Micro-nano Fabrication

เครื่องเคลือบฟิล์มบางแบบ Sputtering สำหรับงาน Micro-nano Fabrication และเซมิคอนดักเตอร์ ระบบ PVD สูญญากาศ ให้การเคลือบสม่ำเสมอ แม่นยำ และเหมาะสำหรับงานวิจัยและอุตสาหกรรม

Vacuum Pressure Nanoimprint System คือระบบพิมพ์ลวดลายระดับนาโนด้วยเทคโนโลยีสุญญากาศและแรงดันสูง ให้ความแม่นยำสูง ลดฟองอากาศ และเหมาะสำหรับงานวิจัย เซมิคอนดักเตอร์ โฟโตนิกส์ และไมโครนาโนแฟบริเคชัน

Fully Automatic Pneumatic Nanoimprint System คือระบบพิมพ์ลวดลายระดับนาโนแบบอัตโนมัติ ควบคุมแรงกดด้วยระบบลมอัด ให้ความแม่นยำสูง เหมาะสำหรับงานเซมิคอนดักเตอร์ โฟโตนิกส์ MEMS และการผลิตไมโคร-นาโนในระดับอุตสาหกรรม

High Concentration Ozone Water Machine สำหรับกระบวนการทำความสะอาดในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์และไมโครอิเล็กทรอนิกส์ ใช้สำหรับการกำจัดสารปนเปื้อนบนพื้นผิวเวเฟอร์และชิ้นงาน ด้วยน้ำโอโซนความเข้มข้นสูง ช่วยเพิ่มประสิทธิภาพในการทำความสะอาดและลดการใช้สารเคมีในกระบวนการผลิต

High Concentration Ozone Destroyer สำหรับการกำจัดและสลายโอโซนส่วนเกินในระบบอุตสาหกรรมและกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ ช่วยเพิ่มความปลอดภัยในการทำงาน ลดการสะสมของโอโซนในระบบ และเหมาะสำหรับการใช้งานในห้องคลีนรูมและกระบวนการผลิตขั้นสูง

High Purity & High Concentration Plate Type Ozone Generator สำหรับการผลิตโอโซนความบริสุทธิ์สูงในกระบวนการอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ ไมโครอิเล็กทรอนิกส์ และงานคลีนรูม ช่วยเพิ่มประสิทธิภาพในการทำความสะอาดพื้นผิว การบำบัดน้ำ และกระบวนการผลิตที่ต้องการโอโซนคุณภาพสูง

Air Pressure Desktop Nanoimprint System สำหรับกระบวนการสร้างโครงสร้างระดับไมโครและนาโนบนพื้นผิววัสดุ เหมาะสำหรับงานวิจัยด้านนาโนเทคโนโลยี ไมโครแฟบริเคชัน เซมิคอนดักเตอร์ และการพัฒนาวัสดุขั้นสูง ให้ความแม่นยำสูงในการถ่ายทอดลวดลายระดับนาโน

Wafer-Stepping Nanometer Imprint System สำหรับการสร้างลวดลายระดับนาโนเมตรบนเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ ด้วยเทคโนโลยี Nanoimprint Lithography ที่ให้ความแม่นยำสูง เหมาะสำหรับการผลิตอุปกรณ์ไมโครอิเล็กทรอนิกส์ งานนาโนเทคโนโลยี และกระบวนการไมโคร-นาโนแฟบริเคชันขั้นสูง

Composite Roller Nanoimprint System เครื่องนาโนอิมพริ้นท์แบบลูกกลิ้งสำหรับกระบวนการไมโครและนาโนแฟบริเคชัน รองรับการผลิตโครงสร้างระดับนาโนบนพื้นผิววัสดุหลากหลายชนิด เหมาะสำหรับงานวิจัยและอุตสาหกรรม เช่น ออปโตอิเล็กทรอนิกส์ ฟิล์มออปติคัล เซนเซอร์ และไมโครอิเล็กทรอนิกส์ ให้ความแม่นยำสูงและรองรับการผลิตแบบต่อเนื่อง