Dòng sản phẩm Filmmetrics® R54

Tổng quan về sản phẩm

Filmetrics R54 là hệ thống tiên tiến được thiết kế để đo và lập bản đồ điện trở và độ dẫn điện của tấm vật liệu.
Hệ thống này đặc biệt hữu ích trong các ngành công nghiệp dựa vào màng dẫn điện, như sản xuất chất bán dẫn và thiết bị điện tử linh hoạt.

Các tính năng và lợi ích chính

• Hệ thống khép kín: Cho phép đo các mẫu nhạy cảm với ánh sáng hoặc các yếu tố môi trường.
• Có thể chứa các mẫu lớn: Xử lý mẫu có đường kính lên tới 300mm.
• Cấu hình đo đa năng: Tùy chọn Đầu dò bốn điểm (4PP) và Dòng điện xoáy (EC) không tiếp xúc.
• Phạm vi đo rộng: Có khả năng đo điện trở tấm trong phạm vi mười thập kỷ trên cả màng dẫn điện và bán dẫn.
• Lập bản đồ tùy chỉnh: Người dùng có thể xác định các điểm đo cụ thể bằng nhiều kiểu mẫu khác nhau (hình chữ nhật, tuyến tính, phân cực và tùy chỉnh).
• Bàn đo có độ chính xác cao: Được trang bị bàn đo X-Y chính xác để định vị chính xác.
• Kích thước điểm nhỏ: Cấu hình EC cung cấp kích thước điểm nhỏ nhất trong ngành, đo chi tiết cao.
• Phần mềm thân thiện với người dùng: Có giao diện phần mềm trực quan để dễ sử dụng.
• Khả năng tương thích: Hoạt động liền mạch với tất cả các đầu dò điện trở tấm KLA.