Hệ thống cách ly chủ động nhỏ gọn cho SEM thông thường (Bộ cách ly rung chủ động)
Tổng quan về sản phẩm
Hệ thống chống rung thụ động khí nén, được sử dụng rộng rãi để chặn rung động xung quanh vị trí lắp đặt kính hiển vi điện tử, khuếch đại rung động do hiện tượng cộng hưởng ở vùng tần số thấp. Ngay cả trong trường hợp SEM thông thường, tương đối mạnh mẽ trước nhiễu động rung động, hiện tượng cộng hưởng ở vùng tần số thấp có thể ảnh hưởng đến môi trường rung động của IEST VC-E Class, trạng thái rung động tối thiểu để kính hiển vi điện tử hoạt động tối ưu.
VAIS-CMT là hệ thống chống rung chủ động hoàn chỉnh kết hợp công nghệ điều khiển 3 trục-6 bậc tự do để loại bỏ vấn đề cộng hưởng của bộ cách ly rung thụ động khí nén.
Vì có khung lò xo cuộn kim loại hỗ trợ nên VAIS-CMT không cần nhà cung cấp khí nén. Chiều cao thấp hơn của VAIS-CMT giúp cải thiện sự bất tiện mà hệ thống chống rung thụ động khí nén gây ra. Với mức giá cạnh tranh, đây sẽ là giải pháp chống rung tốt nhất cho SEM thông thường.
Thông tin cơ bản
Hướng dẫn ứng dụng
1. Lưu ý ứng dụng
- Hệ thống chống rung thụ động khí nén, được sử dụng rộng rãi trong phân tích vi mô tải trọng nặng với trọng tâm cao, có vấn đề cộng hưởng xảy ra ở tần số dưới 10Hz, khiến việc đạt được độ phân giải mục tiêu của thiết bị trở nên khó khăn.
- VAIS-CMT loại bỏ vấn đề cộng hưởng và chặn hoàn toàn nhiễu rung truyền từ các nguồn rung xung quanh.
- Bằng cách sử dụng khung đỡ lò xo cuộn, hệ thống không yêu cầu nhà cung cấp khí nén và có chiều cao thấp hơn so với bộ cách ly thụ động khí nén, do đó giảm sự bất tiện khi vận hành các thiết bị mục tiêu.
- VAIS-CMT có hiệu suất cách ly, tiện lợi và khả năng cạnh tranh về giá vượt trội đáng kể.
2. Thiết bị mục tiêu
- SEM thông thường
- Trạm thăm dò
- Hệ thống đo bề mặt 3D
- Kính hiển vi quang học có độ chính xác cao
- Hệ thống in lõm nano
- Thiết bị đo lường / phân tích nano
MakeWebEasy