Micro-nano Characterization

Filmetrics R54 Series ialah sistem pengukuran ketebalan filem nipis berketepatan tinggi untuk industri semikonduktor dan makmal. Menggunakan teknologi reflectometry optik untuk keputusan pantas dan tepat.

Enklosur pelbagai guna dengan sistem pengasingan getaran aktif untuk instrumen makmal berketepatan tinggi dan aplikasi semikonduktor. Mengurangkan gangguan getaran dan memastikan persekitaran stabil untuk analisis mikro-nano.

Norcada Cleaner Tool ialah sistem pembersihan permukaan berketepatan tinggi untuk aplikasi semikonduktor dan fabrikasi mikro-nano. Sesuai untuk rawatan plasma dan penyediaan permukaan sebelum proses pemendapan filem nipis.

MC-4 Multi-Functional Cleaner ialah sistem pembersihan permukaan plasma bersaiz kompak untuk aplikasi mikro-nano dan penyelidikan semikonduktor. Sesuai untuk rawatan permukaan, pengaktifan dan penyediaan filem nipis dalam makmal.

YP-20 Plasma Cleaner ialah sistem pembersihan permukaan plasma bersaiz kompak dan mudah alih untuk aplikasi mikro-nano dan semikonduktor. Direka untuk pengaktifan permukaan, penyingkiran pencemaran dan penyediaan filem nipis dalam makmal penyelidikan.

Tribometer ialah sistem ujian geseran dan kehausan berketepatan tinggi untuk penyelidikan tribologi dan pencirian mekanikal bahan. Sesuai untuk pengukuran pekali geseran dan ketahanan kehausan dalam makmal serta aplikasi industri.

Force Measurement System ialah penyelesaian pengukuran daya mampatan dan tegangan berketepatan tinggi untuk ujian tribologi dan mekanikal. Sesuai untuk pencirian bahan, penyelidikan makmal dan aplikasi industri.

CG-0-4 ialah stesen probe vakum untuk ujian wafer dan pencirian elektrik dalam julat suhu tinggi dan rendah. Direka untuk penyelidikan mikro-nano dan pembangunan peranti semikonduktor dalam persekitaran vakum terkawal.

In-Situ TEM Four-Degree-of-Freedom Nanomanipulator ialah sistem manipulasi dan posisi nano berketepatan tinggi untuk eksperimen dalam Transmission Electron Microscope (TEM). Sesuai untuk penyelidikan bahan, nanoteknologi dan analisis mikro-nano.

The In-Situ Tensile Testing System enables real-time mechanical characterization inside SEM or TEM. Designed for micro and nano-scale tensile experiments in advanced materials research, semiconductor development, and micro-device reliability analysis.

In Situ AFM In SEM ialah sistem yang menggabungkan Atomic Force Microscopy dalam ruang SEM untuk analisis topografi dan sifat permukaan pada skala nano secara serentak. Sesuai untuk penyelidikan bahan maju dan aplikasi semikonduktor.

In-Situ Heating Chips & Holders membolehkan eksperimen suhu terkawal dalam ruang SEM atau TEM untuk analisis perubahan struktur dan sifat bahan secara masa nyata. Sesuai untuk penyelidikan bahan maju, semikonduktor dan bateri.