Tổng quan về sản phẩm

Thiết bị đo điện trở màng mỏng của Filmmetrics được phát triển từ công nghệ đo điện trở màng mỏng của KLA, công ty có hơn 30 năm kinh nghiệm, và Filmmetrics, công ty có 20 năm kinh nghiệm trong việc phát triển thiết bị đo để bàn. Nhóm đã hoàn thiện sản phẩm đo điện trở khối để bàn. Các kỹ thuật đo điện trở màng mỏng của KLA bao gồm các phương pháp tiếp xúc (4PP) và không tiếp xúc (EC).

Thông tin cơ bản

Dòng thiết bị đo điện trở vuông R50 của Filmmetrics đo các tấm dẫn điện và màng mỏng được phủ trên nhiều loại chất nền, trải dài 10 cấp độ điện trở suất, bao gồm:

• Chất nền wafer bán dẫn
• Chất nền thủy tinh
• Chất nền nhựa (linh hoạt)
• Đặc điểm hoa văn PCB
• Pin mặt trời
• Các lớp màn hình phẳng và các đặc điểm hoa văn
• Lá kim loại
• Thứ hai, các chức năng chính

Ứng dụng

Hỗ trợ nhiều phép đo, bao gồm nhưng không giới hạn ở những phép đo sau:

• Độ dày màng kim loại
• Độ dày chất nền
• Điện trở vuông
• Điện trở suất
• Độ dẫn điện
• Nồng độ pha tạp