āļ āļēāļāļĢāļ§āļĄāļāļĨāļīāļāļ āļąāļāļāđ
āļĢāļēāļĒāļĨāļ°āđāļāļĩāļĒāļāļŠāļīāļāļāđāļē: āļāļĨāđāļāļāļāļļāļĨāļāļĢāļĢāļĻāļāđāļŠāļģāļŦāļĢāļąāļāļāļēāļĢāļŠāļāļ āļāļēāļĢāļāļāļāđāļāļāļāļāļēāļāđāļĨāđāļāđāļĨāļ°āļāļāļāļāļāļāđāļāđ āļāđāļēāļĒāļāđāļāļāļēāļĢāļāļāļāļēāđāļĨāļ°āļāļēāļĢāļŠāļāļ; āļŦāļąāļ§āļāļĢāļ§āļāļāļąāļāđāļĨāđāļāļāļĢāđāđāļĨāļ°āđāļāđāļ°āļŠāđāļāļāļāļąāļ§āļāļĒāđāļēāļāļĢāļ§āļĄāļāļąāļ āļāļķāđāļāļĄāļĩāđāļŠāļāļĩāļĒāļĢāļ āļēāļāđāļĨāļ°āđāļāļ·āđāļāļāļ·āļāđāļāđ āļāļļāļāļāļĢāļāđāļāļģāļŦāļāļāļāļģāđāļŦāļāđāļāđāļĨāđāļāļāļĢāđāđāļĨāļ°āļŦāļąāļ§āļ§āļąāļāļāļĩāđāļĄāļĩāļāļ§āļēāļĄāđāļĄāđāļāļĒāļģ āļāđāļēāļĒāđāļĨāļ°āļŠāļ°āļāļ§āļ.
āļāđāļāļĄāļđāļĨāļāļ·āđāļāļāļēāļ
āļĨāļąāļāļĐāļāļ°āļāļēāļĢāļāļģāļāļēāļāļāļāļāļāļĨāđāļāļāļāļļāļĨāļāļĢāļĢāļĻāļāđāļŠāļģāļŦāļĢāļąāļāļāļēāļĢāļŠāļāļ:
- āļāļēāļĢāļāļāļāđāļāļāļāļāļēāļāđāļĨāđāļāđāļĨāļ°āļāļāļāļāļāļāđāļāđ āļāđāļēāļĒāļāđāļāļāļēāļĢāļāļāļāļēāđāļĨāļ°āļāļēāļĢāļŠāļāļ
- āļŦāļąāļ§āļāļĢāļ§āļāļāļąāļāđāļĨāđāļāļāļĢāđāđāļĨāļ°āđāļāđāļ°āļŠāđāļāļāļāļąāļ§āļāļĒāđāļēāļāļĢāļ§āļĄāļāļąāļ āļāļķāđāļāļĄāļĩāđāļŠāļāļĩāļĒāļĢāļ āļēāļāđāļĨāļ°āđāļāļ·āđāļāļāļ·āļāđāļāđ
- āļāļļāļāļāļĢāļāđāļāļģāļŦāļāļāļāļģāđāļŦāļāđāļāđāļĨāđāļāļāļĢāđāđāļĨāļ°āļŦāļąāļ§āļ§āļąāļāļāļĩāđāļĄāļĩāļāļ§āļēāļĄāđāļĄāđāļāļĒāļģ āļāđāļēāļĒāđāļĨāļ°āļŠāļ°āļāļ§āļāđāļāļāļēāļĢāđāļāļĨāļĩāđāļĒāļāļŦāļąāļ§āļ§āļąāļāđāļĨāļ°āļāļĢāļąāļāļāļļāļāđāļŠāļ
- āļāļąāļ§āļāļĒāđāļēāļāļāļēāļĢāļāļąāļāđāļāļĨāļ·āđāļāļāđāļāļāđāļāļĩāđāļĒāļ§āđāļāļ·āđāļāđāļŦāđāđāļāđāļēāđāļāļĨāđāļŦāļąāļ§āļ§āļąāļāđāļāđāļāļ§āļāļąāđāļāđāļāļĒāļāļąāļāđāļāļĄāļąāļāļī āļĢāļ°āļāļļāļāļģāđāļŦāļāđāļāļāļ·āđāļāļāļĩāđāļŠāđāļāļāļāļĒāđāļēāļāđāļĄāđāļāļĒāļģ āđāļĨāļ°āļāļģāđāļŦāđāļāļĨāļēāļĒāđāļāđāļĄāļāļąāđāļāļāļēāļāļāļąāļāļāļēāļĢāļŠāđāļāļāļāļąāļ§āļāļĒāđāļēāļ
- āđāļŦāļĄāļāļāļēāļĢāļāđāļāļāđāļāđāļĄāļāļąāļāļāļĢāļīāļĒāļ°āļāļāļāļāļēāļĢāļāļĢāļ§āļāļāļąāļāļāļąāļāđāļāļĄāļąāļāļīāļāļāļāđāļāļĢāļēāļĄāļīāļāđāļāļāđāļēāđāļĢāļāļāļąāļāļāļĩāđāļāļ§āļāļāļļāļĄāđāļāļĒāļĄāļāđāļāļāļĢāđāļāđāļ§āļĒāļāđāļāļāļāļąāļāļŦāļąāļ§āļ§āļąāļāđāļĨāļ°āļāļąāļ§āļāļĒāđāļēāļ
