Micro-Nano Processing



Micro-Nano Fabrication

Pemprosesan Mikro-Nano

Peralatan Pemendapan Lapisan Atom (ALD).

• Siri ALD

Mesin Penggilap Mekanikal Kimia (CMP)

• AP 300 Penggilap Tunggal

• xCMP 150

Penyelesaian Tersuai Salutan

• Model CCS

Sistem Litografi Rasuk Elektron (EBL)

• Sistem Pendedahan Rasuk Elektron Pharos310

Penyelesaian Vakum Tinggi

• Peralatan Penyucian Sublimasi Molekul Kecil

Micro-Nano Characterization

Surface Analysis

Atomic Force Microscopes (AFM)

• AFM Electrical Measurements Systems

• AFM Galaxy Dual Controller

• Educational Scanning Microscope Probe

• Educational Scanning Tunneling Micro-Scope (FM-Nano View T-STM)

• HYBRID NANOPROFILER (AFX-1000-3D)

• Nano - Observer XL

• Nano - Observer AFM Best Cost-Effective Solution.

• Park NX-7

• Park NX-10

• Park NX-20

• Park NX-Wafer

Confocal Micro Raman & PL Spectroscope

• Off - Line Scenario for Demo & Custom Made (QC/QA/FA/RD)

• In-Line Scenario for Custom Made & Automation

Digital Zoom Microscope

• Digital Upright Microscopes

• Digital Stereo Microscopes

Microscope System

• Hyperspectral Microscope System

• Scanning Microwave Impedance Microscopy (sMIM)

• Scanning Thermal Microscopy (SThM)

Field Emission Scanning Electron Microscope FESEM

Film Thickness Measurement

• Ellipsometers

Stylus Profiler

• Tencor® P-7 Stylus Profiler

Optical Detect System

• AT-1

Optical Profilometer

• Profilm3D Optical Profilometer

Optical Measurement

• 3D Measuring Microscope Micro1000

• HUD (Head-Up-Display)

• Wafer Internal Stress Tester SV200

• Wafer Warpage Stress Gauge

Pencirian In-Situ & Mekanikal

Pengimejan Cathodoluminescence

• Sistem Pengimejan Katodoluminesensi & Pengesanan Spektrum

• Sistem Pengimejan Cathodoluminescence

Sistem In-Situ

• Sistem Pemanasan Bias Dalam Situ Mikroskop Elektron

• In Situ AFM Dalam SEM

• Cip & Pemegang Pemanas Dalam Situ

• In-Situ TEM Empat Darjah-Kebebasan Nanomanipulator

• Ujian Tegangan Dalam Situ

Pengujian Logik & Mekanikal Tribologi

• Pengukuran Daya

• Tribometer

Pencirian Elektrik

Probe Stations

Sistem Pengukuran Kerintangan

• Siri Filmetrics® R50

• Modul Terahertz (FalconWave@-O)

• Peranti Pengimejan 2D Luar Talian Terahertz (FalconWave@-S)

• Pengimejan Masa Nyata Terahertz (FalconWave®-A/AH)

Sistem Pemetaan Kerintangan Lembaran

• Siri Filmetrics® R54

Peralatan Bantu Mikro-Nano

Pengasing Getaran

Pengasing Getaran Aktif

• Sistem Pengasingan Aktif Atas Jadual

• Sistem Pengasingan Aktif Padat Untuk SEM Normal

• Sistem Pengasingan Aktif Pneumatik Jenis Platform Pangkalan

• Sistem Psolation Aktif Untuk Pengukuran Laser-Optik

• Sistem Pengasingan Aktif Dengan Ruang Anti-Bunyi

• Kepungan Serbaguna

• MINI-450F

• MINI-560F

• Siri ARISTT

• Siri ARISMD PRO

Pengasing Getaran Pasif

• Siri SOTOTT

• Siri SOTOMD PRO

Sesuaikan Pengasing Getaran

• Kepungan Serbaguna

• SMU

Perkhidmatan Pelanggan

Permintaan Sebutharga

Hubungi Kami

Hantar E-mel

General Consumables (Accessories)

Application & Services