AFM-in-SEM
for In-Situ Correlative Microscopy
LiteScope
Chúng tôi giới thiệu Kính hiển vi lực nguyên tử (AFM) mang tính đột phá,
được thiết kế để tích hợp liền mạch với Kính hiển vi điện tử quét (SEM),
mở ra những khả năng mới cho kỹ thuật hiển vi tương quan in-situ.
Tại sao lại là AFM-trong-SEM?
Kính hiển vi điện tử quét (SEM) và kính hiển vi lực nguyên tử (AFM) là hai kỹ thuật được sử dụng phổ biến nhất và bổ trợ cho nhau trong việc phân tích mẫu ở phạm vi dưới nanomet.
Việc tích hợp AFM vào SEM kết hợp ưu điểm của cả hai công nghệ, tạo ra quy trình làm việc cực kỳ hiệu quả về thời gian,
và cho phép phân tích mẫu phức tạp mà trước đây rất khó
hoặc gần như không thể thực hiện được
bằng các hệ thống AFM và SEM riêng biệt theo phương pháp truyền thống.
Ưu điểm nổi bật của công nghệ
Phân tích mẫu đa phương thức tương quan
Công nghệ CPEM tiên tiến
cho phép thu nhận đồng thời dữ liệu AFM và SEM,
và liên kết chúng một cách liền mạch và chính xác.
Đặc trưng mẫu in-situ
Điều kiện in-situ bên trong SEM
đảm bảo rằng việc phân tích mẫu được thực hiện đồng thời, tại cùng một vị trí và trong cùng điều kiện.
Định vị chính xác vùng quan tâm
Phương pháp cực kỳ chính xác và tiết kiệm thời gian
sử dụng hình ảnh SEM để định hướng đầu dò AFM đến vùng quan tâm,
giúp xác định vị trí nhanh chóng và dễ dàng.
AFM
SEM
Trên mẫu, chùm tia electron được hướng gần đầu dò AFM với một khoảng cách cố định.
Cả hai đều giữ nguyên vị trí, trong khi mẫu được quét bằng bộ quét piezo của LiteScope.
Bằng cách này, dữ liệu từ cả hai kính hiển vi có thể được thu thập cùng lúc, tại cùng một vị trí và trong cùng điều kiện.
LiteScope mang đến cho người dùng những khả năng chưa từng có trong việc phân tích mẫu và tạo hình ảnh 3D tương quan tiên tiến,
với độ chính xác căn chỉnh hình ảnh vượt trội.
Tính linh hoạt của LiteScope chứng minh khả năng ứng dụng của nó trong nhiều lĩnh vực khác nhau.
trong các lĩnh vực như Khoa học vật liệu (Material Science), Công nghệ nano (Nanotechnology),
Chất bán dẫn (Semiconductors), Phát triển pin năng lượng mặt trời (Solar Cell Development),
Khoa học sự sống (Life Science) cũng như nhiều lĩnh vực nghiên cứu và ứng dụng công nghiệp khác.