āļ āļēāļāļĢāļ§āļĄāļāļĨāļīāļāļ āļąāļāļāđ
Nano-Observer XL āļāļ·āļāđāļāļĢāļ·āđāļāļ AFM (Atomic Force Microscope) āļāļĩāđāļāļāļāđāļāļāļĒāđāļāļļāļāļāļēāļĢāđāļāđāļāļēāļāļāļāļāļāļļāļ āļāļąāđāļāđāļāđāļāļēāļĢāļ§āļąāļāļāđāļēāļāļēāļāđāļāļāđāļēāđāļāļāļāļāļķāļāļāļēāļāļāļĨāļĻāļēāļŠāļāļĢāđ āđāļĨāļ°āļŠāļēāļĄāļēāļĢāļāļāļģāļāļēāļāđāļāļŠāļ āļēāļāđāļ§āļāļĨāđāļāļĄāļāļĩāđāļŦāļĨāļēāļāļŦāļĨāļēāļĒ
āļāđāļāļĄāļđāļĨāļāļ·āđāļāļāļēāļ
- HD-KFM
- RESISCOPE
- Soft ResiScope
- Soft IC (āļāļēāļĢāļ§āļąāļāļāđāļēāļāļēāļāļāļĨāļĻāļēāļŠāļāļĢāđ, āđāļāļāđāļē, SThM...)
- āļāļēāļĢāļāļ§āļāļāļļāļĄāļŠāļ āļēāļāđāļ§āļāļĨāđāļāļĄ**:
- EZ TEMPerature: āļāļēāļ -40°C āļāļķāļ 300°C
- EZ Liquids: āļāļāļāđāļŦāļĨāļ§, āđāļāļāđāļēāđāļāļĄāļĩ (EC)... - āđāļāđāļāļēāļāļāđāļēāļĒ
- āđāļŦāļĄāļāļāļąāđāļāļŠāļđāļ
āđāļŦāļĄāđāļĨāđāļēāļŠāļļāļ: Soft IC, āđāļŦāļĄāļ AFM āļāļĩāđ 3
- āļāļŠāļēāļāļāđāļāļāļĩāļāļāļāđāļŦāļĄāļ Contact āđāļĨāļ° Resonant AFM āđāļāļĒāđāļĄāđāļĄāļĩāļāđāļāđāļŠāļĩāļĒ
- āļāļļāļāđāļŦāļĄāļāđāļāļāđāļēāļāļĩāđāļāļĢāļāļāļĨāļąāļ:
- sMIM
- HD-KFM
- ResiScope - āļŠāļ āļēāļāđāļ§āļāļĨāđāļāļĄāļāļĩāđāļŦāļĨāļēāļāļŦāļĨāļēāļĒ:
- āļāļļāļāļŦāļ āļđāļĄāļī: -40°C āļāļķāļ 300°C
- āļāļēāļĢāļ§āļąāļāļāđāļēāđāļāļāļāļāđāļŦāļĨāļ§
āļāļļāļāļ āļēāļāļāļēāļĢāļ§āļąāļ3 āļāļąāđāļāļāļāļāđāļāļ·āđāļāļāļēāļĢāļ§āļąāļāļāđāļē AFM āļāļĩāđāļĄāļĩāļāļļāļāļ āļēāļāđāļĨāļ°āļāļ§āļēāļĄāļĨāļ°āđāļāļĩāļĒāļāļŠāļđāļ: 1. āļāļēāļĢāļāļĢāļ§āļāļāļąāļāļāđāļ§āļĒāđāļŠāļ : āđāļĨāđāļāļāļĢāđāļāļĩāđāļĄāļĩāļŠāļąāļāļāļēāļāļĢāļāļāļ§āļāļāđāļģ (āļāļļāļāļ āļēāļāļāļēāļĢāļāļĢāļ§āļāļāļąāļāļŠāļđāļ) āđāļĨāļ° coherence āļāđāļģ (āđāļāļ·āđāļāļāđāļāļāļāļąāļāļāļēāļĢāļĢāļāļāļ§āļāļĢāļ°āļŦāļ§āđāļēāļāđāļĨāđāļāļāļĢāđāđāļĨāļ°āļāļąāļ§āļāļĒāđāļēāļ)
