Tổng quan về sản phẩm

Công cụ đo lường nano hàng đầu để phân tích lỗi
Park NX20 là giải pháp phân tích lỗi và đo lường bán dẫn. Thiết bị cung cấp các phép đo chính xác, chuẩn xác và có thể tái tạo, có chế độ không tiếp xúc để duy trì độ sắc nét của đầu đo, hình ảnh khuyết tật nhanh và hệ thống quét XY tách rời để đo 3D. Bộ dò Z ít tiếng ồn đảm bảo các phép đo địa hình chính xác mà không có lỗi trong quá trình quét tốc độ cao. Với khả năng đo độ nhám bề mặt, hình ảnh đánh giá khuyết tật, quét điện có độ phân giải cao và đo thành bên, Park NX20 vượt trội trong việc giải quyết các thách thức phức tạp về bán dẫn và nghiên cứu mẫu lớn.

Thông tin cơ bản

Hình ảnh đánh giá khuyết tật và phân tích cho mẫu lớn
Park NX20 được trang bị các tính năng độc đáo giúp dễ dàng phát hiện ra lý do gây ra lỗi thiết bị và phát triển các giải pháp sáng tạo hơn. Độ chính xác vô song của thiết bị cung cấp dữ liệu có độ phân giải cao cho phép bạn tập trung vào công việc của mình, trong khi chế độ quét Không tiếp xúc thực sự giúp đầu đo sắc nét hơn và lâu hơn. Park NX20 có một trong những thiết kế thân thiện với người dùng nhất và giao diện tự động trong ngành, vì vậy bạn sẽ không phải dành nhiều thời gian và năng lượng để sử dụng công cụ và giám sát các kỹ sư mới vào hệ thống. Điều này cho phép bạn tập trung kinh nghiệm của mình vào việc giải quyết các vấn đề lớn hơn và cung cấp phân tích lỗi kịp thời và sâu sắc cho khách hàng của mình.

Các tính năng chính

• Máy quét hướng dẫn uốn cong 2D với kích thước 100µm x 100µm
• Máy quét Z tốc độ cao với phạm vi quét 15µm
• Cảm biến vị trí XYZ tiếng ồn thấp
• Bệ mẫu XY có động cơ với bộ mã hóa tùy chọn
• Tự động quét từng bước
• Giá đỡ mẫu có thể truy cập được
• Tự động tham gia bằng đầu SLD trượt để kết nối
• Quang học công suất cao trực tiếp trên trục
• Khe mở rộng cho các chế độ và tùy chọn SPM nâng cao
• Bệ Z có động cơ căn chỉnh theo chiều dọc và bệ lấy nét
• Thiết bị điện tử kỹ thuật số 24 bit tốc độ cao