VIL Series Automatic Step-and-Repeat Interference Nanopatterning

รายละเอียดสินค้า

ระบบ nanopatterning VIL 1000 มีฟังก์ชั่นอันทรงพลัง เช่น การส่งมอบลำแสงที่ปรับตั้งค่าใหม่ได้อย่างรวดเร็ว การเสถียรภาพรูปแบบการรบกวนแบบแอคทีฟ การเปิดรับแสงแบบ step-and-repeat พร้อมการวางตำแหน่งตัวอย่างที่แม่นยำ ฯลฯ ฟังก์ชั่นทั้งหมดเป็นไปโดยอัตโนมัติผ่านซอฟต์แวร์ควบคุมที่ใช้งานง่าย LithoPro ที่เป็นกรรมสิทธิ์ของเรา หลังจากโหลดตัวอย่างแล้ว ไม่จำเป็นต้องตั้งค่าหรือปรับแต่งด้วยตนเองอีกต่อไป ระบบสามารถผลิตโครงสร้างนาโนต่างๆ เช่น เส้นตาราง 1D และรูปแบบเสา/รู 2D โดยมีช่วงเวลาตั้งแต่ต่ำกว่า 240 นาโนเมตร ถึงมากกว่า 1500 นาโนเมตร บนพื้นที่ขนาดใหญ่สูงสุด 8 นิ้ว ผ่านการเปิดรับแสงซ้ำๆ โดยใช้สนามสร้างลวดลายขนาดมาตรฐาน 2 ซม. x 2 ซม. หรือรูปร่างที่ผู้ใช้กำหนดเอง สนามสร้างลวดลายแต่ละสนามสามารถมีโครงสร้างนาโนที่มีช่วงเวลาที่ตั้งไว้อย่างอิสระ ลายตาข่าย และขนาดคุณสมบัติ โมดูลเสริมมีให้ใช้งานสำหรับฟังก์ชั่นเพิ่มเติมของการถ่ายภาพด้วยแสงสัมผัส UV แบบรวม การปรับขนาดรูปแบบ และการจำลองกระบวนการ lithographic

VIL 1000 เหมาะสำหรับการผลิตอุปกรณ์ที่มีบริเวณ nanopatterned ที่แตกต่างกันหลายแบบอย่างรวดเร็ว เช่น จอแสดงผล AR นอกจากนี้ยังมีประโยชน์สำหรับการพารามิเตอร์... (ข้อความไม่สมบูรณ์)

ทิศทางการใช้งาน:

STEP-AND-REPEAT NANOPATTERNING

รุ่น VIL 1000 มาตรฐานรองรับการเปิดรับแสงแบบ step-and-repeat บนเวเฟอร์ 4 แผ่น โดยมีพื้นที่สร้างลวดลายแต่ละแผ่นสูงสุด 2 * 2 ซม.² เมื่ออัปเกรดด้วยโมดูลวางตำแหน่งตัวอย่างขั้นสูง พื้นที่สร้างลวดลายสามารถขยายได้ถึงขนาดเวเฟอร์ 6 หรือ 8 นิ้ว

การตั้งค่ารูปแบบอัตโนมัติ

โมดูลการส่งมอบลำแสงแบบมอเตอร์เต็มรูปแบบและแท่นวางตำแหน่งตัวอย่างให้ความยืดหยุ่นอย่างมากในการสร้าง nanopatterns ที่มีช่วงเวลาและรูปทรงต่างๆ รวมถึงเส้น เสา รู หมากรุก แท่ง ฯลฯ


โมดูลการปรับขนาดรูปแบบ/การเปิดรับแสงหน้ากาก UV

VIL 1000 สามารถอัปเกรดได้ด้วยโมดูลปรับขนาดรูปแบบสำหรับการปรับอัตราส่วนการเติมของโครงสร้าง 1D และ 2D ซึ่งจะช่วยปรับปรุงความสม่ำเสมอของรูปแบบและสร้างการกระจายเชิงพื้นที่ของขนาดคุณสมบัติที่ออกแบบตามอำเภอใจ โมดูลการเปิดรับแสงหน้ากาก UV เสริมยังมีให้ใช้งาน ซึ่งเข้ากันได้กับการถ่ายภาพด้วยแสงสัมผัสสำหรับใช้งานที่หลากหลายยิ่งขึ้น

เทคนิคหลัก

• INTERFERENCE LITHOGRAPHY (IL)
  
• FAST-RECONFIGURABLE BEAM DELIVERY
  
• ACTIVE INTERFERENCE PATTERN
• STABILIZATION (AIPS)
  
• PRECISION OPTOMECHANICS
  
• MULTI-AXIS SAMPLE POSITIONING

กรณีศึกษาการใช้งาน:

พื้นผิวแซฟไฟร์ที่มีลวดลาย (PSS) ได้พัฒนาไปสู่คุณสมบัติที่เล็กลงในระดับนาโนเมตรเพื่อปรับปรุงประสิทธิภาพของ LED เพิ่มเติมและสำรวจผลิตภัณฑ์ LED ขั้นสูง VIL 1000 เหมาะสำหรับการผลิตโครงสร้างนาโนขนาดใหญ่ที่ใช้ใน PSS
 
อินเทอร์เฟซขนาดเล็กและนาโนที่มีโครงสร้างถูกนำมาใช้กันอย่างแพร่หลายใน microfluidics และการใช้งานทางชีวการแพทย์เนื่องจากการจัดการของเหลว เช่น การเปียก การขนส่ง ภาวะไม่ชอบน้ำสุดขีด ฯลฯ VIL 1000 ของเรามีประโยชน์ในการสร้าง microfluidics ขนาดใหญ่และ biochips เพื่อให้ได้การตอบสนองสูง ต้นทุนต่ำ และการใช้งาน lab-on-chip
ท่อนำแสงแบบ Diffractive ถือเป็นเทคโนโลยี combiner ที่เป็นผู้ใหญ่และมีแนวโน้มมากที่สุดสำหรับความเป็นจริงเสริมและแบบผสม VIL 1000 เหมาะสำหรับการสร้าง gratings ขนาดนาโนที่ใช้ในท่อนำแสง AR