ALD atomic layer deposition system (ultra-high vacuum series)

ระบบการตกตะกอน

ชั้นอะตอม

ระบบ ALD (การตกตะกอนชั้นอะตอม) ช่วยให้สามารถสร้างและเติบโตของฟิล์มบางได้ด้วย ความแม่นยำในระดับอะตอม บนโครงสร้าง ไมโครนาโนแบบสามมิติที่ซับซ้อน

เทคโนโลยีนี้สามารถผลิตฟิล์มที่มี ความสม่ำเสมอสูง ความหนาแน่นสูง และการเคลือบที่แนบสนิทกับพื้นผิว

เหมาะสำหรับการใช้งานในหลากหลายสาขา

การประยุกต์ใช้งาน

• วัสดุนาโน (Nanomaterials)
• สร้างฟิล์มระดับนาโนที่มีความสม่ำเสมอสูง สำหรับ MEMS, ชั้นไดอิเล็กทริก, และ การเคลือบแบบไม่ชอบน้ำ/เข้ากันได้กับชีวภาพ

• เซลล์แสงอาทิตย์ (Solar Cells)
• ชั้น AlO สำหรับการพาสซิเวชัน (Passivation Layer) ช่วยเพิ่มประสิทธิภาพของ เซลล์แสงอาทิตย์ชนิด c-Si

• ตัวเร่งปฏิกิริยา (Catalysis)
• เหมาะสำหรับการผลิต ตัวเร่งปฏิกิริยาแบบแกนเปลือก (CoreShell), ตัวเร่งปฏิกิริยาออกไซด์/เฮเทอโรจีนัส, ตัวเร่งปฏิกิริยาอะตอมเดี่ยว, และ ตัวเร่งปฏิกิริยาแบบโลหะผสมสองชนิด

• แบตเตอรี่ลิเทียม (Lithium Batteries)
• ใช้เคลือบ แผ่นกั้น (Separator), ชั้นป้องกันขั้วบวก/ขั้วลบ, ลดการเกิดเดนไดรต์ (Dendrite) และ สร้างชั้น SEI เทียม (Artificial SEI)

• ฟิล์มเคลือบทางแสง (Optical Coatings)
• สร้างฟิล์มที่มีความหนาแน่นสูงบนพื้นผิวที่มีรูปทรงซับซ้อน ให้ประสิทธิภาพ เหนือกว่าเทคโนโลยี PVD สำหรับอุปกรณ์ออปติกขั้นสูง

• เทคโนโลยีชีวการแพทย์ (Biomedical)
• ใช้เคลือบพื้นผิวของ รากเทียม, ห่อหุ้มอนุภาคยา, และ พื้นผิวสำหรับการแพทย์ฟื้นฟู (Regenerative Medicine)

• OLED / LED
• สร้าง ฟิล์มเคลือบระดับนาโน (Nano Encapsulation Films) สำหรับ การบรรจุ OLED แบบยืดหยุ่น และช่วย เพิ่มประสิทธิภาพการป้องกัน (Passivation) ของ LED

ข้อมูลจำเพาะทางเทคนิค

• ชั้นฉนวนไฟฟ้าค่าคงที่สูง (AlO, ZrO, TaO เป็นต้น), การเชื่อมต่อโลหะ (Cu, Ru, TaN), วัสดุตัวเร่งปฏิกิริยา (Pt, Ir, Co, TiO), การเคลือบทางชีวการแพทย์ (TiN, ZrN, TiAlN), วัสดุเพียโซอิเล็กทริก (ZnO, AlN), ตัวนำไฟฟ้าโปร่งใส (ITO, ZnO:Al), คริสตัลโฟตอน (Photonic Crystals).

• ตู้ระบบ (Cabinet):
• โครงอะลูมิเนียม เปลือกเหล็กกล้าคาร์บอนพ่นสี.

• PLC + คอมพิวเตอร์อุตสาหกรรม, ระบบอินเตอร์ล็อก (Interlock System).

• ซอฟต์แวร์ควบคุมการทำงาน (Operation Software):
• ฟังก์ชันด้านความปลอดภัย, การตั้งค่าพารามิเตอร์, อินเตอร์ล็อก IO, การจัดการสิทธิ์ผู้ใช้งาน.