แชร์

Active Vibration Isolators แบบแท่นกันสั่น จุดเด่น จุดด้อย ข้อจำกัด

อัพเดทล่าสุด: 23 ธ.ค. 2025
ระบบ Active Vibration Isolators จะเป็นระบบป้องกันแรงสั่นสะเทือนโดยใช้การควบคุมด้วยอุปกรณ์เซ็นเซอร์และ actuator ที่ทำงานร่วมกับวงจรป้อนกลับ (feedback control) เพื่อให้สามารถปรับแรงรองรับของแท่นกันสั่นแบบ Real-Time ซึ่งหลักการโดยทั่วไปคือการติดตั้งเซ็นเซอร์วัดการเคลื่อนที่หรือความเร่งบนแพลตฟอร์ม จากนั้นจะส่งสัญญาณไปยังตัวขับ (actuator) อย่างมอเตอร์แม่เหล็ก เพื่อสร้างแรงต้าน (Anti-Vibration Force) ไปในทิศทางตรงข้ามกับการสั่นสะเทือนที่เกิดขึ้น ช่วยให้แท่นกันสั่นสามารถกดทับการสั่นสะเทือนจากพื้นหรือตัวเครื่องสู่แพลตฟอร์มได้ดีขึ้น โดยเฉพาะที่ความถี่ต่ำและรอบเรโซแนนซ์ที่ระบบ passive ทำได้ไม่ดีเท่า

เทคโนโลยีควบคุมในระบบ Active Vibration Isolators

ระบบ active vibration isolators จะใช้อัลกอริทึมควบคุมหลากหลายรูปแบบเพื่อให้ผลการลดแรงสั่นสะเทือนมีประสิทธิภาพมากขึ้น โดยทั่วไปนิยมใช้วิธีควบคุมดังต่อไปนี้
  • PID Control: เป็นการควบคุมแบบคลาสสิก ใช้ส่วนผิดพลาดเชิงสัดส่วน (P) บวกผลรวม (I) และการตอบสนองเชิงอนุพันธ์ (D) ในการปรับแรงต้าน ช่วยลดการสั่นสะเทือนได้ดีในระบบที่มีสมมติฐานเชิงเส้น (linear)
  • Adaptive Control: ตัวควบคุมปรับตัวเองโดยอัตโนมัติตามการเปลี่ยนแปลงของระบบหรือสภาวะแวดล้อม เช่น สามารถหาค่าพารามิเตอร์ที่เหมาะสมเมื่อโหลดบนแพลตฟอร์มเปลี่ยนแปลง
  • Fuzzy Logic Control: ใช้วิธีการแบบใช้กฎ (rule-based) แทนฟังก์ชันคณิตศาสตร์แน่นอน เหมาะกับระบบที่มีความไม่แน่นอนหรือไม่เป็นเชิงเส้นสูง สามารถจัดการกับความไม่แน่นอนของโมเดลได้ดี
  • Robust Control / Optimal Control: อัลกอริทึมขั้นสูง เช่น H-infinity, LQG, หรือ Model Predictive Control (MPC) ใช้เมื่อระบบมีความไม่แน่นอนหรือปัญหาแบบหลายอินพุต-หลายเอาต์พุต การออกแบบมักเน้นความทนทานต่อความคลาดเคลื่อนและการรบกวนจากภายนอก
  • ปัญญาประดิษฐ์และเครือข่ายประสาทเทียม (Neural Network): ใช้เรียนรู้ความสัมพันธ์เชิงซับซ้อนของระบบจากข้อมูลและสามารถประมาณการควบคุมได้แบบออฟไลน์หรือออนไลน์ เพื่อจัดการกับความไม่เป็นเชิงเส้นที่ซับซ้อน
  • เทคนิคสมัยใหม่อื่นๆ เช่น การป้อนกลับแบบฟีดฟอร์เวิร์ด (feedforward compensation) และเทคนิคโมเดลซิมิเลชัน (model inversion) เพื่อชดเชยความเฉื่อยหรือฮิสเทอรีซีสของอุปกรณ์แอคทูเอเตอร์ งานวิจัยบางชิ้นใช้ Particle Swarm Optimization หรือวิธี AI ในการปรับค่าพารามิเตอร์ควบคุมให้แม่นยำขึ้น

