ระบบกันสั่นแบบแอคทีฟขนาดกะทัดรัด สำหรับ SEM มาตรฐาน (Active Vibration Isolator)

ระบบกันสั่นแบบพาสซีฟที่ใช้ลม (Pneumatic Passive Anti-Vibration System) ซึ่งมักถูกนำมาใช้รอบ ๆ บริเวณติดตั้งกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอน แม้จะช่วยลดแรงสั่นสะเทือนได้ แต่ก็มีปัญหาสำคัญคือ การขยายแรงสั่น (resonance phenomenon) ในช่วงความถี่ต่ำ ซึ่งอาจกระทบต่อมาตรฐานสภาพแวดล้อมการสั่นสะเทือนระดับ IEST VC-E Class ที่จำเป็นสำหรับการทำงานที่มีประสิทธิภาพสูงของกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอน แม้แต่กับกล้อง SEM ทั่วไปที่ค่อนข้างทนต่อแรงสั่นก็ตาม

VAIS-CMT คือระบบกันสั่นแบบแอคทีฟเต็มรูปแบบ (Full Active Anti-Vibration System) ที่ผสานเทคโนโลยีควบคุม 3 แกน 6 องศาอิสระ (3-axis, 6 DOF) เพื่อแก้ปัญหาการเกิด resonance ของระบบกันสั่นพาสซีฟแบบลมโดยตรง

ด้วยโครงสร้าง สปริงโลหะ (metal coil spring frame) ทำให้ VAIS-CMT ไม่ต้องพึ่งแหล่งอากาศอัด (compressed air) อีกต่อไป อีกทั้งยังมีความสูงที่ต่ำกว่าระบบกันสั่นพาสซีฟลมแบบเดิม ทำให้ใช้งานสะดวกกว่าเดิม

และด้วย ราคาที่แข่งขันได้ จึงถือเป็น โซลูชันกันสั่นที่ดีที่สุดสำหรับกล้อง SEM ทั่วไป (Normal SEMs)

ตู้เอนกประสงค์พร้อมระบบกันสั่นแบบแอคทีฟ (Customize Vibration Isolator)

VAIS-SEi ถูกพัฒนาขึ้นสำหรับเครื่องมือประเภท Inspection และ Measurement ที่ใช้งานในสภาพแวดล้อม Clean Room

กล้องจุลทรรศน์สำหรับงานตรวจสอบและวัดผลใน Clean Room มักเผชิญกับสภาพแวดล้อมที่รุนแรง โดยทั่วไประดับเสียงรบกวนใน Clean Room มักเกิน 70 dB(C) และแรงสั่นสะเทือนที่เกิดจากพื้นแบบลอย (Floating Floor) จะถูกส่งต่อไปยังเครื่องมือโดยตรง

VAIS-SEi ได้รับการออกแบบและผลิตด้วยเทคโนโลยีที่จดสิทธิบัตรของ AMTEK สามารถปกป้องกล้องจุลทรรศน์จากเสียงรบกวนใน Clean Room และสร้างสภาพแวดล้อมที่ปราศจากแรงสั่นสะเทือนด้วย ระบบกันสั่นแบบแอคทีฟ VAIS-PB

นอกจากนี้ยังมาพร้อมกับ ระบบ Fan Filter Unit ที่จดสิทธิบัตร ซึ่งทำงานได้โดยไม่สร้างเสียงรบกวน พร้อมควบคุมอุณหภูมิให้คงที่ด้วย ระบบ Thermal Controller

ดังนั้น VAIS-SEi จึงเป็นผลิตภัณฑ์หลักที่รวมเอาเทคโนโลยีสำคัญทั้งหมดไว้ ทั้งระบบกันสั่นและระบบป้องกันเสียงรบกวน เพื่อสร้างสภาพแวดล้อมที่เหมาะสมที่สุดสำหรับงานวิจัยและการวัดผลที่แม่นยำ