Novascan PSD-UV, PSDP-UV and PSDP-UVT

UV/Ozone Systems

UV/Ozone Systems

ด้วยจำนวนผู้ใช้งานหลายพันรายทั่วโลก ระบบ UV Ozone ซีรีส์ PSD และ PSDP ของ Novascan ได้รับการพิสูจน์แล้วว่าเป็นเครื่องมือที่ มีประสิทธิภาพและเชื่อถือได้จริง

ติดต่อ Novascan วันนี้เพื่อรับคำแนะนำในการ เลือกระบบที่เหมาะสมกับการใช้งานของคุณ

การใช้งาน (Applications)

• การทำความสะอาดพื้นผิวระดับอะตอม (Atomic surface cleaning)

• การเตรียมเวเฟอร์และฟิล์มบาง (Wafer and thin film preparation)

• การลอกสารเรซิสต์ (Resist stripping)

• การเชื่อมประสานพอลิเมอร์ (Polymer bonding) เช่น PDMS, COC, PS

• การสร้างลวดลายระดับไมโครและนาโน (Micro- and nano-patterning)

• การทำความสะอาดหัวโพรบของ AFM/SEM (AFM/SEM probe cleaning)

• การปรับสภาพพื้นผิวทางเคมี (Chemical surface modification)

• การฆ่าเชื้อ (Sterilization)

• การเตรียมพื้นผิวสำหรับการเชื่อมโลหะ (Metal bonding preparation)

สเปกของเครื่องมือ

ระบบ PSD และ PSDP มีประสิทธิภาพและขนาดที่ใกล้เคียงกัน แต่แตกต่างกันในด้าน ความสามารถของตัวควบคุม (controller capability)

ความสามารถในการอัปเกรด (upgradability) และตัวเลือกของแท่นให้ความร้อน (heated stage options)

เครื่องมือซีรีส์ PSD เป็นระบบแบบตั้งโต๊ะที่ควบคุมด้วยระบบดิจิทัล ซึ่งมีให้เลือกหลายขนาดตั้งแต่ 4x4 ถึง 20x20 ระบบนี้มาพร้อมกับ ระบบตะแกรงรังสี UV ประสิทธิภาพสูง ที่มี ตัวสะท้อนแสง (reflector) และ แท่นปรับระดับความสูงได้ เพื่อให้สามารถจัดตำแหน่งตัวอย่างได้อย่างเหมาะสมและได้ผลลัพธ์ที่ดีที่สุด

นอกจากนี้ ระบบขนาด 4x4 ขึ้นไป ยังมี ช่องก๊าซเข้า/ออก (In/Out Gas Ports) ให้ใช้งาน และควบคุมการทำงานผ่าน คอนโทรลเลอร์แบบตั้งค่าล่วงหน้า (preset controller) ที่ใช้งานได้สะดวกและง่ายดาย

คุณสมบัติ:

• คอนโทรลเลอร์แบบดิจิทัลตั้งค่าล่วงหน้า (Preset Digital Controller)
• การใช้งานง่ายด้วยปุ่มเพียง 2 ปุ่ม สะดวกและไม่ซับซ้อน
• ตั้งเวลาทำงานอัตโนมัติได้ 15, 30, 45, 60, 90 หรือ 120 นาที
• สามารถหยุดกระบวนการได้ทุกเมื่อ ด้วยการควบคุมแบบแมนนวล
• ไม่สามารถอัปเกรดเป็นระบบแท่นควบคุมอุณหภูมิได้ง่าย
• ออกแบบเพื่อประหยัดต้นทุนแต่ยังคงประสิทธิภาพการใช้งาน ทำให้ระบบนี้เป็นที่นิยมอย่างมาก
• ติดตั้งและใช้งานง่ายมาก
• นอกจากนี้ยังมี ตัวเลือกเสริมหลากหลาย สำหรับรุ่น PSD, PSDP และ PSDP-UVT เพื่อให้เหมาะกับทุกความต้องการของการใช้งานของคุณ
• (โปรดดูรายการตัวเลือกได้ในภาคผนวก B)

เครื่องมือซีรีส์ PSDP เป็นระบบ ทำความสะอาดด้วยรังสี UV/โอโซน ระดับงานวิจัย (research grade) ที่ให้ความยืดหยุ่นสูงสุด เหมาะสำหรับการ ลอกชั้นสารอินทรีย์ระดับโมเลกุล (molecular organic stripping) และการใช้งานอื่นๆ อีกมากมาย

สามารถทำงานได้ทั้งใน บรรยากาศทั่วไป (ambient air) หรือ ปล่อยก๊าซออกซิเจนผ่านช่องก๊าซมาตรฐาน 2 ช่อง เพื่อเพิ่มการผลิตโอโซน ระบบควบคุมด้วย คอนโทรลเลอร์แบบดิจิทัลที่ตั้งโปรแกรมได้ (programmable digital controller) ซึ่งจะจัดการกระบวนการทำงานทั้งหมด เพื่อให้มั่นใจใน ความแม่นยำของเวลา และ ประสิทธิภาพในการทำความสะอาดสูงสุด

