เครื่องวัดโปรไฟล์พื้นผิวแบบออปติคัล Profilm3D® (Optical Profilometer System)

ภาพรวมผลิตภัณฑ์

Profilm3D® Optical Profilometer
Profilm3D® และ Profilm3D-200 เป็นระบบวัดพื้นผิว 3 มิติแบบไม่สัมผัสที่ใช้เทคโนโลยี White Light Interferometry (WLI) ซึ่งมีราคาที่เหมาะสมและให้ประสิทธิภาพสูง รุ่นล่าสุดของเครื่องวัดนี้รวมถึงโหมดการถ่ายภาพใหม่ที่ขยายขีดความสามารถและคุณค่า Profilm3D series สามารถวัดพื้นผิวตั้งแต่ระดับนาโนเมตรถึงมิลลิเมตรด้วยการตั้งค่าสูตรที่ง่ายและยืดหยุ่น รองรับการสแกนเดี่ยวหรือการวัดอัตโนมัติบนหลายจุด เพื่อสนับสนุนทั้งสภาพแวดล้อมการวิจัยและพัฒนาและการผลิต

ข้อมูลพื้นฐาน
เครื่องวัด Profilm3D และ Profilm3D-200 สร้างการวัดพื้นผิว 3 มิติที่มีความละเอียดสูงในระดับนาโนเมตร โดยใช้เทคโนโลยี TotalFocus® ที่ให้ภาพ 3 มิติสีธรรมชาติที่มีทุกพิกเซลในโฟกัส รุ่นล่าสุดของ Profilm3D ยังมีโหมด Enhanced Roughness สำหรับวัดพื้นผิวที่ขรุขระมากขึ้นและมีความลาดชันสูง

คุณสมบัติ

• การสแกนแนวตั้งและ Phase Shifting Interferometry สำหรับวัดลักษณะพื้นผิวตั้งแต่ระดับนาโนเมตรถึงมิลลิเมตร
• TotalFocus 3D imaging ที่ให้ภาพสีจริงของตัวอย่าง
• Enhanced Roughness Mode (ERM) สำหรับพื้นผิวที่มีความลาดชันและขรุขระ
• การโฟกัสอัตโนมัติและระยะการเคลื่อนที่ของ Piezo ที่ยาว
• แท่น X-Y อัตโนมัติที่มีระยะการเคลื่อนที่ยาว เหมาะสำหรับการทำแผนที่และการสแกน
• ซอฟต์แวร์ที่ใช้งานง่ายรวมถึง Profilm desktop, ProfilmOnline และแอปพลิเคชันมือถือ

การใช้งาน

• ความสูงขั้นบันได: วัดความสูงขั้นบันได 3 มิติตั้งแต่ระดับนาโนเมตรถึงมิลลิเมตร
• พื้นผิวและรูปทรง: วัดความขรุขระ, ความคลื่น, ความโค้ง และรูปร่าง
• การตรวจสอบข้อบกพร่อง: วัดลักษณะพื้นผิวและข้อบกพร่อง 3 มิติ
• พื้นผิวฟิล์มโปร่งใส: สแกนพื้นผิวขนาดใหญ่ที่มีความละเอียดสูง

ตัวเลือก

• Profilm3D Series: มีแท่น X-Y และ Z ที่ขับเคลื่อนด้วยมอเตอร์
• Profilm Software Suite: ซอฟต์แวร์ที่ครอบคลุมและใช้งานง่าย
• ProfilmOnline Web Application**: แพลตฟอร์มคลาวด์สำหรับการวิเคราะห์และเก็บข้อมูล 3 มิติ
• เลนส์วัตถุประสงค์: เลนส์ที่มีกำลังขยายตั้งแต่ 5X ถึง 100X
• แท่นวัด: แท่นวัดที่ขับเคลื่อนด้วยมอเตอร์และแท่นวัดแบบ R-theta

อุตสาหกรรม

• มหาวิทยาลัยและห้องปฏิบัติการวิจัย
• เซมิคอนดักเตอร์และออปติกส์
• อุปกรณ์ทางการแพทย์
• LED และ MEMS
• อุตสาหกรรมยานยนต์

ตัวอย่างการใช้งาน

• การพิมพ์ 3 มิติ: วัดความหนาและความสม่ำเสมอของชั้นพิมพ์
• การตกแต่งโลหะ : วัดความลึกของการตัดและความขรุขระของพื้นผิว
• เซมิคอนดักเตอร์ : วัดความสม่ำเสมอของ bump และขนาดของชิ้นส่วน
• ออปติกส์: วัดพื้นผิวที่มีความลาดชันสูงเช่นเลนส์
• ชีววิทยา : วัดตัวอย่างชีวภาพเช่นฟิล์มบางบนกระจก