เปรียบเทียบ Active กับ Passive Isolators

เมื่อเปรียบเทียบ Active Vibration Isolators กับ Passive Vibration Isolators ระบบ Passive จะมีโครงสร้างที่เรียบง่าย ติดตั้งง่าย ค่าใช้จ่ายต่ำและไม่ต้องใช้พลังงานภายนอก แต่ประสิทธิภาพการทำงานจะจำกัดเฉพาะช่วงความถี่สูงถึงกลางเท่านั้น การสั่นสะเทือนที่ความถี่ต่ำหรือใกล้ความถี่เรโซแนนซ์จะไม่ได้รับการลดทอนมากนักและอาจเกิดการขยายสัญญาณจนทำให้แพลตฟอร์มรองรับเกิดการสั่นสะเทือนมากขึ้นด้วยเช่นกัน

ในขณะที่ระบบ Active จะมีข้อได้เปรียบที่สามารถลดแรงสั่นสะเทือนในย่านความถี่ต่ำได้ดี เพราะมีฟีดแบ็กจากเซ็นเซอร์และแอคทูเอเตอร์เข้ามาช่วยปรับแรงรองรับอย่างต่อเนื่อง ทำให้ระบบ Active เหมาะกับการใช้งานที่ต้องการความแม่นยำสูง สามารถปรับสมดุลแบบเรียลไทม์และรักษาประสิทธิภาพกันสั่นในย่านความถี่ที่กว้างกว่า แต่สิ่งหนึ่งที่ต้องรู้คือตัว Active Vibration Isolators จะต้องใช้แหล่งพลังงานภายนอก มีความซับซ้อนมากขึ้นในการใช้งานและมีต้นทุนที่สูงกว่า

จุดเด่น จุดด้อย และข้อจำกัดของ Active Vibration Isolators

จุดเด่น

สามารถสร้างระบบกันสั่นสะเทือนได้ในวงกว้าง (wideband) โดยเฉพาะที่ความถี่ต่ำ ทำให้เครื่องมือแม่นยำได้รับผลกระทบน้อยลง ตอบสนองเร็ว ปรับปรุงคุณภาพการทำงานของอุปกรณ์ได้มากในสภาวะสั่นสะเทือนที่เปลี่ยนแปลงได้. นอกจากนี้ ความสามารถในการควบคุมแบบฟีดแบ็กยังช่วยให้การลดแรงสั่นสะเทือนมีความแม่นยำสูง (high-precision) และยืดหยุ่นต่อเงื่อนไขการทำงานต่างๆ

จุดด้อย 

ต้องการอุปกรณ์เซ็นเซอร์และแอคทูเอเตอร์หลายชิ้น มีต้นทุนสูง และต้องใช้พลังงาน (ไฟฟ้า) ในการทำงาน อีกทั้งมีความซับซ้อนทั้งทางกลและซอฟต์แวร์ควบคุม จึงต้องการการออกแบบที่ระมัดระวังเพื่อป้องกันความผิดพลาด. ระบบยังต้องการกำลังขับแอคทูเอเตอร์ที่สูงพอที่จะรองรับน้ำหนักตั้งต้นของระบบ ดังนั้นถ้าใช้แอคทูเอเตอร์ที่มีความแข็งตัวสูง (stiff) อาจทำให้แบนด์วิดท์ลดลง และประสิทธิภาพหักล้างแรงสั่นสะเทือนจะน้อยลง

ข้อจำกัด 

แอคทูเอเตอร์มักมีระยะการเคลื่อนที่จำกัด (limited stroke) จึงไม่เหมาะกับแรงสั่นสะเทือนขนาดใหญ่มาก ระบบแบบหลาย DOF (เช่น 6 แกน) ต้องใช้ตัวแอคทูเอเตอร์หลายตัวร่วมกัน ทำให้เกิดปัญหาความสัมพันธ์ระหว่างแกน (cross-coupling) และต้องใช้เทคนิค decoupling เข้ามาช่วย นอกจากนี้ การควบคุมฟีดแบ็กอาจเกิดการหน่วงเวลา (latency) หรือสัญญาณรบกวนจากเซ็นเซอร์ได้ จึงต้องออกแบบให้มีความเสถียรและทนทานต่อสภาวะผิดปกติ



ตัวอย่างการใช้งานระบบ Active Vibration Isolators

เครื่องจักรความแม่นยำสูง: เช่น กล้องโทรทรรศน์ขนาดใหญ่ ระบบเร่งอนุภาค เครื่องจัดลำแสงแบบมีความแม่นยำสูง (interferometer) หรือเครื่องลิโทกราฟีในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ รวมถึงเครื่องมือวัดระดับนาโน (เช่น Atomic Force Microscope) ที่ต้องการความนิ่งของพื้นฐาน

