Novascan PSD-UV, PSDP-UV and PSDP-UVT

UV/Ozone Systems

UV/Ozone Systems

Với hàng nghìn người dùng trên toàn thế giới, hệ thống UV Ozone dòng PSD và PSDP của Novascan đã được chứng minh là thiết bị hiệu quả và đáng tin cậy.

Hãy liên hệ với Novascan ngay hôm nay để được hỗ trợ lựa chọn hệ thống phù hợp nhất cho ứng dụng của bạn.

Ứng dụng (Applications)

• Làm sạch bề mặt nguyên tử (Atomic surface cleaning)

• Chuẩn bị wafer và màng mỏng (Wafer and thin film preparation)

• Loại bỏ lớp resist (Resist stripping)

• Liên kết polymer (Polymer bonding) như PDMS, COC, PS

• Tạo mẫu vi mô và nano (Micro- and nano-patterning)

• Làm sạch đầu dò AFM/SEM (AFM/SEM probe cleaning)

• Biến đổi bề mặt hóa học (Chemical surface modification)

• Khử trùng (Sterilization)

• Chuẩn bị bề mặt cho liên kết kim loại (Metal bonding preparation)

Thông số kỹ thuật của thiết bị

Hệ thống PSD và PSDP có hiệu suất và kích thước tương tự nhau, nhưng khác nhau ở khả năng của bộ điều khiển (controller capability), khả năng nâng cấp (upgradability) và tùy chọn bàn gia nhiệt (heated stage options).

Các thiết bị thuộc dòng PSD là hệ thống để bàn được điều khiển kỹ thuật số, có sẵn trong nhiều kích thước khác nhau từ 4x4 đến 20x20.

Hệ thống này được trang bị lưới UV công suất cao (powerful UV grid system) với bộ phản xạ (reflector) và bàn có thể điều chỉnh độ cao (adjustable height stage) nhằm tối ưu hóa vị trí mẫu và hiệu suất hoạt động.

Các cổng khí vào/ra (In/Out Gas Ports) được trang bị cho các hệ thống có kích thước từ 4x4 trở lên. Toàn bộ hệ thống được điều khiển bằng bộ điều khiển cài đặt sẵn (preset controller), giúp quá trình vận hành dễ dàng và thuận tiện.

Tính năng (Features):

• Bộ điều khiển kỹ thuật số cài đặt sẵn (Preset Digital Controller)
• Vận hành dễ dàng với 2 nút bấm, tiện lợi và đơn giản
• Thời gian xử lý tự động có thể chọn: 15, 30, 45, 60, 90 hoặc 120 phút
• Quá trình có thể dừng thủ công bất kỳ lúc nào
• Hệ thống không thể dễ dàng nâng cấp với bàn gia nhiệt (temperature stage)
• Thiết kế tiết kiệm chi phí nhưng vẫn đảm bảo hiệu suất cao, khiến hệ thống này trở thành lựa chọn phổ biến
• Dễ dàng lắp đặt và sử dụng
• Ngoài ra, còn có nhiều tùy chọn giá trị bổ sung cho các dòng PSD, PSDP và PSDP-UVT để phù hợp với mọi nhu cầu ứng dụng của bạn.(Vui lòng xem Phụ lục B để biết danh sách tùy chọn.)

Các thiết bị thuộc dòng PSDP là hệ thống làm sạch bằng tia UV/ozone cấp độ nghiên cứu (research grade), mang lại tính linh hoạt tối đa cho việc loại bỏ các hợp chất hữu cơ ở cấp độ phân tử (molecular organic stripping) và nhiều ứng dụng khác.

Hệ thống có thể hoạt động trong không khí bình thường (ambient air) hoặc cho dòng oxy đi qua một trong hai cổng khí tiêu chuẩn để tăng cường khả năng tạo ozone.

Toàn bộ quá trình được điều khiển bởi bộ điều khiển kỹ thuật số có thể lập trình (programmable digital controller), đảm bảo thời gian xử lý chính xác và các thông số làm sạch tối ưu.

Tính năng (Features):

• Bộ điều khiển kỹ thuật số có thể lập trình (Programmable Digital Controller) giúp kiểm soát hoạt động chính xác hơn
• Màn hình hiển thị đếm ngược kỹ thuật số (Digital Countdown Display)
• Dễ dàng nâng cấp lên hệ thống điều khiển nhiệt độ (temperature controlled system)
• Có chức năng tạm dừng và ngắt quá trình (Pause và Interrupt Function)
• Hệ thống mạnh mẽ cung cấp khả năng kiểm soát quy trình vượt trội
• Bộ nhớ trong (Internal Memory) lưu trữ các cài đặt trước đó
• Ngoài ra, có nhiều tùy chọn mở rộng cho các dòng PSD, PSDP và PSDP-UVT để đáp ứng mọi nhu cầu ứng dụng của bạn

Model PSDP-UVT nâng hiệu suất của PSDP UV lên một tầm cao mới với việc bổ sung bàn điều khiển nhiệt độ (temperature controlled stage) được thiết kế để tối đa hóa khả năng phá hủy các hợp chất hữu cơ ở cấp độ phân tử.

Bộ điều khiển kỹ thuật số với vòng phản hồi PID (PID feedback loop) giúp duy trì nhiệt độ ổn định và chính xác lên đến 150°C.

(Tùy chọn mở rộng có thể nâng giới hạn lên đến 200°C.)

Tính năng (Features):

• Giống hệt với model PSDP, nhưng được lắp đặt sẵn bàn điều khiển nhiệt độ (temperature stage) tại nhà máy
• Cung cấp tiềm năng và tính linh hoạt tối đa trong quá trình sử dụng
• Lý tưởng cho môi trường có nhiều người dùng (multiple user environment)
• Có nhiều tùy chọn bổ sung (options) dành cho các dòng PSD, PSDP và PSDP-UVT để đáp ứng mọi nhu cầu ứng dụng của bạn

(Vui lòng xem Phụ lục B để biết danh sách tùy chọn.)

Cách hoạt động của dòng PSD và PSDP

Các thiết bị thuộc dòng PSD và PSDP tiêu diệt các phân tử hữu cơ (chất gây ô nhiễm) bằng cách tạo ra tỷ lệ thích hợp của tia cực tím năng lượng cao (high energy ultraviolet light) ở hai bước sóng 185 nm và 254 nm.

Bước sóng 185 nm kích thích oxy phân tử (O) để tạo thành gốc ozone năng lượng cao (O). Đồng thời, bước sóng 254 nm kích hoạt các phân tử hữu cơ trên bề mặt, khiến chúng dễ bị phá hủy bởi gốc ozone.

Do ozone có chu kỳ bán rã ngắn và cũng bị phá hủy bởi tia 254 nm, nên hệ thống sử dụng bàn đặt mẫu có thể điều chỉnh (adjustable sample stage) để định vị mẫu sao cho phù hợp với đèn, giúp đạt hiệu suất tối ưu.

Các chất gây ô nhiễm bị phá hủy bởi hệ thống PSD và PSDP sẽ được giải phóng dưới dạng khí CO và hơi nước (HO), trong khi lượng ozone còn lại sẽ trở lại trạng thái oxy phân tử (O).