Active Vibration Isolators แบบแท่นกันสั่น จุดเด่น จุดด้อย ข้อจำกัด

เทคโนโลยีควบคุมในระบบ Active Vibration Isolators
ระบบ active vibration isolators จะใช้อัลกอริทึมควบคุมหลากหลายรูปแบบเพื่อให้ผลการลดแรงสั่นสะเทือนมีประสิทธิภาพมากขึ้น โดยทั่วไปนิยมใช้วิธีควบคุมดังต่อไปนี้- PID Control: เป็นการควบคุมแบบคลาสสิก ใช้ส่วนผิดพลาดเชิงสัดส่วน (P) บวกผลรวม (I) และการตอบสนองเชิงอนุพันธ์ (D) ในการปรับแรงต้าน ช่วยลดการสั่นสะเทือนได้ดีในระบบที่มีสมมติฐานเชิงเส้น (linear)
- Adaptive Control: ตัวควบคุมปรับตัวเองโดยอัตโนมัติตามการเปลี่ยนแปลงของระบบหรือสภาวะแวดล้อม เช่น สามารถหาค่าพารามิเตอร์ที่เหมาะสมเมื่อโหลดบนแพลตฟอร์มเปลี่ยนแปลง
- Fuzzy Logic Control: ใช้วิธีการแบบใช้กฎ (rule-based) แทนฟังก์ชันคณิตศาสตร์แน่นอน เหมาะกับระบบที่มีความไม่แน่นอนหรือไม่เป็นเชิงเส้นสูง สามารถจัดการกับความไม่แน่นอนของโมเดลได้ดี
- Robust Control / Optimal Control: อัลกอริทึมขั้นสูง เช่น H-infinity, LQG, หรือ Model Predictive Control (MPC) ใช้เมื่อระบบมีความไม่แน่นอนหรือปัญหาแบบหลายอินพุต-หลายเอาต์พุต การออกแบบมักเน้นความทนทานต่อความคลาดเคลื่อนและการรบกวนจากภายนอก
- ปัญญาประดิษฐ์และเครือข่ายประสาทเทียม (Neural Network): ใช้เรียนรู้ความสัมพันธ์เชิงซับซ้อนของระบบจากข้อมูลและสามารถประมาณการควบคุมได้แบบออฟไลน์หรือออนไลน์ เพื่อจัดการกับความไม่เป็นเชิงเส้นที่ซับซ้อน
- เทคนิคสมัยใหม่อื่นๆ เช่น การป้อนกลับแบบฟีดฟอร์เวิร์ด (feedforward compensation) และเทคนิคโมเดลซิมิเลชัน (model inversion) เพื่อชดเชยความเฉื่อยหรือฮิสเทอรีซีสของอุปกรณ์แอคทูเอเตอร์ งานวิจัยบางชิ้นใช้ Particle Swarm Optimization หรือวิธี AI ในการปรับค่าพารามิเตอร์ควบคุมให้แม่นยำขึ้น
เปรียบเทียบ Active กับ Passive Isolators
เมื่อเปรียบเทียบ Active Vibration Isolators กับ Passive Vibration Isolators ระบบ Passive จะมีโครงสร้างที่เรียบง่าย ติดตั้งง่าย ค่าใช้จ่ายต่ำและไม่ต้องใช้พลังงานภายนอก แต่ประสิทธิภาพการทำงานจะจำกัดเฉพาะช่วงความถี่สูงถึงกลางเท่านั้น การสั่นสะเทือนที่ความถี่ต่ำหรือใกล้ความถี่เรโซแนนซ์จะไม่ได้รับการลดทอนมากนักและอาจเกิดการขยายสัญญาณจนทำให้แพลตฟอร์มรองรับเกิดการสั่นสะเทือนมากขึ้นด้วยเช่นกันในขณะที่ระบบ Active จะมีข้อได้เปรียบที่สามารถลดแรงสั่นสะเทือนในย่านความถี่ต่ำได้ดี เพราะมีฟีดแบ็กจากเซ็นเซอร์และแอคทูเอเตอร์เข้ามาช่วยปรับแรงรองรับอย่างต่อเนื่อง ทำให้ระบบ Active เหมาะกับการใช้งานที่ต้องการความแม่นยำสูง สามารถปรับสมดุลแบบเรียลไทม์และรักษาประสิทธิภาพกันสั่นในย่านความถี่ที่กว้างกว่า แต่สิ่งหนึ่งที่ต้องรู้คือตัว Active Vibration Isolators จะต้องใช้แหล่งพลังงานภายนอก มีความซับซ้อนมากขึ้นในการใช้งานและมีต้นทุนที่สูงกว่า
จุดเด่น จุดด้อย และข้อจำกัดของ Active Vibration Isolators
จุดเด่น
สามารถสร้างระบบกันสั่นสะเทือนได้ในวงกว้าง (wideband) โดยเฉพาะที่ความถี่ต่ำ ทำให้เครื่องมือแม่นยำได้รับผลกระทบน้อยลง ตอบสนองเร็ว ปรับปรุงคุณภาพการทำงานของอุปกรณ์ได้มากในสภาวะสั่นสะเทือนที่เปลี่ยนแปลงได้. นอกจากนี้ ความสามารถในการควบคุมแบบฟีดแบ็กยังช่วยให้การลดแรงสั่นสะเทือนมีความแม่นยำสูง (high-precision) และยืดหยุ่นต่อเงื่อนไขการทำงานต่างๆ
จุดด้อย
