AFM-in-SEM
for In-Situ Correlative Microscopy
LiteScope
เราขอแนะนำ กล้องจุลทรรศน์แรงอะตอม (AFM) รุ่นปฏิวัติวงการ
ซึ่งสามารถ ผสานการทำงานเข้ากับกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบสแกน (SEM) ได้อย่างไร้รอยต่อ
เปิดประตูสู่ความเป็นไปได้ใหม่ ๆ ในการทำ การวิเคราะห์ภาพแบบสัมพันธ์ในสภาวะจริง (in-situ correlative microscopy)
ทำไมต้อง AFM-in-SEM?
กล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบสแกน (SEM) และ กล้องจุลทรรศน์แรงอะตอม (AFM)
เป็นสองเทคนิคที่ถูกใช้อย่างแพร่หลายที่สุด และมีคุณสมบัติที่เสริมกันอย่างดี
สำหรับการวิเคราะห์ตัวอย่างในระดับต่ำกว่า 1 นาโนเมตร
การผสานรวม AFM เข้ากับ SEM
ช่วยรวมข้อดีของทั้งสองเทคนิคไว้ด้วยกัน
ทำให้กระบวนการทำงานมีประสิทธิภาพสูงขึ้นอย่างมาก
และสามารถวิเคราะห์ตัวอย่างที่ซับซ้อนได้
ซึ่งก่อนหน้านี้แทบจะเป็นไปไม่ได้ หรือยากมาก
เมื่อใช้เครื่องมือ AFM และ SEM แบบแยกกัน
จุดเด่นทางเทคโนโลยี
การวิเคราะห์ตัวอย่างแบบสัมพันธ์หลายโหมด
เทคโนโลยี CPEM เป็นนวัตกรรมล้ำสมัยที่รวมการวัดเชิงกลของ AFM เข้ากับการถ่ายภาพเชิงอิเล็กตรอนของ SEM แบบเรียลไทม์ ช่วยให้ได้ข้อมูลทั้งด้านโครงสร้างและคุณสมบัติพื้นผิวในระดับนาโนอย่างแม่นยำ
การวิเคราะห์คุณลักษณะของตัวอย่างในสภาวะจริง
ด้วยการรักษาสภาพแวดล้อมของตัวอย่างไว้ภายในกล้อง SEM ขณะทำการวิเคราะห์
เทคโนโลยี In-situ ช่วยให้สามารถสังเกตและวัดผลพฤติกรรมของวัสดุ ได้อย่างแม่นยำโดยไม่ต้องเคลื่อนย้ายตัวอย่างออกจากระบบ
การระบุตำแหน่งบริเวณที่สนใจอย่างแม่นยำ
เทคนิคนี้ช่วยให้ผู้ใช้งานสามารถควบคุมหัววัดของ AFM ภายในกล้อง SEM ได้โดยตรง
ลดเวลาในการค้นหาพื้นที่ตัวอย่าง และเพิ่มความแม่นยำในการระบุตำแหน่งจุดวัดในระดับนาโน
AFM
SEM
บนตัวอย่างทดลอง ลำแสงอิเล็กตรอนจะชี้ไปใกล้กับหัววัดของ AFM โดยมีระยะคงที่
ทั้งลำแสงและหัววัดจะอยู่ในตำแหน่ง นิ่ง
ขณะที่ ตัวอย่างจะถูกสแกนด้วยสแกนเนอร์แบบไพโซอิเล็กทริกของ LiteScope
ด้วยวิธีนี้ ข้อมูลจากกล้องจุลทรรศน์ทั้งสองระบบสามารถถูกเก็บได้พร้อมกัน
ในตำแหน่งเดียวกัน และภายใต้สภาวะเดียวกัน
LiteScope มอบศักยภาพใหม่ให้แก่ผู้ใช้งาน
ในการวิเคราะห์ตัวอย่างและสร้างภาพเชิงสัมพันธ์แบบ 3 มิติขั้นสูง
ด้วยความแม่นยำในการจัดแนวภาพที่เหนือกว่าทุกระบบที่ผ่านมา
ความยืดหยุ่นของ LiteScope ยังพิสูจน์ให้เห็นถึง ความสามารถในการประยุกต์ใช้งานได้หลากหลายสาขา
ในสาขาต่าง ๆ เช่น วัสดุศาสตร์ (Material Science), นาโนเทคโนโลยี (Nanotechnology),
เซมิคอนดักเตอร์ (Semiconductors), การพัฒนาเซลล์แสงอาทิตย์ (Solar Cell Development),
วิทยาศาสตร์ชีวภาพ (Life Science) และสาขาวิจัยอื่น ๆ รวมถึงการประยุกต์ใช้งานในอุตสาหกรรม