2. āļāļīāđāļĨāđāļāļāļĢāļāļāļīāļāļŠāđ : āļāļīāđāļĨāđāļāļāļĢāļāļāļīāļāļŠāđāļāļĩāđāļĄāļĩāļŠāļąāļāļāļēāļāļĢāļāļāļ§āļāļāđāļģ (āļāļāļāđāļāļĢāļĨāđāļĨāļāļĢāđ, āļāļļāļāļ āļēāļāļāļāļāđāļŦāļĨāđāļāļāđāļēāļĒāđāļ) āđāļĨāļ°āļāļ§āļēāļĄāļĨāļ°āđāļāļĩāļĒāļāļāļāļāļāļēāļĢāļāļ§āļāļāļļāļĄāļŠāđāļāļ (24 āļāļīāļ) āđāļāļ·āđāļāļāļ§āļēāļĄāđāļĄāđāļāļĒāļģāđāļāļāļļāļāļāļāļēāļāļāļēāļĢāļŠāđāļāļ
3. āļāļēāļāļŠāđāļāļāđāļāļ Flexure āļāļĩāđāđāļāđāļĢāļąāļāļŠāļīāļāļāļīāļāļąāļāļĢ: āļāļēāļāļŠāđāļāļāļāļāļāđāļĢāļēāļŠāļēāļĄāļēāļĢāļāļŠāđāļāļāđāļāđāļāļąāđāļāđāļāđ 100Âĩm āđāļāđāļāļ§ XY (āđāļĨāļ° 15Âĩm āđāļāđāļāļ§ Z) āļāļēāļāļĢāļ°āļāļąāļāļāļ°āļāļāļĄāļŦāļĢāļ·āļāļāļ§āļēāļĄāļĨāļ°āđāļāļĩāļĒāļāļĢāļ°āļāļąāļāđāļĄāđāļĨāļāļļāļĨ
āļāļēāļĢāļāļ§āļāļāļļāļĄāļāļĩāđāļĢāļ§āļāđāļĢāđāļ§āđāļĨāļ°āļāđāļēāļĒāļāļēāļĒ- āļāļāļāļāđāđāļ§āļĢāđāļāļĩāđāđāļāđāļāļēāļāļāđāļēāļĒ: āđāļŦāļĄāļāļāļĩāđāļāļģāļŦāļāļāđāļ§āđāļĨāđāļ§āļāļŦāļāđāļēāļāļģāđāļŦāđāļāļēāļĢāđāļĨāļ·āļāļāđāļŦāļĄāļ AFM āđāļāđāļāđāļĢāļ·āđāļāļāļāđāļēāļĒ āļāđāļ§āļĒāļāļēāļĢāļāļĨāļīāļāđāļāļĩāļĒāļāļāļĢāļąāđāļāđāļāļĩāļĒāļ§ āļāļļāļāļŠāļēāļĄāļēāļĢāļāļŠāļĨāļąāļāļĢāļ°āļŦāļ§āđāļēāļāđāļŦāļĄāļ AFM āļāļąāđāļāļŦāļĄāļāđāļāđ āđāļāļĒāđāļĄāđāļāđāļāļāļĄāļĩāļāļēāļĢāļāļąāđāļāļāđāļēāđāļāļīāđāļĄāđāļāļīāļĄ āđāļĄāđāļĄāļĩāļāđāļāļāļīāļāļāļĨāļēāļāļŦāļĢāļ·āļāļāļ§āļēāļĄāđāļŠāļĩāļĒāļŦāļēāļĒ
- āļĄāļļāļĄāļĄāļāļāļāđāļēāļāļāļ/āļāđāļēāļāļāđāļēāļ: āļāļĨāđāļāļāļ§āļīāļāļĩāđāļāļŠāļĩāļāđāļ§āļĒāđāļŦāđāļĄāļāļāđāļŦāđāļāļāļēāļāļāđāļēāļāļāļāļŠāļģāļŦāļĢāļąāļāļāļēāļĢāļāļąāļāļāļģāđāļŦāļāđāļāļāļĨāļēāļĒāļŦāļąāļ§āļ§āļąāļāđāļĨāļ°āļāļąāļ§āļāļĒāđāļēāļ āļŦāļĢāļ·āļāļĄāļļāļĄāļĄāļāļāļāđāļēāļāļāđāļēāļāđāļāļ·āđāļāđāļŦāđāļāļēāļĢāđāļāđāļēāđāļāļĨāđāļāļĨāļēāļĒāļŦāļąāļ§āļ§āļąāļāđāļĨāļ°āļāļąāļ§āļāļĒāđāļēāļāļāļģāđāļāđāļāđāļēāļĒāļāļķāđāļ
