Compact active isolation system for normal SEM (Active Vibration Isolator)

Compact active isolation system for normal SEM (Active Vibration Isolator)

หมวดหมู่ : Product , Products Fabs , Micro-nano Characterization , Peripheral: Vibration isolator , Products Labs , Micro-nano Characterization , Peripheral: Vibration isolator

รายละเอียดสินค้า

ข้อมูลจำเพาะ

ภาพรวมผลิตภัณฑ์

ระบบป้องกันการสั่นสะเทือนแบบพาสซีฟด้วยลมที่ใช้กันอย่างแพร่หลายเพื่อป้องกันการสั่นสะเทือนที่เกิดขึ้นรอบๆ สถานที่ติดตั้งกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอน มักจะทำให้เกิดการขยายการสั่นสะเทือนเนื่องจากปรากฏการณ์การสั่นพ้องในบริเวณความถี่ต่ำ แม้แต่ในกรณีของ SEM ทั่วไปซึ่งมีความทนทานต่อการรบกวนการสั่นสะเทือนค่อนข้างมาก ปรากฏการณ์การสั่นพ้องในบริเวณความถี่ต่ำอาจส่งผลต่อสภาพแวดล้อมการสั่นสะเทือนตามมาตรฐาน IEST VC-E Class ซึ่งเป็นสภาพการสั่นสะเทือนขั้นต่ำสำหรับการทำงานที่เหมาะสมที่สุดของกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอน

VAIS-CMT เป็นระบบป้องกันการสั่นสะเทือนแบบแอคทีฟเต็มรูปแบบที่รวมเทคโนโลยีการควบคุม 3 แกน 6 องศาอิสระเพื่อกำจัดปัญหาการสั่นพ้องของระบบป้องกันการสั่นสะเทือนแบบพาสซีฟด้วยลม เนื่องจากใช้โครงสร้างรองรับแบบสปริงโลหะ VAIS-CMT ไม่จำเป็นต้องใช้แหล่งจ่ายลมอัด ความสูงที่ต่ำกว่าของ VAIS-CMT ช่วยลดความไม่สะดวกที่ระบบป้องกันการสั่นสะเทือนแบบพาสซีฟด้วยลมก่อขึ้น ด้วยราคาที่แข่งขันได้ VAIS-CMT จึงเป็นโซลูชันป้องกันการสั่นสะเทือนที่ดีที่สุดสำหรับ SEM ทั่วไป

ข้อมูลพื้นฐาน

รุ่น	CMT067	CMT078
ขนาด [มม.]	596(กว้าง) x 696(ยาว) x 125(สูง)	696(กว้าง) x 796(ยาว) x 125(สูง)
น้ำหนักตัวเอง [กก.]	65	85
น้ำหนักที่รับได้ [กก.]	0 ~ 300
ช่วงควบคุม [Hz]	0.5 ~ 1,000
ประเภทควบคุม	Feedback & Floor Feed-Forward Control
เวลาปรับตัว	ต่ำกว่า 0.5 วินาที
แรง Actuator	แนวตั้ง : 12N / แนวนอน : 6N

ทิศทางการใช้งาน

1. บันทึกการใช้งาน
(1)ระบบป้องกันการสั่นสะเทือนแบบพาสซีฟด้วยลมที่ใช้กันอย่างแพร่หลายในการวิเคราะห์ไมโครที่มีน้ำหนักมากและมีจุดศูนย์ถ่วงสูง มีปัญหาการสั่นพ้องที่เกิดขึ้นที่ความถี่ต่ำกว่า 10Hz ซึ่งทำให้ยากที่จะบรรลุความละเอียดเป้าหมายของอุปกรณ์

(2) VAIS-CMT กำจัดปัญหาการสั่นพ้องและป้องกันการรบกวนการสั่นสะเทือนที่ส่งผ่านจากแหล่งกำเนิดการสั่นสะเทือนโดยรอบได้อย่างสมบูรณ์

(3) โดยการใช้โครงสร้างรองรับแบบสปริงโลหะ ไม่จำเป็นต้องใช้แหล่งจ่ายลมอัดและมีความสูงที่ต่ำกว่าเมื่อเทียบกับระบบป้องกันการสั่นสะเทือนแบบพาสซีฟด้วยลม จึงลดความไม่สะดวกในการใช้งานเครื่องมือเป้าหมาย

(4) VAIS-CMT มีประสิทธิภาพการแยกการสั่นสะเทือนที่เหนือกว่า ความสะดวกสบายและความสามารถในการแข่งขันด้านราคา

2.เครื่องมือเป้าหมาย