ตู้ครอบอเนกประสงค์พร้อมระบบกันสั่นแบบ Active สำหรับงาน Micro-nano Characterization และเครื่องมือความแม่นยำสูง ช่วยลดแรงสั่นสะเทือน เพิ่มเสถียรภาพ เหมาะสำหรับห้องปฏิบัติการและอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์
ภาพรวมผลิตภัณฑ์
Multi-Purpose Enclosure With Active Isolation System ได้รับการพัฒนาสำหรับเครื่องมือตรวจสอบและวัดค่าในสภาพแวดล้อมห้องคลีนรูม โดยกล้องจุลทรรศน์สำหรับการตรวจสอบและวัดค่าในห้องคลีนรูมมักเผชิญกับสภาพแวดล้อมที่รุนแรง
ในห้องคลีนรูมทั่วไป ระดับเสียงมักสูงกว่า 70dB(C) และการสั่นสะเทือนรุนแรงบนพื้นลอยตัวจะส่งผลกระทบต่อเครื่องมือวัดเป้าหมาย
Multi-Purpose Enclosure With Active Isolation Systemได้รับการออกแบบและผลิตโดยเทคโนโลยีที่มีสิทธิบัตร
Multi-Purpose Enclosure With Active Isolation System สามารถป้องกันกล้องจุลทรรศน์เป้าหมายจากเสียงรบกวนในห้องคลีนรูม โดยให้สภาพแวดล้อมที่ปราศจากการสั่นสะเทือนผ่านระบบป้องกันการสั่นสะเทือนแบบแอคทีฟ นอกจากนี้ ยังสามารถรักษาสภาพแวดล้อมที่ปราศจากอนุภาคด้วยระบบ Fan Filter Unit (FFU) ที่ไม่มีเสียงรบกวน และรักษาอุณหภูมิคงที่ด้วยระบบควบคุมความร้อน
Multi-Purpose Enclosure With Active Isolation System เป็นผลิตภัณฑ์หลักที่รวมทุกเทคโนโลยีเข้าด้วยกัน ทั้งระบบป้องกันการสั่นสะเทือนและระบบลดเสียงรบกวน