ต้องการอุปกรณ์เซ็นเซอร์และแอคทูเอเตอร์หลายชิ้น มีต้นทุนสูง และต้องใช้พลังงาน (ไฟฟ้า) ในการทำงาน อีกทั้งมีความซับซ้อนทั้งทางกลและซอฟต์แวร์ควบคุม จึงต้องการการออกแบบที่ระมัดระวังเพื่อป้องกันความผิดพลาด. ระบบยังต้องการกำลังขับแอคทูเอเตอร์ที่สูงพอที่จะรองรับน้ำหนักตั้งต้นของระบบ ดังนั้นถ้าใช้แอคทูเอเตอร์ที่มีความแข็งตัวสูง (stiff) อาจทำให้แบนด์วิดท์ลดลง และประสิทธิภาพหักล้างแรงสั่นสะเทือนจะน้อยลง
ข้อจำกัด
แอคทูเอเตอร์มักมีระยะการเคลื่อนที่จำกัด (limited stroke) จึงไม่เหมาะกับแรงสั่นสะเทือนขนาดใหญ่มาก ระบบแบบหลาย DOF (เช่น 6 แกน) ต้องใช้ตัวแอคทูเอเตอร์หลายตัวร่วมกัน ทำให้เกิดปัญหาความสัมพันธ์ระหว่างแกน (cross-coupling) และต้องใช้เทคนิค decoupling เข้ามาช่วย นอกจากนี้ การควบคุมฟีดแบ็กอาจเกิดการหน่วงเวลา (latency) หรือสัญญาณรบกวนจากเซ็นเซอร์ได้ จึงต้องออกแบบให้มีความเสถียรและทนทานต่อสภาวะผิดปกติ

ตัวอย่างการใช้งานระบบ Active Vibration Isolators
เครื่องจักรความแม่นยำสูง: เช่น กล้องโทรทรรศน์ขนาดใหญ่ ระบบเร่งอนุภาค เครื่องจัดลำแสงแบบมีความแม่นยำสูง (interferometer) หรือเครื่องลิโทกราฟีในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ รวมถึงเครื่องมือวัดระดับนาโน (เช่น Atomic Force Microscope) ที่ต้องการความนิ่งของพื้นฐาน
ห้องปฏิบัติการวิจัยและนาโนเทคโนโลยี: อุปกรณ์ภาพจุลทรรศน์อิเล็กตรอน (SEM/TEM) เครื่องตรวจสอบเวเฟอร์ เครื่องพิมพ์แม่พิมพ์นาโน หรืองานทดลองที่ใช้เครื่องมือที่ตอบสนองต่อแรงสั่นสะเทือนสูง การติดตั้งระบบ Active Isolators สามารถช่วยให้ผลการทดลองมีความแม่นยำมากขึ้น
อุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์และอิเล็กทรอนิกส์: เช่น เครื่องลิโทกราฟีขั้นสูงในโรงงานผลิตชิ้นส่วนอิเล็กทรอนิกส์ ที่ต้องการตำแหน่งและการจัดวางที่แม่นยำที่สุด ระบบกันสั่นแบบ active ช่วยลดการสั่นสะเทือนที่ปนเปื้อนจากเครื่องจักรอื่นหรือพื้นโรงงาน ทำให้อัตราผลิตเพิ่มขึ้นและความผิดพลาดลดลง
เทคโนโลยีอวกาศและการบิน: แพลตฟอร์มสำหรับติดตั้งอุปกรณ์วัดค่าหรือ payload บนดาวเทียมและยานอวกาศ ซึ่งต้องทนต่อแรงสั่นสะเทือนเล็กๆ (micro-vibrations) จากการหมุนหรือชิ้นส่วนกลไกภายใน งานวิจัยล่าสุดนำแพลตฟอร์มแบบ Stewart พร้อมแอคทูเอเตอร์ piezoelectric มาใช้สร้างระบบกันสั่นสำหรับดาวเทียมเพื่อรักษาความแม่นยำของเซนเซอร์ต่างๆ
เพราะเครื่องมือ Active Vibration Isolators เป็นเครื่องมือที่สำคัญมากทั้งในห้องปฏิบัติการรวมถึงในอุตสาหกรรมขั้นสูงระดับไมโครและนาโน เรา Hong Kong NTI มีบริการและจัดจำหน่ายเครื่องมือที่มีประสิทธิภาพสูงแบรนด์ชั้นนำในอุตสาหกรรม ด้วยความเชี่ยวชาญระดับโลกกว่า 16 ปีที่เราส่งมอบเครื่องมือและบริการ เพื่อการวิจัยและการพัฒนาอย่างมีประสิทธิภาพ
หากสนใจ สามารถติดต่อเราได้ที่ 725 อาคารเอส-เมโทร ชั้น 20, ถนนสุขุมวิท, คลองตันเหนือ, วัฒนา, กรุงเทพฯ
โทร: 02-821-5278
อีเมล: info@hknti.com
Line: https://line.me/R/ti/p/@816txpya
หลักการทำงาน ความแตกต่างและการประยุกต์ใช้ Active Vibration Isolators ในบทความนี้ อ้างอิงจากงานวิจัยและบทความวิชาการจากแหล่งเหล่านี้
https://www.researchgate.net/publication/349980422_Review_on_vibration_isolation_technology
https://www.nature.com/articles/s41598-024-84980-2
https://www.mdpi.com/2076-3417/14/17/7966
https://pmc.ncbi.nlm.nih.gov/articles/PMC7219080
https://www.researchgate.net/publication/48410606_Active_vibration_isolation_of_high_precision_machines
https://pmc.ncbi.nlm.nih.gov/articles/PMC7219080/
https://www.researchgate.net/publication/224651377_Active_vibration_control_of_a_isolation_platform_based_on_state_space_LQG


