Pulsed Laser Deposition System (Pioneer 180 PLD System) ระบบเคลือบฟิล์มบางด้วยเทคโนโลยีเลเซอร์พัลส์ สำหรับงานวิจัยขั้นสูง

Pioneer 180 PLD System เป็นระบบ Pulsed Laser Deposition ประสิทธิภาพสูง รองรับการเคลือบฟิล์มบางคุณภาพสูง เช่น oxide, ferroelectric และ superconducting materials เหมาะสำหรับงานวิจัยเซมิคอนดักเตอร์และไมโคร-นาโน

หมวดหมู่ : Product , Products Labs , Micro-nano Fabrication , PVD/PLD

รายละเอียดสินค้า

ข้อมูลจำเพาะ

ภาพรวมผลิตภัณฑ์

Neocera Pioneer Series PLD System
การออกแบบที่สร้างสรรค์จากประสบการณ์อันยอดเยี่ยม Neocera ได้ทำการวิจัยอย่างกว้างขวางโดยใช้เทคโนโลยี Pulsed Laser Deposition (PLD) เพื่อกำหนดพารามิเตอร์สำคัญสำหรับการบรรลุคุณภาพของฟิล์ม โดยเฉพาะสำหรับการสะสมฟิล์มออกไซด์ที่ซับซ้อน การพิจารณาเหล่านี้ได้ถูกนำมาใช้ในการออกแบบระบบ Pioneer

ฟิล์มออกไซด์ที่ซับซ้อนหลายชนิดถูกทำให้เย็นลงที่ความดันออกซิเจนค่อนข้างสูง (>100 Torr) เพื่อให้ได้คุณภาพที่สูงขึ้น คุณลักษณะนี้มีอยู่ในระบบ Pioneer ทุกรุ่น (ช่วงความดันตั้งแต่ความดันเริ่มต้นจนถึงความดันบรรยากาศ) ซึ่งยังเป็นประโยชน์ต่อการสร้างอนุภาคนาโนอีกด้วย
ระบบ Pioneer PLD มีมุมตกกระทบของลำแสงเลเซอร์ที่ 45° ซึ่งช่วยรักษาความสม่ำเสมอของความหนาแน่นเลเซอร์บนเป้าหมายให้สูงสุด โดยหลีกเลี่ยงการใช้เลนส์ที่ซับซ้อนและมีราคาแพง มุมตกกระทบที่ใหญ่กว่าจะทำให้จุดเลเซอร์บนเป้าหมายยาวขึ้น ส่งผลให้ความสม่ำเสมอของความหนาแน่นลดลง
เพื่อหลีกเลี่ยงการใช้ปั๊มสุญญากาศที่เข้ากันได้กับออกซิเจนที่มีราคาแพง และเพื่อกำจัดผลกระทบของการไหลกลับของน้ำมันต่อคุณภาพฟิล์ม ระบบ Pioneer ทุกรุ่นมาพร้อมกับระบบปั๊มที่ปราศจากน้ำมันเป็นมาตรฐาน
การวิจัยของเราแสดงให้เห็นว่าระยะห่างระหว่างเป้าหมายและพื้นผิวเป็นพารามิเตอร์สำคัญสำหรับการบรรลุคุณภาพฟิล์ม ระบบ Pioneer ควบคุมระยะห่างระหว่างเป้าหมายและพื้นผิวเพื่อให้ได้สภาวะการสะสมที่เหมาะสมที่สุด

ทิศทางการใช้งาน

Pulsed Laser Deposition (PLD) เป็นเทคนิคการสะสมฟิล์มบางที่ใช้กันอย่างแพร่หลาย พัลส์เลเซอร์จะระเหยเป้าหมายอย่างรวดเร็ว ทำให้เกิดฟิล์มบางที่เหมือนกับเป้าหมาย คุณลักษณะเฉพาะของ PLD คือแหล่งพลังงาน (พัลส์เลเซอร์) อยู่ภายนอกห้องสุญญากาศ ด้วยวิธีนี้ เมื่อวัสดุถูกสังเคราะห์ ช่วงความดันทำงานจะกว้างมาก ตั้งแต่ 10^-10 Torr ถึง 100 Torr โดยการควบคุมความดันและอุณหภูมิของการเคลือบ สามารถสังเคราะห์โครงสร้างนาโนและอนุภาคนาโนที่มีฟังก์ชันเฉพาะได้ นอกจากนี้ PLD ยังเป็นเทคโนโลยี "ดิจิทัล" ที่ควบคุมกระบวนการ (Å/pulse) ในระดับนาโน

Neocera มีประสบการณ์อันยอดเยี่ยมในด้านอุปกรณ์ PLD และการพัฒนากระบวนการ ระบบ PLD ในซีรีส์ Pioneer ถูกใช้อย่างแพร่หลายในการวิจัยและพัฒนาทั่วโลก Neocera ไม่เพียงแต่จัดหา PLD ระบบพื้นฐานให้กับลูกค้าเท่านั้น แต่ยังมีโซลูชันแบบครบวงจรสำหรับห้องปฏิบัติการ PLD อีกด้วย

Pioneer 180 PLD เครื่อง PLD รุ่น 180 ระบบเคลือบฟิล์มบางด้วยเลเซอร์ High-End PLD System PLD system สำหรับงานวิจัย เครื่อง Pulsed Laser Deposition ราคา เครื่องเคลือบฟิล์มบางเลเซอร์ PLD สำหรับ oxide thin film ระบบ deposition สำหรับ semiconductor lab