คุณสมบัติ:

• คอนโทรลเลอร์ดิจิทัลแบบตั้งโปรแกรมได้ (Programmable Digital Controller) เพื่อการควบคุมการทำงานที่ละเอียดและยืดหยุ่นมากขึ้น
• หน้าจอแสดงผลแบบนับถอยหลัง (Digital Countdown Display)
• สามารถอัปเกรดเป็นระบบควบคุมอุณหภูมิได้ง่าย
• สามารถหยุดหรือพักการทำงานชั่วคราวได้ (Pause & Interrupt Function)
• ระบบทรงพลังที่ให้การควบคุมกระบวนการได้อย่างมีประสิทธิภาพยิ่งขึ้น
• มีหน่วยความจำภายใน (Internal Memory) สำหรับบันทึกการตั้งค่าที่ใช้ก่อนหน้า
• นอกจากนี้ยังมี ตัวเลือกเสริมหลากหลาย สำหรับรุ่น PSD, PSDP และ PSDP-UVT เพื่อให้เหมาะกับทุกความต้องการในการใช้งานของคุณ

(โปรดดูรายการตัวเลือกได้ในภาคผนวก B)

รุ่น PSDP-UVT ยกระดับประสิทธิภาพของระบบ PSDP UV ไปอีกขั้น ด้วยการเพิ่ม แท่นควบคุมอุณหภูมิ (temperature controlled stage) ที่ออกแบบมาเพื่อเพิ่มประสิทธิภาพสูงสุดในการ ทำลายสารอินทรีย์ระดับโมเลกุล

ระบบควบคุมอุณหภูมิด้วย คอนโทรลเลอร์ดิจิทัลที่มีวงจรป้อนกลับแบบ PID feedback loop ช่วยรักษาอุณหภูมิให้คงที่และแม่นยำได้สูงสุดถึง 150 องศาเซลเซียส

(สามารถอัปเกรดเป็น 200°C ได้ตามตัวเลือกเสริม)

คุณสมบัติ:

• เหมือนกับรุ่น PSDP ทุกประการ แต่ติดตั้ง แท่นควบคุมอุณหภูมิ มาจากโรงงานโดยตรง
• ให้ศักยภาพและความยืดหยุ่นสูงสุด ในการใช้งาน
• Ideal for multiple user environmentเหมาะอย่างยิ่งสำหรับสภาพแวดล้อมที่มีผู้ใช้งานหลายคน (Multiple User Environment)
• นอกจากนี้ยังมี ตัวเลือกเสริมหลากหลาย สำหรับรุ่น PSD, PSDP และ PSDP-UVT เพื่อให้ตอบโจทย์ทุกความต้องการของการใช้งานของคุณ

(โปรดดูรายการตัวเลือกได้ในภาคผนวก B)

หลักการทำงานของซีรีส์ PSD และ PSDP

เครื่องมือในซีรีส์ PSD และ PSDP ทำลายโมเลกุลอินทรีย์ (สิ่งปนเปื้อน) โดยการสร้างสัดส่วนที่เหมาะสมของ รังสีอัลตราไวโอเลตพลังงานสูง ที่ความยาวคลื่น 185 นาโนเมตร และ 254 นาโนเมตร

รังสีที่ความยาวคลื่น 185 นาโนเมตร จะกระตุ้นให้ ออกซิเจนในอากาศ (O) เกิดการรวมตัวเป็น อนุมูลโอโซน (O) ที่มีพลังงานสูง ขณะเดียวกัน รังสีที่ความยาวคลื่น 254 นาโนเมตร จะกระตุ้นโมเลกุลอินทรีย์บนพื้นผิวให้เข้าสู่สถานะตื่นตัว ทำให้ ถูกทำลายได้ง่ายโดยอนุมูลโอโซน

เนื่องจาก โอโซนมีอายุการสลายตัวสั้น และยังถูกทำลายด้วยรังสี 254 นาโนเมตร ด้วยเช่นกัน ระบบจึงใช้ แท่นวางตัวอย่างที่ปรับระดับได้ เพื่อให้สามารถจัดตำแหน่งตัวอย่างให้เหมาะสมกับแหล่งกำเนิดแสง เพื่อให้ได้ประสิทธิภาพสูงสุด

เมื่อกระบวนการทำลายสิ่งปนเปื้อนเสร็จสิ้น สารอินทรีย์จะถูกเปลี่ยนเป็น คาร์บอนไดออกไซด์ (CO) และ ไอน้ำ (HO) ส่วนโอโซนที่เหลือจะสลายตัวกลับไปเป็น ออกซิเจนในรูปโมเลกุล (O) อีกครั้ง