Novascan PSD-UV, PSDP-UV and PSDP-UVT

UV/Ozone Systems

UV/Ozone Systems

Dengan ribuan pengguna di seluruh dunia, sistem UV Ozone siri PSD dan PSDP daripada Novascan telah terbukti sebagai alat yang berkesan dan boleh dipercayai.

Hubungi Novascan hari ini untuk mendapatkan bantuan dalam memilih sistem yang sesuai untuk aplikasi anda.

Aplikasi (Applications)

• Pembersihan permukaan atom (Atomic surface cleaning)

• Penyediaan wafer dan filem nipis (Wafer and thin film preparation)

• Penanggalan resist (Resist stripping)

• Ikatan polimer (Polymer bonding) seperti PDMS, COC, PS

• Corak mikro dan nano (Micro- and nano-patterning)

• Pembersihan prob AFM/SEM (AFM/SEM probe cleaning)

• Pengubahsuaian permukaan kimia (Chemical surface modification)

• Pensterilan (Sterilization)

• Penyediaan ikatan logam (Metal bonding preparation)

Spesifikasi Instrumen

Sistem PSD dan PSDP mempunyai prestasi dan dimensi yang hampir sama, tetapi berbeza dalam aspek keupayaan pengawal (controller capability), kebolehan untuk dinaik taraf (upgradability) dan pilihan pentas pemanas (heated stage options).

Instrumen siri PSD ialah sistem atas meja yang dikawal secara digital, tersedia dalam pelbagai saiz daripada 4x4 hingga 20x20. Sistem ini dilengkapi dengan sistem grid UV berkuasa tinggi yang mempunyai pemantul cahaya (reflector) dan pentas boleh laras ketinggian (adjustable height stage) untuk memastikan kedudukan sampel dan prestasi yang optimum.

Port gas masuk/keluar (In/Out Gas Ports) disediakan untuk sistem bersaiz 4x4 dan lebih besar. Sistem ini dikawal oleh pengawal pratetap (preset controller) yang direka untuk memudahkan dan mempercepatkan operasi.

Ciri-ciri (Features) :

• Pengawal Digital Pratetap (Preset Digital Controller)
• Operasi dua butang yang mudah dan ringkas
• Masa proses automatik boleh ditetapkan pada 15, 30, 45, 60, 90 atau 120 minit
• Kitaran proses boleh dihentikan secara manual pada bila-bila masa
• Sistem ini tidak boleh dinaik taraf dengan mudah kepada pentas kawalan suhu
• Reka bentuk yang menjimatkan kos tetapi tetap berfungsi dengan baik, menjadikan sistem ini pilihan yang popular
• Pemasangan dan penggunaan yang sangat mudah
• Selain itu, terdapat pelbagai pilihan tambahan (options) untuk model PSD, PSDP dan PSDP-UVT bagi memenuhi semua keperluan aplikasi anda.(Sila rujuk Lampiran B untuk senarai pilihan.)

Instrumen siri PSDP ialah sistem pembersihan UV/ozon gred penyelidikan (research grade) yang menawarkan fleksibiliti maksimum untuk penanggalan bahan organik molekul (molecular organic stripping) dan pelbagai aplikasi lain.

Sistem ini boleh beroperasi sama ada dalam udara persekitaran (ambient air) atau dengan aliran oksigen melalui salah satu daripada dua port gas standard untuk meningkatkan penghasilan ozon.

Pengawalan proses sistem dikendalikan oleh pengawal digital boleh atur cara (programmable digital controller) yang memastikan masa operasi yang tepat dan parameter pembersihan yang optimum.

Ciri-ciri (Features):

• Pengawal Digital Boleh Atur Cara (Programmable Digital Controller) untuk kawalan operasi yang lebih tepat
• Paparan kira detik digital (Digital Countdown Display)
• Mudah dinaik taraf kepada sistem kawalan suhu (temperature controlled system)
• Fungsi jeda dan hentian (Pause dan Interrupt Function)
• Sistem berkuasa tinggi yang menawarkan kawalan proses yang lebih baik
• Memori dalaman (Internal Memory) untuk menyimpan tetapan sebelumnya
• Terdapat pelbagai pilihan tambahan (options) untuk model PSD, PSDP dan PSDP-UVT bagi memenuhi semua keperluan aplikasi anda (Sila rujuk Lampiran B untuk senarai pilihan.)

Model PSDP-UVT membawa kuasa PSDP UV ke tahap yang lebih tinggi dengan penambahan pentas kawalan suhu (temperature controlled stage) yang direka untuk memaksimumkan pemusnahan bahan organik molekul.

Pengawal digital dengan gelung maklum balas PID (PID feedback loop) memastikan suhu kekal stabil dan tepat sehingga 150 darjah Celsius.

(Pilihan untuk suhu sehingga 200°C juga tersedia sebagai opsyen.)

Ciri-ciri (Features):

• Sama seperti model PSDP, tetapi telah dilengkapi dengan pentas kawalan suhu (temperature stage) dari kilang
• Menawarkan potensi dan fleksibiliti maksimum
• Sangat sesuai untuk persekitaran dengan ramai pengguna (multiple user environment)
• Terdapat pelbagai pilihan tambahan (options) untuk model PSD, PSDP dan PSDP-UVT bagi memenuhi semua keperluan aplikasi anda (Sila rujuk Lampiran B untuk senarai pilihan.)

How the PSD and PSDP Series Work

Instrumen siri PSD dan PSDP memusnahkan molekul organik (bahan cemar) dengan menghasilkan nisbah cahaya ultraungu berkuasa tinggi (high energy ultraviolet light) pada panjang gelombang 185 nm dan 254 nm.

Panjang gelombang 185 nm menggerakkan oksigen molekul (O) untuk membentuk radikal ozon bertenaga (O). Pada masa yang sama, panjang gelombang 254 nm merangsang molekul organik di permukaan supaya menjadi lebih mudah dimusnahkan oleh radikal ozon.

Memandangkan ozon mempunyai jangka hayat yang singkat dan juga dimusnahkan oleh panjang gelombang 254 nm, maka pentas sampel boleh laras (adjustable sample stage) digunakan untuk meletakkan sampel pada kedudukan yang sesuai berbanding lampu bagi mencapai prestasi optimum.

Bahan cemar yang dimusnahkan oleh sistem PSD dan PSDP kemudian dilepaskan dalam bentuk karbon dioksida (CO) dan wap air (HO), manakala ozon yang tinggal akan kembali kepada keadaan asalnya sebagai oksigen molekul (O).