Hệ thống lắng đọng màng mỏng PVD (SVAC-FilmLab-T)

Tổng quan về sản phẩm

Công nghệ lắng đọng hơi vật lý (PVD) đề cập đến quá trình khí hóa bề mặt của nguồn vật liệu (rắn hoặc lỏng) thành các nguyên tử hoặc phân tử khí, hoặc ion hóa một phần thành các ion và thông qua quy trình khí áp suất thấp (hoặc plasma). Lắng đọng hơi vật lý là một trong những công nghệ xử lý bề mặt chính để lắng đọng các màng mỏng có một số chức năng đặc biệt trên bề mặt của chất nền.

Đặc điểm kỹ thuật

• Có thể tích hợp nhiều mô-đun lắng đọng như chùm electron, bốc hơi nhiệt và phun magnetron