Bộ cách ly rung là các hệ thống được thiết kế để giảm thiểu và kiểm soát rung động ảnh hưởng đến các thiết bị có độ chính xác cao như kính hiển vi, thiết bị đo lường (metrology), và thiết bị bán dẫn. Ngay cả những rung động nhỏ cũng có thể gây ra hình ảnh mờ, dữ liệu không chính xác và làm giảm hiệu suất.
Bằng cách sử dụng cả công nghệ Thụ động (Passive) và Chủ động (Active) từ giảm chấn cơ học đến bù rung động theo thời gian thực bộ cách ly rung mang lại sự ổn định, độ chính xác và độ tin cậy mà không cần đến các công trình nền móng tốn kém. Đây là giải pháp lý tưởng cho các phòng thí nghiệm, nhà máy sản xuất, ứng dụng y tế và nhiều ngành công nghiệp khác nơi độ chính xác đóng vai trò then chốt.
Trong các phòng thí nghiệm và ngành công nghệ cao, những thiết bị như AFM, SEM, TEM hoặc kính hiển vi quang học đòi hỏi sự ổn định tuyệt đối. Tuy nhiên, các nguồn rung động hàng ngày như rung từ tòa nhà, hệ thống điều hòa không khí, hay thậm chí là bước chân cũng có thể làm mờ hình ảnh và ảnh hưởng đến độ chính xác của phép đo.
ARISTT là một hệ thống cách ly rung chủ động được thiết kế dành cho các thiết bị đặt trên bàn thí nghiệm.
Khác với các hệ thống thụ động thông thường chỉ hấp thụ rung động, ARISTT có thể phát hiện, phân tích và triệt tiêu rung động theo thời gian thực nhờ công nghệ điều khiển bằng AI.
ARISTT Cách ly cộng hưởng chủ động cho các thiết bị nhạy cảm đặt trên bàn thí nghiệm
ARISTT là một hệ thống nhỏ gọn đặt trên bàn, được thiết kế để cách ly các thiết bị khoa học nhạy cảm khỏi rung động môi trường. Được phát triển dành cho các phòng thí nghiệm tiên tiến và môi trường nghiên cứu, ARISTT đảm bảo hiệu suất ổn định ngay cả khi có nhiễu loạn hàng ngày.
Thiết kế hình chữ nhật nhỏ gọn, phù hợp với mọi bàn thí nghiệm tiêu chuẩn
Mặt trên chắc chắn để hỗ trợ an toàn cho các thiết bị chính xác
Mặt trước với thiết kế chuyên nghiệp tạo cảm giác hiện đại và tin cậy
Khác với các hệ thống thụ động chỉ hấp thụ rung động, ARISTT chủ động phát hiện, phân tích và triệt tiêu nhiễu loạn trong thời gian thực bằng điều khiển tích hợp AI.
Quy trình (Processes)
Cảm biến (Sense): Đo rung động trên 6 bậc tự do
Phân tích (Analyze): Bộ điều khiển AI/ML xử lý dữ liệu rung động tức thì
Triệt tiêu (Counteract): Bộ truyền động tạo ra lực đối kháng chính xác để loại bỏ rung động
Điểm nổi bật về hiệu suất (Performance Highlights)
Giảm rung động: ~8 dB tại 1 Hz, ~20 dB tại 3 Hz
Phản hồi siêu nhanh: thời gian ổn định <0,1 giây
Đảm bảo hình ảnh sắc nét hơn và dữ liệu đo lường đáng tin cậy

Được phát triển vào năm 2007, dòng VAIS-AMT là hệ thống chống rung chủ động để bàn đầu tiên được thương mại hóa tại Hàn Quốc.
Nó đáp ứng tiêu chuẩn môi trường VC-G của IEST dành cho hệ thống chống rung, để hỗ trợ Kính hiển vi lực nguyên tử (AFM) một thiết bị đặc biệt nhạy cảm với nhiễu rung động tần số thấp.
VAIS-AMT cũng loại bỏ hiện tượng cộng hưởng thường gặp ở các hệ thống cách ly rung thụ động, đồng thời mang lại quy trình lắp đặt và vận hành dễ dàng hơn. Kể từ khi được thương mại hóa, khả năng vượt trội và mức giá cạnh tranh của VAIS-AMT đã được các nhà sản xuất AFM trên toàn thế giới công nhận và ứng dụng trong nhiều thiết bị đo lường nano khác nhau.

