Compact Active Isolation System For Normal Sem - Hong Kong NTI (HK

Hệ thống cô lập hoạt động nhỏ gọn cho SEM thông thường

Tổng quan về sản phẩm

Hệ thống chống rung thụ động khí nén, được sử dụng rộng rãi để chặn rung động xung quanh vị trí lắp đặt kính hiển vi điện tử, khuếch đại rung động do hiện tượng cộng hưởng ở vùng tần số thấp. Ngay cả trong trường hợp SEM thông thường, tương đối mạnh mẽ trước nhiễu động rung động, hiện tượng cộng hưởng ở vùng tần số thấp có thể ảnh hưởng đến môi trường rung động của IEST VC-E Class, trạng thái rung động tối thiểu để kính hiển vi điện tử hoạt động tối ưu.

VAIS-CMT là hệ thống chống rung chủ động hoàn toàn kết hợp công nghệ điều khiển 3 trục-6 bậc tự do để loại bỏ vấn đề cộng hưởng của bộ cách ly rung động thụ động khí nén.

Vì có khung lò xo cuộn kim loại hỗ trợ nên VAIS-CMT không cần nhà cung cấp khí nén. Chiều cao thấp hơn của VAIS-CMT giúp giảm sự bất tiện mà hệ thống chống rung thụ động khí nén gây ra.

Với mức giá cạnh tranh, đây sẽ là giải pháp chống rung tốt nhất cho SEM thông thường.

Thông tin cơ bản

Hướng ứng dụng

(1) Hệ thống chống rung thụ động khí nén, được sử dụng rộng rãi trong phân tích vi mô tải trọng nặng với trọng tâm cao, có vấn đề cộng hưởng xảy ra ở tần số dưới 10Hz, khiến việc lưu trữ độ phân giải mục tiêu của thiết bị trở nên khó khăn.

(2) VAIS-CMT loại bỏ vấn đề cộng hưởng và chặn hoàn toàn nhiễu rung truyền từ các nguồn rung xung quanh.

(3) Bằng cách sử dụng khung đỡ lò xo cuộn, hệ thống không yêu cầu nhà cung cấp khí nén và có chiều cao thấp hơn so với bộ cách ly thụ động khí nén, do đó giảm sự bất tiện khi vận hành các thiết bị mục tiêu

(4) VAIS-CMT có hiệu suất cách ly, tiện lợi và khả năng cạnh tranh về giá vượt trội đáng kể

Thiết bị mục tiêu

• SEM thông thường

• Trạm thăm dò

• Hệ thống đo bề mặt 3D

• Kính hiển vi quang học có độ chính xác cao

• Hệ thống in lõm nano

• Thiết bị đo lường / phân tích nano

Specifications

1. Easy Installation & Transportation

Supported by metal coil springs, VAIS-CMT requires no compressed air supplier.

It can be conveniently transported and installed anywhere with electricity.

2. Floor Feed-Forward Control

Utilizing feedback and floor feed-forward controls, VAIS-CMT has an excellent capability to prevent low-frequency vibration disturbance, an common issue with passive anti-vibration systems.

3. LED Status Indicator

Three LED lights (Red, Green, Blue) on the front panel conveniently display the status on vibration environment changes and seviceability.

4. Easy Self-Diagnosis

Digitally-controlled VAIS-CMT is designed for convenient self-diagnosis of operation-related malfunctions, such as center of gravity changes.

5. Remote Support

AMTEK provides a remote real-time support for convenient performance diagnosis and technical support.