Penggilap Mekanikal Kimia - Model xCMP150

Senarai hajat

Bandingkan
Kongsi
kategori :
produk,
Produk Fabs ,
Fabrikasi mikro-nano ,
mesin CMP,
Makmal Produk ,
Fabrikasi mikro-nano ,
CMP/EBL/CL
Penerangan Produk
Gambaran Keseluruhan Produk

Memandangkan keperluan pemprosesan untuk kualiti permukaan yang tinggi dan kerataan tinggi wafer dalam penyelidikan dan pembangunan cip, terutamanya wafer semikonduktor generasi ketiga dan keempat yang diwakili oleh SiC dan berlian logam, peralatan tersebut boleh mengawal kerataan wafer dan keseragaman filem dengan berkesan melalui tekanan partition kolaboratif tuan-hamba.

Maklumat Asas

Konfigurasi asas
Modul kepala penggilap: tekanan filem udara, 6 zon dikawal secara bebas
Modul Geseran: Mencirikan geseran menggunakan arus motor
Kapasiti pemprosesan sampel: 2/4/6 inci
Pelaksanaan penggilapan: kawalan program skrin sentuh
Menggilap daya bawah kepala: 0~4 psi (4 inci).
Kelajuan kepala mengilat: 0~300 rpm, boleh dikawal berterusan
Kelajuan cakera mengilat: 0~300 rpm, boleh dikawal berterusan
Kelajuan meja rias: 0~300 rpm, boleh dikawal berterusan
Menggilap kepala/solek salingan: lejang 90 mm, kelajuan berterusan dan boleh dikawal
Menggilap buburan: 1 saluran, bekalan pam peristaltik, kadar aliran0~300 mL/min
Air dinyahion: 1 saluran, bekalan pam peristaltik, kadar aliran0~300 mL/min
Tingkatkan konfigurasi
Modul Elektrokimia: Julat potensi ± 10 V, julat arus ± 250 mA, menyokong sistem tiga elektrod dan dua elektrod, dan menyokong pelbagai kaedah pengukuran, seperti voltammetri kitaran.
Modul optik ultraungu: sumber cahaya ultraviolet 200-400 nm (boleh disesuaikan), kuasa 0-500W (boleh disesuaikan).
Arahan Permohonan

Menggilap buburan
Pad pengilat
Pemprosesan menggilap
Peralatan menggilap
Perkhidmatan tersuai
Ciri teknikal

Kepala botak standard 4 inci

Kebolehgantian struktur yang kuat:

Boleh digunakan dengan pakej penggilap standard 4 inci kepala penggilap 60%.
Teknologi pemprosesan filem udara proprietari, yang boleh disesuaikan mengikut keperluan sampel.

Saluran berbilang gas:

3-8 laluan gas, yang boleh dikonfigurasikan mengikut teknologi pemprosesan sampel
150 Bebibir Sambungan Universal - Pelbagai Jenis Beban:

Reka bentuk bebibir struktur unik "kedudukan manik dua mata" digunakan. Kedudukan yang tepat, mudah dibongkar dan dipasang.
Kawalan tekanan udara bebas bagi cincin/sampel pegangan, yang boleh merealisasikan tekanan berbilang peringkat.