵn phạm vi độ cao bậc từ 8nm đến 250µm.

Ứng dụng web ProfilmOnline

Filmetrics ProfilmOnline là nền tảng phân tích và hình ảnh hóa dữ liệu 3D dựa trên đám mây được phát triển như một phần của bộ phần mềm Profilm. ProfilmOnline là nơi chia sẻ, lưu trữ, xem và phân tích dữ liệu 3D, cho dù bạn đang sử dụng máy tính hay thiết bị di động. Có sẵn các ứng dụng cho hệ điều hành Android và iOS và hỗ trợ nhiều định dạng tệp khác nhau. Dữ liệu có thể được mã hóa để bảo mật.

Nhận dạng mẫu

Nhận dạng mẫu sử dụng các mẫu được dạy trước để tự động căn chỉnh mẫu. Điều này cho phép đo hoàn toàn tự động để tăng cường độ ổn định của phép đo bằng cách giảm tác động của lỗi vận hành. Nhận dạng mẫu kết hợp với hiệu chuẩn nâng cao giúp giảm lỗi định vị giai đoạn và cho phép chuyển công thức liền mạch giữa các hệ thống.

1. Các trường đại học, phòng nghiên cứu và viện

2. Chất bán dẫn và chất bán dẫn hợp chất

3. LED: Điốt phát sáng

4. Năng lượng mặt trời

5. MEMS: Hệ thống vi cơ điện tử

6. Lưu trữ dữ liệu

7. Ô tô

8. Thiết bị y tế

9. Và nhiều hơn nữa: Liên hệ với chúng tôi với yêu cầu của bạn