Hệ thống chống rung thụ động bằng khí nén, vốn được sử dụng rộng rãi để ngăn chặn rung động tại khu vực lắp đặt kính hiển vi điện tử, thực chất lại khuếch đại rung động do hiện tượng cộng hưởng ở dải tần số thấp. Ngay cả với SEM thông thường, vốn khá bền vững trước nhiễu rung động, hiện tượng cộng hưởng ở tần số thấp vẫn có thể ảnh hưởng đến môi trường rung chuẩn IEST VC-E, mức rung động tối thiểu cần thiết để vận hành tối ưu kính hiển vi điện tử.
VAIS-CMT là hệ thống chống rung chủ động hoàn toàn, tích hợp công nghệ điều khiển 3 trục 6 bậc tự do, giúp loại bỏ vấn đề cộng hưởng của các bộ cách ly rung thụ động bằng khí nén.
Được nâng đỡ bởi khung lò xo kim loại (metal coil spring frame), VAIS-CMT không cần nguồn cung cấp khí nén. Chiều cao thấp hơn của VAIS-CMT cũng khắc phục sự bất tiện mà hệ thống khí nén thụ động gây ra. Với mức giá cạnh tranh, đây chính là giải pháp chống rung tối ưu cho các SEM thông thường.

VAIS-SEi được phát triển cho các thiết bị kiểm tra và đo lường trong môi trường phòng sạch (clean room). Các kính hiển vi dùng cho kiểm tra và đo lường trong phòng sạch thường phải đối mặt với điều kiện khắc nghiệt. Trong một phòng sạch thông thường, mức tiếng ồn có thể vượt quá 70 dB(C) và rung động mạnh từ sàn nổi sẽ truyền trực tiếp đến thiết bị mục tiêu.
VAIS-SEi được thiết kế và sản xuất bằng công nghệ đã được cấp bằng sáng chế của AMTEK. Nhờ khả năng che chắn kính hiển vi khỏi tiếng ồn trong phòng sạch, VAIS-SEi có thể cung cấp môi trường không rung động nhờ hệ thống chống rung chủ động của AMTEK (VAIS-PB).
Ngoài ra, môi trường không bụi được đảm bảo nhờ hệ thống quạt lọc (Fan Filter Unit) đã được cấp bằng sáng chế, hoạt động êm ái không gây tiếng ồn, cùng với bộ điều khiển nhiệt giúp duy trì nhiệt độ ổn định.
VAIS-SEi là sản phẩm cốt lõi, kết hợp đầy đủ các công nghệ tiên tiến bao gồm hệ thống chống rung và chống ồn, mang lại giải pháp toàn diện cho các thiết bị chính xác trong phòng sạch.






Được phát triển vào năm 2007, dòng VAIS-AMT là hệ thống chống rung chủ động để bàn đầu tiên được thương mại hóa tại Hàn Quốc.
Nó đáp ứng tiêu chuẩn môi trường VC-G của IEST dành cho hệ thống chống rung, để hỗ trợ Kính hiển vi lực nguyên tử (AFM) một thiết bị đặc biệt nhạy cảm với nhiễu rung động tần số thấp.
VAIS-AMT cũng loại bỏ hiện tượng cộng hưởng thường gặp ở các hệ thống cách ly rung thụ động, đồng thời mang lại quy trình lắp đặt và vận hành dễ dàng hơn. Kể từ khi được thương mại hóa, khả năng vượt trội và mức giá cạnh tranh của VAIS-AMT đã được các nhà sản xuất AFM trên toàn thế giới công nhận và ứng dụng trong nhiều thiết bị đo lường nano khác nhau.