ห้องปฏิบัติการวิจัยและนาโนเทคโนโลยี: อุปกรณ์ภาพจุลทรรศน์อิเล็กตรอน (SEM/TEM) เครื่องตรวจสอบเวเฟอร์ เครื่องพิมพ์แม่พิมพ์นาโน หรืองานทดลองที่ใช้เครื่องมือที่ตอบสนองต่อแรงสั่นสะเทือนสูง การติดตั้งระบบ Active Isolators สามารถช่วยให้ผลการทดลองมีความแม่นยำมากขึ้น

อุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์และอิเล็กทรอนิกส์: เช่น เครื่องลิโทกราฟีขั้นสูงในโรงงานผลิตชิ้นส่วนอิเล็กทรอนิกส์ ที่ต้องการตำแหน่งและการจัดวางที่แม่นยำที่สุด ระบบกันสั่นแบบ active ช่วยลดการสั่นสะเทือนที่ปนเปื้อนจากเครื่องจักรอื่นหรือพื้นโรงงาน ทำให้อัตราผลิตเพิ่มขึ้นและความผิดพลาดลดลง

เทคโนโลยีอวกาศและการบิน: แพลตฟอร์มสำหรับติดตั้งอุปกรณ์วัดค่าหรือ payload บนดาวเทียมและยานอวกาศ ซึ่งต้องทนต่อแรงสั่นสะเทือนเล็กๆ (micro-vibrations) จากการหมุนหรือชิ้นส่วนกลไกภายใน งานวิจัยล่าสุดนำแพลตฟอร์มแบบ Stewart พร้อมแอคทูเอเตอร์ piezoelectric มาใช้สร้างระบบกันสั่นสำหรับดาวเทียมเพื่อรักษาความแม่นยำของเซนเซอร์ต่างๆ

 
เพราะเครื่องมือ Active Vibration Isolators เป็นเครื่องมือที่สำคัญมากทั้งในห้องปฏิบัติการรวมถึงในอุตสาหกรรมขั้นสูงระดับไมโครและนาโน เรา Hong Kong NTI มีบริการและจัดจำหน่ายเครื่องมือที่มีประสิทธิภาพสูงแบรนด์ชั้นนำในอุตสาหกรรม ด้วยความเชี่ยวชาญระดับโลกกว่า 16 ปีที่เราส่งมอบเครื่องมือและบริการ เพื่อการวิจัยและการพัฒนาอย่างมีประสิทธิภาพ

หากสนใจ สามารถติดต่อเราได้ที่ 725 อาคารเอส-เมโทร ชั้น 20, ถนนสุขุมวิท, คลองตันเหนือ, วัฒนา, กรุงเทพฯ

โทร: 02-821-5278

อีเมล: info@hknti.com

Line: https://line.me/R/ti/p/@816txpya

 

 

หลักการทำงาน ความแตกต่างและการประยุกต์ใช้ Active Vibration Isolators ในบทความนี้ อ้างอิงจากงานวิจัยและบทความวิชาการจากแหล่งเหล่านี้

https://www.researchgate.net/publication/349980422_Review_on_vibration_isolation_technology

https://www.nature.com/articles/s41598-024-84980-2

https://www.mdpi.com/2076-3417/14/17/7966

https://pmc.ncbi.nlm.nih.gov/articles/PMC7219080

https://www.researchgate.net/publication/48410606_Active_vibration_isolation_of_high_precision_machines

https://pmc.ncbi.nlm.nih.gov/articles/PMC7219080/

https://www.researchgate.net/publication/224651377_Active_vibration_control_of_a_isolation_platform_based_on_state_space_LQG


บทความที่เกี่ยวข้อง
Maskless Lithography
Maskless Lithography คือเทคโนโลยีที่ใช้ในการสร้างลวดลายบนพื้นผิววัสดุระดับไมโครและนาโนโดยไม่จำเป็นต้องใช้โฟโตมาสก์ที่เป็นแม่แบบทางกายภาพดั้งเดิมหรือไม่ใช้แผ่นแม่แบบในการกำหนดตำแหน่ง
23 ธ.ค. 2025
This website uses cookies for best user experience, to find out more you can go to our Privacy Policy และ Cookies Policy
เปรียบเทียบสินค้า
0/4
ลบทั้งหมด
เปรียบเทียบ
Powered By MakeWebEasy Logo MakeWebEasy