Scanning Thermal Microscopy (SThM)

ภาพรวมผลิตภัณฑ์
โมดูล VertiSense Scanning Thermal Microscopy
โมดูล SThM สำหรับความเปรียบต่างการนำความร้อนและการถ่ายภาพความเปรียบต่างของอุณหภูมิ

• รองรับโหมด Contact, Tapping และ Peak Force Tapping
• โมดูลแบบปลั๊กอิน เข้ากันได้กับ AFM เชิงพาณิชย์ส่วนใหญ่
• การวัดอุณหภูมิจริงสูงถึง 700°C
• เครื่องขยายสัญญาณรบกวนต่ำพิเศษ ความเร็วสูง
• การออกแบบหัววัดที่เป็นนวัตกรรม
  

ข้อมูลพื้นฐาน

เทคนิค VertiSense Scanning Thermal Microscopy (SThM) ใช้หัววัด AFM ที่ออกแบบมาเป็นพิเศษพร้อมเทอร์โมคัปเปิลในตัว (Thermal Probe) ซึ่งสแกนแบบ raster บนตัวอย่าง อุณหภูมิของเทอร์โมคัปเปิลจะถูกวัดโดยใช้ VertiSense SThM Imaging Amplifier เป็นฟังก์ชันของตำแหน่ง และใช้โดยระบบ AFM เพื่อสร้างแผนที่ความร้อนร่วมกับภูมิประเทศ หัววัดความร้อนขั้นสูงเหล่านี้แสดงคุณสมบัติที่เป็นเอกลักษณ์ในการทำแผนที่คุณสมบัติทางความร้อนของตัวอย่างในโหมด Temperature Contrast และ Thermal Conductivity Contrast เทอร์โมคัปเปิลเซ็นเซอร์อยู่ที่ปลายยอดของหัววัดเพื่ออำนวยความสะดวกในการวัดอุณหภูมิที่แท้จริงโดยมีความละเอียดเชิงความร้อนด้านข้างน้อยกว่า 50 นาโนเมตร

ทิศทางการใช้งาน

โหมด Contact AFM: แผนที่ Thermal Conductivity Contrast ของเส้นใยคาร์บอนที่ฝังอยู่ในอีพ็อกซีในโหมด Contact AFM ในโหมด Thermal Conductivity Contrast เทอร์โมคัปเปิลของหัววัดจะถูกทำให้ร้อนขึ้นไม่กี่องศาเหนืออุณหภูมิห้องโดยใช้เลเซอร์ AFM (โดยวางส่วนเล็กๆ ของเลเซอร์ AFM ที่ด้านหลังของเทอร์โมคัปเปิล) เมื่อหัววัดความร้อนถูกสแกนบนตัวอย่างที่มีบริเวณการนำความร้อนที่แตกต่างกัน การสูญเสียความร้อนจากเทอร์โมคัปเปิลไปยังตัวอย่างจะถูกตรวจสอบเป็นการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิ เทอร์โมคัปเปิลและอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์มีความไวมาก สามารถตรวจจับการเปลี่ยนแปลงน้อยกว่า 0.01°C ได้อย่างง่ายดาย

โหมด Non-Contact AFM: แผนที่อุณหภูมิของเครื่องทำความร้อนซิลิคอนขนาดเล็กในโหมด Non-Contact AFM
แผนที่ความร้อนของตัวอย่างในโหมด Temperature Contrast ได้รับมาโดยการตรวจสอบอุณหภูมิของเทอร์โมคัปเปิลโดยตรง เทอร์โมคัปเปิลสามารถปรับเทียบได้โดยใช้ VertiSense Calibrator

ความเข้ากันได้
โมดูล VertiSense SThM ได้รับการออกแบบมาเพื่อรวมเข้ากับ AFM เชิงพาณิชย์ส่วนใหญ่ รวมถึง AFM ที่ใช้งานอยู่ โดยมีข้อกำหนดอุปกรณ์ต่อพ่วงขั้นต่ำ โมดูลใช้ซอฟต์แวร์ AFM เพื่อสร้างแผนที่ความร้อน หัววัดความร้อนจะถูกส่งมอบโดยติดตั้งล่วงหน้าและพร้อมใช้งาน ชิปสำหรับติดตั้งได้รับการรับรองว่าเข้ากันได้กับ AFM มีหัววัดความร้อนสองรุ่นให้เลือกเพื่อให้เหมาะกับการใช้งานที่หลากหลาย