Hệ thống lắng đọng laser xung (Hệ thống Pioneer 180 PLD)

Tổng quan về sản phẩm

Hệ thống PLD dòng Pioneer Neocera được thiết kế sáng tạo dựa trên kinh nghiệm vượt trội. Neocera đã tiến hành nghiên cứu sâu rộng bằng cách sử dụng PLD để thiết lập các thông số quan trọng nhằm đạt chất lượng màng cao, đặc biệt cho lắng đọng các màng oxit phức hợp. Những kết quả nghiên cứu này đã được áp dụng vào thiết kế của hệ thống Pioneer.

• Nhiều màng oxit phức hợp được làm mát ở áp suất oxy tương đối cao (>100 Torr) để đạt chất lượng cao hơn. Tính năng này có sẵn trên tất cả các hệ thống Pioneer (phạm vi áp suất từ áp suất ban đầu định mức đến áp suất khí quyển). Điều này cũng có lợi cho việc tạo ra các hạt nano.
• Hệ thống Pioneer PLD có góc tới của chùm tia laser là 45°, duy trì độ đồng đều tối đa của mật độ laser trên toàn bộ mục tiêu đồng thời tránh sử dụng quang học phức tạp và đắt tiền. Góc tới lớn hơn sẽ kéo dài điểm laser trên mục tiêu, dẫn đến mất độ đồng đều về mật độ.
• Để tránh sử dụng bơm chân không tương thích với oxy đắt tiền và loại bỏ tác động của dầu chảy ngược lên chất lượng màng, tất cả các hệ thống Pioneer đều có hệ thống bơm không dầu theo tiêu chuẩn.
• Nghiên cứu cho thấy khoảng cách giữa mục tiêu và chất nền là một thông số quan trọng để đạt được chất lượng màng. Hệ thống Pioneer kiểm soát khoảng cách giữa mục tiêu và chất nền để đạt điều kiện lắng đọng tối ưu.

Hướng ứng dụng

Phủ Laser xung là kỹ thuật lắng đọng màng mỏng được sử dụng rộng rãi. Laser xung làm bay hơi nhanh mục tiêu, tạo ra màng mỏng giống hệt với mục tiêu. Tính năng độc đáo của PLD là nguồn năng lượng (laser xung) nằm bên ngoài buồng chân không. Theo cách này, khi vật liệu được tổng hợp, phạm vi động của áp suất làm việc rất rộng, đạt 10^-10 Torr ~ 100 Torr. Bằng cách kiểm soát áp suất và nhiệt độ phủ, có thể tổng hợp nhiều cấu trúc nano và hạt nano có chức năng độc đáo. Ngoài ra, PLD là công nghệ "kỹ thuật số" kiểm soát quy trình (Å/xung) ở cấp độ nano.

• Neocera có kinh nghiệm tuyệt vời trong thiết bị PLD và phát triển quy trình Dòng sản phẩm Pioneer của hệ thống PLD được sử dụng rộng rãi trong R&D trên toàn thế giới Neocera không chỉ cung cấp cho khách hàng các hệ thống PLD cơ bản nhất,Một giải pháp chìa khóa trao tay hoàn chỉnh cho các phòng thí nghiệm PLD cũng có sẵn