Chemical Mechanical Polisher - xCMP150 Model

ภาพรวมผลิตภัณฑ์

เนื่องจากข้อกำหนดด้านการประมวลผลสำหรับคุณภาพพื้นผิวและความเรียบสูงของเวเฟอร์ในการวิจัยและพัฒนาชิป โดยเฉพาะเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์รุ่นที่สามและสี่ที่แสดงโดย SiC และเพชรโลหะ อุปกรณ์นี้สามารถควบคุมความเรียบของเวเฟอร์และความสม่ำเสมอของฟิล์มได้อย่างมีประสิทธิภาพผ่านการเพิ่มแรงดันแบบแบ่งส่วนร่วมมือระหว่างต้นแบบและลูกข่าย

ข้อมูลพื้นฐาน

การกำหนดค่าพื้นฐาน

• โมดูลหัวขัด: การเพิ่มแรงดันฟิล์มอากาศ ควบคุมอิสระ 6 โซน
• โมดูลแรงเสียดทาน: กำหนดลักษณะแรงเสียดทานโดยใช้กระแสไฟฟ้าของมอเตอร์
• ความจุการประมวลผลตัวอย่าง: 2/4/6 นิ้ว
• การดำเนินการขัด: การควบคุมโปรแกรมหน้าจอสัมผัส
• แรงกดหัวขัด: 0~4 psi (4 นิ้ว)
• ความเร็วหัวขัด: 0~300 รอบต่อนาที, ควบคุมต่อเนื่อง
• ความเร็วแผ่นขัด: 0~300 รอบต่อนาที, ควบคุมต่อเนื่อง
  
• ความเร็วเดรสเซอร์: 0~300 รอบต่อนาที, ควบคุมต่อเนื่อง
• การเคลื่อนที่แบบลูกสูบของหัวขัด/เดรสเซอร์: ระยะชัก 90 มม., ความเร็วต่อเนื่องและควบคุมได้
• สารละลายขัด: 1 ช่อง, จ่ายโดยปั๊มเพอริสแตลติก, อัตราการไหล 0~300 มล./นาที
• น้ำปราศจากไอออน: 1 ช่อง, จ่ายโดยปั๊มเพอริสแตลติก, อัตราการไหล 0~300 มล./นาที

• โมดูลเคมีไฟฟ้า: ช่วงศักย์ไฟฟ้า ± 10 V, ช่วงกระแสไฟฟ้า ± 250 mA, รองรับระบบสามอิเล็กโทรดและสองอิเล็กโทรด และรองรับวิธีการวัดที่หลากหลาย เช่น ไซคลิกโวลแทมเมทรี
• โมดูลแสงอัลตราไวโอเลต: แหล่งกำเนิดแสงอัลตราไวโอเลต 200-400 นาโนเมตร (ปรับแต่งได้), กำลังไฟ 0-500W (ปรับแต่งได้)

ทิศทางการใช้งาน

• สารละลายขัด
• แผ่นขัด
• การประมวลผลขัด
• อุปกรณ์ขัด
• บริการที่กำหนดเอง

ลักษณะทางเทคนิค

หัวขัดมาตรฐาน 4 นิ้ว

ความสามารถในการเปลี่ยนโครงสร้างที่แข็งแกร่ง:

สามารถใช้กับชุดขัด 60% หัวขัดมาตรฐาน 4 นิ้ว
เทคโนโลยีการประมวลผลฟิล์มอากาศที่เป็นกรรมสิทธิ์ ซึ่งสามารถปรับแต่งได้ตามข้อกำหนดของตัวอย่าง

ช่องก๊าซหลายช่อง:

• 3-8 ช่องก๊าซ ซึ่งสามารถกำหนดค่าได้ตามเทคโนโลยีการประมวลผลตัวอย่าง

หน้าแปลนเชื่อมต่ออเนกประสงค์ 150 - ประเภทโหลดต่างๆ:

• การออกแบบหน้าแปลนของโครงสร้างที่เป็นเอกลักษณ์ "การวางตำแหน่งลูกปัดสองจุด" ถูกนำมาใช้ การวางตำแหน่งที่แม่นยำ ง่ายต่อการถอดและประกอบ
• การควบคุมแรงดันอากาศอิสระของวงแหวนยึด/ตัวอย่าง ซึ่งสามารถรับรู้ถึงแรงดันหลายระดับได้