Máy đánh bóng cơ học hóa học - Model xCMP150

Tổng quan về sản phẩm

Theo yêu cầu xử lý chất lượng bề mặt cao và độ phẳng cao của wafer trong nghiên cứu và phát triển chip, đặc biệt là wafer bán dẫn thế hệ thứ ba và thứ tư được đại diện bởi SiC và kim cương kim loại, thiết bị có thể kiểm soát hiệu quả độ phẳng của wafer và tính đồng nhất của màng thông qua áp suất phân vùng cộng tác chủ-tớ.

Thông tin cơ bản

Cấu hình cơ bản

• Mô-đun đầu đánh bóng: áp suất màng khí, 6 vùng được điều khiển độc lập
• Mô-đun ma sát: Đặc trưng ma sát bằng dòng điện động cơ
• Công suất xử lý mẫu: 2/4/6 inch
• Triển khai đánh bóng: điều khiển chương trình màn hình cảm ứng
• Lực ép xuống của đầu đánh bóng: 0~4 psi (4 inch)
• Tốc độ đầu đánh bóng: 0~300 vòng/phút, có thể điều khiển liên tục
• Tốc độ đĩa đánh bóng: 0~300 vòng/phút, có thể điều khiển liên tục
• Tốc độ tủ đánh bóng: 0~300 vòng/phút, có thể điều khiển liên tục
• Đầu đánh bóng/tủ đánh bóng chuyển động qua lại: hành trình 90 mm, tốc độ liên tục và có thể điều khiển
• Bùn đánh bóng: 1 kênh, cung cấp bơm nhu động, lưu lượng 0~300 mL/phút
• Nước khử ion: 1 kênh, cung cấp bơm nhu động, lưu lượng 0~300 mL/phút

Nâng cấp cấu hình

• Mô-đun điện hóa: Phạm vi điện thế ±10 V, phạm vi dòng điện ±250 mA, hỗ trợ hệ thống ba điện cực và hai điện cực, và hỗ trợ nhiều phương pháp đo lường khác nhau, chẳng hạn như phép đo voltam tuần hoàn
• Mô-đun quang học tia cực tím: Nguồn sáng tia cực tím 200-400 nm (có thể tùy chỉnh), công suất 0-500W (có thể tùy chỉnh)

Hướng ứng dụng

• Bùn đánh bóng
• Tấm đánh bóng
• Xử lý đánh bóng
• Thiết bị đánh bóng
• Dịch vụ tùy chỉnh

Đặc điểm kỹ thuật

• Đầu trọc tiêu chuẩn 4 inch
• Khả năng thay thế cấu trúc mạnh mẽ:
  • Có thể sử dụng với đầu đánh bóng tiêu chuẩn 4 inch gói đánh bóng 60%
  • Công nghệ xử lý màng khí độc quyền, có thể tùy chỉnh theo yêu cầu mẫu
• Kênh đa khí: 3-8 đường dẫn khí, có thể được cấu hình theo công nghệ xử lý mẫu
• 150 Mặt bích kết nối phổ quát - Nhiều loại tải:
  • Thiết kế mặt bích của cấu trúc độc đáo "định vị hạt hai điểm" được sử dụng. Định vị chính xác, dễ tháo rời và lắp ráp
  • Kiểm soát áp suất không khí độc lập của vòng giữ/mẫu, có thể nhận ra áp suất nhiều giai đoạn