Tổng quan về sản phẩm

Máy phân tích nano tỷ lệ chéo NANOPRO (HYBRID) FILER AFM-1000-3D là kính hiển vi lực nguyên tử (AFM) hiệu suất cao được thiết kế để đo lường và mô tả bề mặt chính xác. Nó cho phép các nhà nghiên cứu điều tra và phân tích địa hình, độ nhám và các đặc điểm quan trọng khác của nhiều vật liệu ở cấp độ nano.

Thông tin cơ bản

• Phạm vi chuyển động của bệ cơ giới XY (Độ phân giải: 20 nm): 300 mm × 300 mm
• Phạm vi chuyển động của bệ cơ giới Z (Độ phân giải: 5 nm): 30 mm
• Phạm vi quét đầu dò: 100 μm × 100 μm × 15 μm
• Độ ồn điều khiển vị trí vòng kín XY: 1 nm
• Độ ồn toàn bộ máy (Z): 30 pm
• Đo độ nhám dọc: 3σ 0.01 nm
• Đo độ nhám ngang: 3σ 1 nm (hoặc phạm vi 1%)
• Độ phân giải hình ảnh: lên tới 2048 × 2048

Ứng dụng chính

Đo hình dạng bề mặt của các thành phần gia công chính xác như thấu kính quang học, gương, bộ phận gia công kim loại kích cỡ khác nhau, đo độ nhám tần số trung gian và cao, cũng như độ chính xác nano của wafer, vật liệu polyme, vật liệu hai chiều, v.v.

Thông tin kỹ thuật

Đầu đo có độ chính xác cao

• Phạm vi quét đầu dò: 100um × 100um × 15um
• Tiếng ồn điều khiển vị trí vòng kín XY: 1nm
• Tiếng ồn của toàn bộ máy (Z): 30pm
• Tiếng ồn cảm biến dịch chuyển: 40fm/Hz
• Có chức năng bảo vệ dừng khẩn cấp, có thể kích hoạt dừng khẩn cấp khi đầu dò vô tình chạm vào mẫu và các điều kiện nguy hiểm khác, để bảo vệ đầu dò và mẫu

Công nghệ trao đổi kim không điều chỉnh

• Định vị cơ học có độ chính xác cao kết hợp với công nghệ hút từ để đạt được đầu dò-laser
• Cảm biến quang điện được căn chỉnh tự động, không cần điều chỉnh đường dẫn quang

Nền tảng quét tỷ lệ chéo (tùy chọn)

• Truyền động động cơ tuyến tính
• Hành trình bàn quét: 20mm
• Độ ổn định theo chiều dọc: ±2nm
• Độ phân giải mạng: 5nm
• Độ chính xác lặp lại: 100nm

Bộ điều khiển phản hồi FPGA tốc độ cao

• Có khả năng nhập và xuất tín hiệu tương tự có độ chính xác cao
• Nguồn điện tuyến tính cho tiếng ồn rất thấp
• Có 10 kênh thu thập dữ liệu, phân tích tín hiệu, hiển thị và khả năng lưu trữ
• Hỗ trợ đầu ra điện áp dạng sóng sin, dải tần bao phủ DC-2MHz, bước tăng tần số 0,1Hz

Giao diện IO kỹ thuật số

• Hỗ trợ điều khiển động cơ 5 trục có độ chính xác cao

Ví dụ ứng dụng

• Đo độ nhám: Độ phân giải dọc tốt hơn 30 pm, ngang tốt hơn 0.1 nm
• Đo kích thước: Hỗ trợ đo cấu trúc rãnh 5:1, CD, LER, LWR
• Thang đo chéo: Đo liên tục các bước từ 0.1 nm đến 1 mm với độ phân giải dọc dưới nanomet