Hệ thống chống rung thụ động bằng khí nén, vốn được sử dụng rộng rãi để ngăn chặn rung động tại khu vực lắp đặt kính hiển vi điện tử, thực chất lại khuếch đại rung động do hiện tượng cộng hưởng ở dải tần số thấp. Ngay cả với SEM thông thường, vốn khá bền vững trước nhiễu rung động, hiện tượng cộng hưởng ở tần số thấp vẫn có thể ảnh hưởng đến môi trường rung chuẩn IEST VC-E, mức rung động tối thiểu cần thiết để vận hành tối ưu kính hiển vi điện tử.
VAIS-CMT là hệ thống chống rung chủ động hoàn toàn, tích hợp công nghệ điều khiển 3 trục 6 bậc tự do, giúp loại bỏ vấn đề cộng hưởng của các bộ cách ly rung thụ động bằng khí nén.
Được nâng đỡ bởi khung lò xo kim loại (metal coil spring frame), VAIS-CMT không cần nguồn cung cấp khí nén. Chiều cao thấp hơn của VAIS-CMT cũng khắc phục sự bất tiện mà hệ thống khí nén thụ động gây ra. Với mức giá cạnh tranh, đây chính là giải pháp chống rung tối ưu cho các SEM thông thường.

VAIS-SEi được phát triển cho các thiết bị kiểm tra và đo lường trong môi trường phòng sạch (clean room). Các kính hiển vi dùng cho kiểm tra và đo lường trong phòng sạch thường phải đối mặt với điều kiện khắc nghiệt. Trong một phòng sạch thông thường, mức tiếng ồn có thể vượt quá 70 dB(C) và rung động mạnh từ sàn nổi sẽ truyền trực tiếp đến thiết bị mục tiêu.
VAIS-SEi được thiết kế và sản xuất bằng công nghệ đã được cấp bằng sáng chế của AMTEK. Nhờ khả năng che chắn kính hiển vi khỏi tiếng ồn trong phòng sạch, VAIS-SEi có thể cung cấp môi trường không rung động nhờ hệ thống chống rung chủ động của AMTEK (VAIS-PB).
Ngoài ra, môi trường không bụi được đảm bảo nhờ hệ thống quạt lọc (Fan Filter Unit) đã được cấp bằng sáng chế, hoạt động êm ái không gây tiếng ồn, cùng với bộ điều khiển nhiệt giúp duy trì nhiệt độ ổn định.
VAIS-SEi là sản phẩm cốt lõi, kết hợp đầy đủ các công nghệ tiên tiến bao gồm hệ thống chống rung và chống ồn, mang lại giải pháp toàn diện cho các thiết bị chính xác trong phòng sạch.






Được phát triển vào năm 2007, dòng VAIS-AMT là hệ thống chống rung chủ động để bàn đầu tiên được thương mại hóa tại Hàn Quốc.
Nó đáp ứng tiêu chuẩn môi trường VC-G của IEST dành cho hệ thống chống rung, để hỗ trợ Kính hiển vi lực nguyên tử (AFM) một thiết bị đặc biệt nhạy cảm với nhiễu rung động tần số thấp.
VAIS-AMT cũng loại bỏ hiện tượng cộng hưởng thường gặp ở các hệ thống cách ly rung thụ động, đồng thời mang lại quy trình lắp đặt và vận hành dễ dàng hơn. Kể từ khi được thương mại hóa, khả năng vượt trội và mức giá cạnh tranh của VAIS-AMT đã được các nhà sản xuất AFM trên toàn thế giới công nhận và ứng dụng trong nhiều thiết bị đo lường nano khác nhau.