Micro-nano Characterization

เครื่องวัดความหนาฟิล์มบาง Filmetrics R54 Series รุ่น R54-200 สำหรับงานเซมิคอนดักเตอร์ ไมโคร-นาโน และห้องปฏิบัติการ ให้ค่าความแม่นยำสูงด้วยเทคโนโลยี Optical Reflectometry

ตู้ครอบอเนกประสงค์พร้อมระบบกันสั่นแบบ Active สำหรับงาน Micro-nano Characterization และเครื่องมือความแม่นยำสูง ช่วยลดแรงสั่นสะเทือน เพิ่มเสถียรภาพ เหมาะสำหรับห้องปฏิบัติการและอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์

เครื่องทำความสะอาดพื้นผิว Norcada สำหรับงาน Micro-nano Characterization และเซมิคอนดักเตอร์ ช่วยเตรียมพื้นผิวก่อนการเคลือบหรือการผลิตฟิล์มบาง เพิ่มประสิทธิภาพการยึดเกาะและความแม่นยำในงานวิจัย

MC-4 Multi-Functional Cleaner คือเครื่องทำความสะอาดพื้นผิวแบบ Plasma ขนาดตั้งโต๊ะ เหมาะสำหรับงาน Micro-nano Characterization งานเซมิคอนดักเตอร์ และการเตรียมพื้นผิวก่อนเคลือบฟิล์มบาง ช่วยเพิ่มการยึดเกาะและลดการปนเปื้อน

YP-20 Plasma Cleaner คือเครื่องทำความสะอาดพื้นผิวด้วยพลาสมาแบบพกพา เหมาะสำหรับงาน Micro-nano Characterization และเซมิคอนดักเตอร์ ช่วยขจัดสิ่งปนเปื้อนและปรับสภาพพื้นผิวก่อนการเคลือบหรือผลิตฟิล์มบาง เพิ่มประสิทธิภาพการยึดเกาะในงานวิจัยและอุตสาหกรรม

Tribometer คือเครื่องทดสอบแรงเสียดทานและการสึกหรอของวัสดุ สำหรับงาน Micro-nano Characterization และ Tribology เหมาะสำหรับงานวิจัยด้านวัสดุ วิศวกรรมพื้นผิว และการทดสอบสมบัติเชิงกลในห้องปฏิบัติการและอุตสาหกรรม

Force Measurement System คือระบบวัดแรงกดและแรงดึงความแม่นยำสูง สำหรับงาน Tribology และ Mechanical Testing เหมาะสำหรับการทดสอบสมบัติเชิงกลของวัสดุ งานวิจัยไมโครนาโน และการทดสอบในภาคอุตสาหกรรม

CG-0-4 High & Low Temperature Vacuum Probe Station คือสถานีโพรบสุญญากาศสำหรับการทดสอบเวเฟอร์และอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ในช่วงอุณหภูมิสูงและต่ำ เหมาะสำหรับงานวิจัยไมโครนาโน การวัดคุณสมบัติทางไฟฟ้า และการทดสอบวัสดุขั้นสูงในสภาวะควบคุมสุญญากาศ

In-Situ TEM Four-Degree-of-Freedom Nanomanipulator คืออุปกรณ์ควบคุมและจัดการชิ้นงานระดับนาโนภายในกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบส่องผ่าน (TEM) รองรับการเคลื่อนที่ 4 แกน เพื่อการวิจัยด้านวัสดุศาสตร์ นาโนเทคโนโลยี และไมโครอิเล็กทรอนิกส์

In-Situ Tensile Testing System คือระบบทดสอบแรงดึงวัสดุภายในกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอน (SEM/TEM) เพื่อวิเคราะห์พฤติกรรมเชิงกลระดับไมโครและนาโน เหมาะสำหรับงานวิจัยวัสดุศาสตร์ เซมิคอนดักเตอร์ และไมโครอิเล็กทรอนิกส์

In Situ AFM In SEM คือระบบรวม Atomic Force Microscopy (AFM) เข้ากับ Scanning Electron Microscope (SEM) เพื่อวิเคราะห์โครงสร้างและสมบัติพื้นผิวระดับนาโนแบบเรียลไทม์ เหมาะสำหรับงานวิจัยวัสดุศาสตร์ เซมิคอนดักเตอร์ และไมโครอิเล็กทรอนิกส์

In-Situ Heating Chips & Holders คืออุปกรณ์ควบคุมอุณหภูมิภายในกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอน (SEM / TEM) สำหรับศึกษาการเปลี่ยนแปลงโครงสร้าง วัสดุ และปฏิกิริยาทางความร้อนแบบเรียลไทม์ เหมาะสำหรับงานวัสดุศาสตร์ เซมิคอนดักเตอร์ แบตเตอรี่ และนาโนเทคโนโลยี