Tổng quan về sản phẩm

• Máy đo độ cong quang học Profilm3D® và Profilm3D-200 là hệ thống đo địa hình bề mặt 3D dựa trên giao thoa ánh sáng trắng (WLI) giá cả phải chăng, không tiếp xúc. Thế hệ mới nhất của máy đo độ cong ánh sáng trắng bao gồm các chế độ hình ảnh mới giúp mở rộng hiệu suất và giá trị. Dòng Profilm3D đo bề mặt từ nanomet đến milimet với thiết lập công thức đơn giản, linh hoạt, có thể quét một lần hoặc đo tự động tại nhiều địa điểm để hỗ trợ cả môi trường R&D và sản xuất.

Thông tin cơ bản

• Máy đo độ cong ánh sáng trắng Profilm3D và Profilm3D-200 của Filmetrics tạo ra các phép đo độ phân giải cao về địa hình bề mặt với độ phân giải dưới nanomet. Các công cụ này hỗ trợ cả quét dọc và giao thoa dịch pha. Sử dụng công nghệ TotalFocus®, Profilm3D cung cấp hình ảnh màu tự nhiên 3D tuyệt đẹp với mọi điểm ảnh đều được lấy nét. Thế hệ mới nhất của máy đo giao thoa ánh sáng trắng Profilm3D giới thiệu hình ảnh Độ nhám nâng cao để đo các bề mặt nhám hơn, độ dốc cao hơn và bề mặt phản xạ thấp hơn.
• Trong kỹ thuật đo Profilm3D, độ phân giải theo chiều dọc của phép đo không phụ thuộc vào khẩu độ số của vật kính, cho phép đo độ phân giải cao với trường nhìn rộng. Diện tích đo được có thể được tăng thêm bằng cách ghép nhiều trường nhìn vào một phép đo duy nhất. Máy đo độ cong quang học Profilm3D cũng có giao diện người dùng đơn giản, sáng tạo và các tính năng tự động để hỗ trợ nhiều môi trường làm việc, từ R&D đến sản xuất.
• Bộ phần mềm Profilm® của chúng tôi có các dịch vụ web ProfilmOnline® dựa trên đám mây tiên tiến, ứng dụng di động Android và iOS và phần mềm máy tính để bàn Profilm tiên tiến để cung cấp các giải pháp lưu trữ, trực quan hóa và phân tích dữ liệu linh hoạt.

Tính năng

• Quét dọc và giao thoa chuyển pha để đo các đặc điểm bề mặt từ nanomet đến milimet
• Chụp ảnh 3D TotalFocus với tiêu điểm được tối ưu hóa cho từng pixel trong toàn bộ phạm vi đo
• Chụp ảnh True-Color tạo ra màu mẫu thực tế để tăng cường khả năng hiển thị, đặc biệt là đối với các đặc điểm tinh tế hoặc ẩn
• Chế độ độ nhám tăng cường (ERM) làm tăng độ tương phản của viền để cải thiện độ trung thực trên các bề mặt dốc như thấu kính và cho phép cải thiện tín hiệu cho các bề mặt nhám
• Tự động lấy nét với phạm vi di chuyển piezo dài hàng đầu trong ngành để quét nhiều bề mặt cách nhau bởi khoảng cách chiều cao lớn
• Bàn di chuyển X-Y tự động với phạm vi di chuyển dài, tuyệt vời để lập bản đồ và khâu quét
• Bộ phần mềm trực quan B7 bao gồm máy tính để bàn Profilm tiên tiến, ProfilmOnline dựa trên đám mây và các ứng dụng di động để lưu trữ dữ liệu linh hoạt, trực quan hóa và phân tích
• Chiều cao bước: Chiều cao bước 3D từ nanomet đến milimet
• Kết cấu & Hình dạng: Độ nhám, độ gợn sóng, độ cong và hình dạng 3D
• Đặc điểm kết cấu
• Độ cong cạnh: 3D đo lường hồ sơ cạnh
• Đánh giá khuyết tật: Địa hình bề mặt khuyết tật 3D, đặc điểm khuyết tật
• Quét độ phân giải cao trên bề mặt phim trong suốt, lớn
• Độ nhám cao, độ phản xạ thấp, đặc điểm vết xước

Ứng dụng
Chiều cao bước

Các máy đo độ giao thoa ánh sáng trắng dòng Profilm3D của Filmetrics hỗ trợ đo độ cao bước 3D không tiếp xúc từ thang đo nanomet đến milimet. Giao thoa quét dọc có thể đo độ cao bước lớn với độ phân giải cấp nanomet. Các đặc điểm cấp dưới nanomet có thể được đo nhanh chóng bằng cách sử dụng giao thoa dịch pha. Giao thoa khâu Z cho phép đo nhanh các bước rất lớn với nhiều lần quét có độ phân giải cao được kết hợp thành một phép đo duy nhất. Nhiều kỹ thuật này cho phép người dùng định lượng lượng vật liệu bị loại bỏ hoặc lắng đọng bởi các quy trình bán dẫn như khắc, phun, lắng đọng, phủ quay, v.v.

Kết cấu: Độ nhám và độ gợn sóng

Các máy đo độ gợn sóng quang học dòng Profilm3D của Filmetrics cung cấp các phép đo kết cấu 3D không tiếp xúc, định lượng độ nhám và độ gợn sóng của mẫu. Chế độ dịch pha lý tưởng cho các bề mặt rất nhẵn. Các bộ lọc phần mềm tách phép đo thành các thành phần độ nhám và độ gợn sóng và tính toán các thông số như độ nhám trung bình bình phương căn bậc hai (RMS).