- āļāļēāļĢāļ§āļēāļāļāļģāđāļŦāļāđāļāļāļāļāļāļīāļāļāļĨāđāļĨāļāļŠāđāđāļāļĨāđāļ§āļąāļāļāļļ 4X āđāļĄāđāļāļģāđāļāđāļāļāđāļāļāđāļāļāļąāļŠ āļŠāļąāļāđāļāļāđāļĨāļ°āļ§āļēāļāļāļģāđāļŦāļāđāļāļāļ·āđāļāļāļĩāđāļŠāđāļāļāļāļąāļ§āļāļĒāđāļēāļāļŦāļąāļ§āļ§āļąāļāđāļāļāđāļĢāļĩāļĒāļĨāđāļāļĄāđ
- āđāļŦāļĄāļāļāļąāļāļāļĢāļ°āđāļāļāđāļāļāļŠāļāļĢāļīāļāđāļāļ§āļ
āļāļēāļĢāļēāļĄāļīāđāļāļāļĢāđāļāļēāļāđāļāļāļāļīāļ:
- āđāļŦāļĄāļāļāļēāļĢāļāļģāļāļēāļāļāļ·āđāļāļāļēāļ: āđāļŦāļĄāļ tapping, āļāļēāļĢāļ§āļąāļāđāļŠāđāļāđāļāđāļ RMS-Z
- āđāļŦāļĄāļāļāļēāļĢāļāļģāļāļēāļāđāļŠāļĢāļīāļĄ: āđāļŦāļĄāļāļŠāļąāļĄāļāļąāļŠ, āļāļēāļĢāļ§āļąāļāđāļŠāđāļāđāļāđāļāđāļĢāļ F-Z, āđāļĢāļāđāļŠāļĩāļĒāļāļāļēāļ/āđāļĢāļāļāđāļēāļāļāđāļēāļ, āđāļāļĄāļāļĨāļīāļāļđāļ/āđāļāļŠ, āđāļĢāļāđāļĄāđāđāļŦāļĨāđāļāđāļĨāļ°āđāļĢāļāđāļāļāđāļēāļŠāļāļīāļ
- āļāļāļēāļāļāļąāļ§āļāļĒāđāļēāļ: ÎĶ90mm, H20mm
- āļāđāļ§āļāļāļēāļĢāļŠāđāļāļ: 20um āđāļāļāļīāļĻāļāļēāļ XY, 2um āđāļāļāļīāļĻāļāļēāļ Z
- āļāļ§āļēāļĄāļĨāļ°āđāļāļĩāļĒāļāđāļāļāļēāļĢāļŠāđāļāļ: 0.2nm āđāļāļāļīāļĻāļāļēāļ XY, 0.05nm āđāļāļāļīāļĻāļāļēāļ Z
- āļāđāļ§āļāļāļēāļĢāđāļāļĨāļ·āđāļāļāļāļĩāđāļāļāļāļāļąāļ§āļāļĒāđāļēāļ: 0~13mm
āļāļģāļĨāļąāļāļāļĒāļēāļĒāļāļāļāļāļīāļāļāļĨ 4X, āļāļ§āļēāļĄāļĨāļ°āđāļāļĩāļĒāļāļāļāļāļāļīāļāļāļĨ 2.5um
- āļāļąāļāļĢāļēāļāļēāļĢāļŠāđāļāļ 0.6Hz~4.34Hz āđāļĨāļ°āļĄāļļāļĄāļāļēāļĢāļŠāđāļāļ 0~360°
- āļāļēāļĢāļāļ§āļāļāļļāļĄāļāļēāļĢāļŠāđāļāļ: XY āđāļāđ 18-bit D/A, Z āđāļāđ 16-bit D/A
- āļāļēāļĢāļŠāļļāđāļĄāļāļąāļ§āļāļĒāđāļēāļāļāđāļāļĄāļđāļĨ: 14-bit A/D, dual 16-bit A/D āļāļēāļĢāļŠāļļāđāļĄāļāļąāļ§āļāļĒāđāļēāļāļāļĢāđāļāļĄāļāļąāļāļŦāļĨāļēāļĒāļāđāļāļāļŠāļąāļāļāļēāļ
- āļ§āļīāļāļĩāļāđāļāļāļāļĨāļąāļ: DSP digital feedback
- āļāļąāļāļĢāļēāļāļēāļĢāļŠāļļāđāļĄāļāļąāļ§āļāļĒāđāļēāļāļāđāļāļāļāļĨāļąāļ: 64.0KHz
- āļāļīāļāđāļāļāļĢāđāđāļāļāļāļēāļĢāļŠāļ·āđāļāļŠāļēāļĢ: USB2.0/3.0
- āļŠāļ āļēāļāđāļ§āļāļĨāđāļāļĄāļāļēāļĢāļāļģāļāļēāļ: āļĢāļ°āļāļāļāļāļīāļāļąāļāļīāļāļēāļĢ Windows XP/7/8/10