Vibration Isolators: Nguyên lý, Phân loại, và Ứng dụng quan trọng

Vibration Isolators là thiết bị được thiết kế để cách ly các thiết bị nhạy cảm với rung động, chẳng hạn như kính hiển vi, máy đo tọa độ, hoặc thiết bị sản xuất chất bán dẫn, khỏi các rung động bên ngoài. Những rung động này có thể đến từ nhiều nguồn khác nhau, và ngay cả rung động nhỏ cũng có thể ảnh hưởng đáng kể đến hiệu suất, dẫn đến hình ảnh mờ hoặc dữ liệu không chính xác.

Những gì bạn cần biết về Vibration Isolators bao gồm nguyên lý hoạt động, tầm quan trọng, các loại và ứng dụng. Chúng tôi tại Hong Kong NTI sẽ giải thích những điều này một cách đơn giản như sau:

Vibration Isolators Hoạt Động Như Thế Nào?

Nguyên lý hoạt động của Vibration Isolators liên quan đến việc tạo ra một hệ thống cách ly rung động với Tần Số Tự Nhiên cực kỳ thấp. Khi rung động xảy ra từ các yếu tố bên ngoài như chuyển động của tòa nhà, hệ thống điều hòa không khí, máy móc, hoặc thậm chí là tiếng bước chân tạo ra rung động với tần số cao hơn, Vibration Isolators không cộng hưởng với các yếu tố này. Chúng hấp thụ và cách ly những rung động này, ngăn chúng truyền đến thiết bị được đặt ở trên.

Các thành phần chính của Vibration Isolators dựa vào các yếu tố chính như lò xo hỗ trợ trọng lượng của thiết bị. Đây có thể là lò xo kim loại hoặc các thành phần khí nén, rất phổ biến trong các ứng dụng đòi hỏi độ chính xác cao.

Tại Sao Vibration Isolators Quan Trọng?

Thiết bị đòi hỏi độ chính xác cao hoặc hoạt động ở quy mô micro hoặc nano mét rất cần Vibration Isolators để hỗ trợ. Điều này bao gồm kính hiển vi điện tử như SEM, TEM, hoặc FESEM. Ngay cả rung động nhỏ cũng có thể khiến hình ảnh mờ hoặc rung quá mức, khiến việc phân tích cấu trúc quy mô nano trở nên không thể. Điều này làm cho việc sử dụng Vibration Isolators vô cùng quan trọng. Chúng cũng rất cần thiết trong thiết bị chất bán dẫn cho các quy trình như Lithography Nanofabrication, đây là quy trình sản xuất chip đòi hỏi độ ổn định cao. Rung động có thể khiến các mẫu mạch dịch chuyển hoặc chồng lấp.

Có Những Loại Vibration Isolators Nào?

Nói chung, chúng ta có thể chia Vibration Isolators thành hai loại chính: Passive Isolators và Active Isolators.

1. Passive Isolators

Passive Isolators là hệ thống cách ly rung động dựa vào các tính chất vật lý của vật liệu mà không cần nguồn điện, chẳng hạn như cao su, lò xo kim loại và hệ thống khí nén hoặc túi khí (Pneumatic Isolators). Chúng phổ biến trong các ứng dụng đòi hỏi độ chính xác cao vì có thể tạo ra tần số rất thấp, thấp tới 1-2 Hz.

2. Active Isolators

Active Isolators là hệ thống cách ly rung động sử dụng nguồn điện. Nguyên lý hoạt động chính của chúng liên quan đến việc sử dụng cảm biến để phát hiện rung động. Chúng có thể giảm rung động rất hiệu quả, đặc biệt là trong dải tần số thấp 0.5-10 Hz.

Cũng có Hybrid Isolators, kết hợp ưu điểm của cả hệ thống Passive và Active. Ví dụ, sử dụng hệ thống túi khí làm nền tảng và hệ thống Active để triệt tiêu rung động còn lại, mang lại hiệu suất cao hơn.

3. Isolators Tùy Chỉnh

• Multi-Purpose: Hệ thống cách ly rung động chủ động có thể tùy chỉnh, được thiết kế để bảo vệ thiết bị hoặc công cụ nhạy cảm với rung động và tiếng ồn. Nó sử dụng cảm biến để phát hiện và bộ kích hoạt để bù rung động theo thời gian thực. Có thể tùy chỉnh để phù hợp với các thiết bị và kích thước khác nhau, làm cho nó lý tưởng cho các nghiên cứu khác nhau đòi hỏi dụng cụ đo chính xác, chẳng hạn như ngành công nghiệp chất bán dẫn và sản xuất đòi hỏi độ chính xác cao.
• SMU: Được thiết kế để hoạt động ở cả chế độ Passive và Active bằng cách sử dụng cơ chế hấp thụ rung động và cảm biến Active để bù rung động theo thời gian thực. Có thể tùy chỉnh theo nhu cầu cụ thể, phù hợp cho nghiên cứu khoa học hoặc thiết bị công nghiệp đòi hỏi độ chính xác cao.

Vibration Isolators Thường Được Sử Dụng Ở Đâu?

Vibration Isolators được sử dụng trong tất cả các ngành công nghiệp nơi độ ổn định là rất quan trọng, đặc biệt:

• Ngành Công Nghiệp Chất Bán Dẫn: Trong "Phòng Sạch" cho thiết bị Lithography và máy Kiểm Tra Wafer
• Nghiên Cứu và Phát Triển (R&D):
  • Kính Hiển Vi: Atomic Force Microscopes (AFM), Scanning Electron Microscopes (SEM), Transmission Electron Microscopes (TEM)
  • Bàn Quang Học: Cho các thí nghiệm liên quan đến laser và đo lường đòi hỏi độ ổn định
• Đo Lường & Đảm Bảo Chất Lượng (QA):
  • Coordinate Measuring Machines (CMM)
  • Surface Profilometers
• Y Tế và Sinh Học: Thiết bị phân tích tế bào, máy MRI độ nhạy cao

Hong Kong NTI: Nhà Cung Cấp Hệ Thống Cách Ly Rung Động Của Chúng Tôi

Thiết bị Cách Ly Rung Động là công cụ thiết yếu trong phòng thí nghiệm và các ngành công nghiệp công nghệ cao, dù cho kính hiển vi quang học và điện tử, thiết bị đo lường metrologia, hay thiết bị liên quan đến bán dẫn. Chúng tôi tại Hong Kong NTI cung cấp Hệ Thống Cách Ly Rung Động hiệu suất cao của chúng tôi được thiết kế cho các ứng dụng chính xác. Với hơn 16 năm chuyên môn toàn cầu, chúng tôi cung cấp thiết bị và dịch vụ cho nghiên cứu và phát triển hiệu quả.

Nếu quan tâm, bạn có thể liên hệ với chúng tôi tại 725 S-Metro Building, Tầng 20, Đường Sukhumvit, Khlong Tan Nuea, Watthana, Bangkok.Retry

Tel: 02-821-5278

Email: info@hknti.com

Line: https://line.me/R/ti/p/@816txpya