In Situ AFM In SEM

Tổng quan về sản phẩm

Kính hiển vi lực nguyên tử độc đáo LiteScope được thiết kế để kết hợp các điểm mạnh của kỹ thuật AFM và SEM, tạo ra quy trình làm việc hiệu quả và mở rộng khả năng của kính hiển vi tương quan và phân tích tại chỗ vốn khó hoặc gần như không thể thực hiện được bằng các thiết bị thông thường.

Thông tin cơ bản

• Phân tích đa phương thức & tương quan tại chỗ
• Quy trình làm việc được tối ưu hóa & tiết kiệm thời gian
• Hiệu suất tối ưu bên trong SEM
• Thiết kế phần cứng mở để dễ dàng tùy chỉnh

Lợi ích của giải pháp AFM-In-SEM

• Phân tích mẫu phức tạp và tương quan: Công nghệ CPEM tiên tiến cho phép thu thập đồng thời dữ liệu AFM và SEM cũng như mối tương quan liền mạch của chúng.
• Đặc điểm mẫu tại chỗ: Các điều kiện tại chỗ bên trong SEM đảm bảo phân tích mẫu cùng lúc, tại cùng một địa điểm và trong cùng một điều kiện.
• Xác định vị trí chính xác vùng quan tâm: Tiếp cận cực kỳ chính xác và tiết kiệm thời gian sử dụng SEM để điều hướng đầu AFM đến vùng quan tâm, cho phép xác định vị trí nhanh chóng và dễ dàng.
• Phương pháp mới về hình ảnh tương quan: Phân tích phức tạp nhưng tiết kiệm thời gian thông qua Kính hiển vi điện tử và đầu dò tương quan (CPEM) cho phép chụp ảnh tương quan 3D giúp loại bỏ nhu cầu thực hiện các tác vụ lặp đi lặp lại trước đây để đạt được loại kết quả tương tự.
• Giải pháp tất cả trong một: Phân tích tại chỗ tự động nhiều đặc tính vật liệu, kết hợp dữ liệu địa hình, độ tương phản vật liệu, đặc tính cơ học hoặc điện tạo ra hình ảnh CPEM ba chiều.

Đặc điểm phức tạp tại chỗ

• Đặc điểm cơ học vật liệu: địa hình, đặc điểm đàn hồi cục bộ (chế độ gõ và tiếp xúc), độ cứng mẫu cục bộ (không phải địa hình), đặc điểm vật liệu phụ thuộc vào độ sâu, nhiều hoạt động tại chỗ
• Đặc điểm từ tính vật liệu: hình ảnh miền từ tính
• Đặc điểm cơ điện vật liệu: hình ảnh miền áp điện
• Đặc điểm điện vật liệu: bản đồ độ dẫn điện (bao gồm các vùng cách điện), điện thế bề mặt cục bộ, đặc điểm điện cục bộ (không phải địa hình), địa hình dưới nanomet

LiteScope - Đầu quét

• AFM được thiết kế để tích hợp nhanh chóng và dễ dàng trong SEM (cũng hoạt động như một AFM độc lập)
• Hỗ trợ công nghệ Kính hiển vi điện tử và Đầu dò tương quan (CPEM)
• Đặc tính bề mặt toàn diện của vật liệu về cơ học, từ tính, cơ điện và điện
• Thiết kế nhỏ gọn tương thích với hầu hết các hệ thống SEM
• Lắp đặt hoặc tháo SEM dễ dàng trong vòng chưa đầy năm phút
• Tương thích với FIB, GIS, EDX và các phụ kiện khác
• Đầu dò tự cảm biến không cần phát hiện quang học hoặc điều chỉnh laser
• Phụ kiện và mô-đun đặc biệt