Form: Bow and Shape

Máy đo giao thoa ánh sáng trắng không tiếp xúc dòng Profilm3D của Filmetrics có thể đo hình dạng 3D hoặc độ cong của bề mặt. Khả năng này có thể được sử dụng để đo bán kính độ cong của thấu kính hoặc hình dạng của một bộ phận cấy ghép y tế, chẳng hạn như khớp hông hoặc stent.

TotalFocus®

Máy đo giao thoa quang học dòng Profilm3D của Filmetrics với TotalFocus chụp ảnh 3D True Color với mọi điểm ảnh đều được lấy nét. Tính năng này có thể được sử dụng để phân biệt ranh giới giữa các vật liệu có đặc tính quang học khác nhau.

Options

*Dòng Profilm3D
Máy đo giao thoa ánh sáng trắng Profilm3D của Filmetrics có các giai đoạn X-Y và Z cơ giới với hành trình 100mm và một giai đoạn nghiêng/đầu thủ công. Hệ thống hỗ trợ dịch pha và giao thoa quét dọc để đo địa hình bề mặt 3D có độ phân giải cao.

Máy đo giao thoa ánh sáng trắng Filmmetrics Profilm3D-200 bao gồm các tính năng giống như Profilm3D nhưng bổ sung thêm một bệ X-Y cơ giới lớn hơn hỗ trợ hành trình 200mm x 200mm.

Bộ phần mềm Profilm

Gói phần mềm Filmmetrics Profilm toàn diện, trực quan, nhanh chóng và thân thiện với người dùng. Các hoạt động dữ liệu 3D và các chức năng phân tích như san lấp mặt bằng, lọc, chiều cao bậc, độ nhám và các kỹ thuật phân tích địa hình bề mặt được bao gồm trong cấu hình cơ bản. Profilm hỗ trợ các phương pháp tính độ nhám ISO, cùng với các tiêu chuẩn địa phương, chẳng hạn như ASME. Dữ liệu từ Profilm có thể được tải lên nền tảng ProfilmOnline chỉ bằng một cú nhấp chuột để lưu trữ và chia sẻ dữ liệu dễ dàng, an toàn.

Ứng dụng web ProfilmOnline

Filmetrics ProfilmOnline là nền tảng phân tích và hình ảnh hóa dữ liệu 3D dựa trên đám mây được phát triển như một phần của bộ phần mềm Profilm. ProfilmOnline là nơi để chia sẻ, lưu trữ, xem và phân tích dữ liệu 3D, cho dù bạn đang sử dụng máy tính hay thiết bị di động. Có sẵn các ứng dụng cho hệ điều hành Android và iOS và hỗ trợ nhiều định dạng tệp khác nhau. Dữ liệu có thể được mã hóa để bảo mật.

Ống kính vật kính

Tháp bốn vị trí chứa các ống kính vật kính có độ phóng đại từ 5X đến 100X, để hỗ trợ các ứng dụng địa hình nano, vi mô và vĩ mô. Vật kính 5X là vật kính giao thoa Michelson. Các vật kính 10X, 20X, 50X và 100X là vật kính giao thoa Mirau.

Các giai đoạn

Các giai đoạn cơ giới cho các trục X-Y và Z là tiêu chuẩn trên hệ thống Profilm3D. Giai đoạn X-Y có hành trình 100mm x 100mm đối với Profilm3D và 200mm x 200mm đối với Profilm3D-200. Giai đoạn Z có phạm vi 100mm. Hành trình dọc theo tất cả các trục chuyển động có thể lập trình được. Giai đoạn nghiêng và đầu thủ công là tiêu chuẩn với chuyển động ±5°.

Một bệ wafer R-theta thủ công cũng có sẵn trên các máy đo độ cong quang học Profilm3D series, hỗ trợ wafer có đường kính từ 50mm đến 200mm. Ngoài ra, Profilm3D-200 còn hỗ trợ bộ chuyển đổi để giữ wafer có đường kính lên đến 200mm.

Bàn cách ly

Dòng Profilm3D của Filmetrics cung cấp hệ thống cách ly rung động mặt bàn chủ động Accurion Nano30 Series, sử dụng cách ly rung động chủ động truyền động điện động ở cả sáu bậc tự do.

Tiêu chuẩn chiều cao bậc

Dòng Profilm3D của Filmetrics bao gồm một tiêu chuẩn chiều cao bậc Cr trên Si 10µm được thiết kế riêng, bao gồm một bậc khắc có lớp phủ crôm. Một tiêu chuẩn chiều cao nhiều bậc cũng có sẵn dưới dạng tùy chọn, bao gồm các bậc 0,1µm, 2µm và 4µm.

Ngành công nghiệp

1.Trường đại học, phòng nghiên cứu và viện
2.Silicon và chất bán dẫn hợp chất
3.Quang học và cơ học chính xác
4.Thiết bị y tế
5.LED: Điốt phát sáng
6.Thiết bị điện
7.MEMS: Hệ thống vi cơ điện tử
8.Lưu trữ dữ liệu
9.Ô tô
10.Và nhiều hơn nữa: Liên hệ với chúng tôi với yêu cầu của bạn