Hệ thống chống rung chủ động khí nén loại bệ cơ sở

Tổng quan về sản phẩm

Kính hiển vi điện tử dễ bị nhiễu loạn rung do một số yếu tố bao gồm cộng hưởng cấu trúc do rung động của sàn. Hệ thống cách ly thụ động khí nén sẽ không tạo ra đủ môi trường rung để phát huy hiệu suất tối ưu của kính hiển vi khi quan sát hình ảnh có độ phóng đại cao và độ phân giải cao.

VAIS-PB là hệ thống chống rung chủ động loại bệ cơ sở được tối ưu hóa cho kính hiển vi điện tử (SEM, TEM và FIB). Với khung đỡ khí nén, hệ thống này hoạt động tốt hơn các hệ thống lò xo kim loại của đối thủ cạnh tranh và loại bỏ hiệu quả rung động xung không tuần hoàn.
Kể từ khi thương mại hóa thành công vào năm 2015, khả năng hiệu suất cao của hệ thống đã được áp dụng cho một số nhà sản xuất kính hiển vi điện tử trên toàn thế giới.

Thông tin cơ bản

Hướng dẫn ứng dụng

1. Ghi chú ứng dụng
(1) Với hệ thống chống rung thụ động khí nén tích hợp, kính hiển vi điện tử và FIB yêu cầu môi trường không có nhiễu rung tần số thấp dưới 10Hz, thường do cộng hưởng cấu trúc của tòa nhà tạo ra. VAIS-PB cô lập nhiều rung động hơn từ 300 đến 500 lần so với hệ thống thụ động trong phạm vi cộng hưởng.

(2) Sau khi áp dụng thành công hệ thống này cho FEI Quanta 250 FEG vào năm 2014, VAIS-PB tiếp tục cho thấy hiệu suất tuyệt vời trong một số kính hiển vi điện tử và FIB khác do Hitachi, Zeiss, Jeol, Tescan và nhiều hãng khác sản xuất.

(3) VAIS-PB luôn cung cấp môi trường rung động ổn định với khung đỡ khí nén, có khả năng chống lại xung đầu vào không tuần hoàn.

(4) Sử dụng giá đỡ lò xo khí, VAIS-PB có thể được áp dụng trong nhiều loại trọng lượng thiết bị, từ SEM và FIB nhẹ hơn đến TEM và STM nặng hơn.

Thiết bị mục tiêu

 2.Thiết bị mục tiêu

• Kính hiển vi điện tử quét (SEM)
• Chùm ion hội tụ (FIB)
• Kính hiển vi điện tử truyền qua (TEM)
• Kính hiển vi quét đường hầm (STM)
• Thiết bị chính xác tải nặng