- āđāļĨāļāļŠāđāļāļĢāļ°āļŠāļīāļāļāļīāļ āļēāļāļŠāļđāļ: āđāļĨāļāļŠāđāļāļĢāļ°āļŠāļīāļāļāļīāļ āļēāļāļŠāļđāļ (āļāļąāļ§āđāļĨāļ·āļāļ) āļāđāļ§āļĒāđāļāļāļēāļĢāļĢāļ°āļāļļāļĨāļąāļāļĐāļāļ°āđāļĨāđāļāđ āļāļāļāļąāļ§āļāļĒāđāļēāļāđāļāđāđāļāļĒāđāļĄāđāļāđāļāļāđāļāļĨāļĩāđāļĒāļāļŠāđāļāļāđāļāļāļĢāđ
āđāļŦāļĄāļāđāļāļāđāļēāļāļąāđāļāļŠāļđāļ
ResiScope āļĢāđāļ§āļĄāļāļąāļ HD-KFM āđāļĨāļ° sMIM = āļāļļāļāđāļŦāļĄāļāļāļēāļĢāļ§āļąāļāļāđāļēāđāļāļāđāļēāļāļĩāđāļāļĩāļāļĩāđāļŠāļļāļāļŠāļģāļŦāļĢāļąāļ AFM!
- ResiScope: āđāļāļĢāļ·āđāļāļāļĄāļ·āļāļāļĩāđāļāļĩāļāļĩāđāļŠāļļāļāļŠāļģāļŦāļĢāļąāļāļāļēāļĢāļ§āļąāļāļāđāļēāļāļēāļāđāļāļāđāļēāđāļāļĢāļ°āļāļąāļ AFM
- āļāļĢāļ°āđāļŠ/āļāļ§āļēāļĄāļāđāļēāļāļāļēāļāļāļąāđāļāđāļāđ 10Âē āļāļķāļ 10ÂđÂē āđāļāļŦāđāļĄ
- āļāļēāļĢāļāļ§āļāļāļļāļĄāļāļĢāļ°āđāļŠ
- āļāļ§āļēāļĄāđāļ§āļŠāļđāļāļāļĨāļāļāļāđāļ§āļāļāļēāļĢāļ§āļąāļ - HD-KFM: KFM āđāļāļ single-pass āļāļĩāđāđāļāđāļĢāļąāļāļāļēāļĢāļāļĢāļąāļāļāļĢāļļāļ
- āļŦāļāļķāđāļāļĢāļāļāļŠāđāļāļ - āđāļĄāđāļāđāļāļāđāļāđ LIFT
- āļāļ§āļēāļĄāđāļ§āļŠāļđāļāļĄāļēāļ
- āļāļ§āļēāļĄāļĨāļ°āđāļāļĩāļĒāļāđāļāļīāļāļāļ·āđāļāļāļĩāđāļŠāļđāļāļāļķāđāļ - sMIM: āļāļēāļĢāļŠāđāļāļāļāđāļ§āļĒāļāļĨāđāļāļāļāļļāļĨāļāļĢāļĢāļĻāļāđāļ§āļąāļāļāđāļēāļāļīāļĄāļāļĩāđāļāļāļāđāđāļĄāđāļāļĢāđāļ§āļ
- āļāļēāļĢāļāļģāđāļāļāļāļĩāđāļāļ§āļēāļĄāļŠāļēāļĄāļēāļĢāļāđāļāļāļēāļĢāđāļāđāļāļāļĢāļ°āļāļļāđāļĨāļ°āļāđāļēāļāļēāļĢāļāļģāđāļāļāđāļēāđāļāļĢāļ°āļāļąāļāļāļēāđāļ
- āļāļ§āļēāļĄāļāļļāđāļāļāđāļē/āļāđāļēāļāļāļāļĩāđāđāļāļāļīāđāļĨāđāļāļāļĢāļīāļ
- āļāļēāļĢāđāļāļĨāļĩāđāļĒāļāđāļāļĨāļāļāļ§āļēāļĄāļāđāļēāļāļāļēāļ/āļāđāļēāļāļēāļĢāļāļģāđāļāļāđāļē
āļāļąāļ§āļāļĒāđāļēāļāļāļēāļĢāđāļāđāļāļēāļ
- āđāļŦāļĄāļ ResiScope, āļŠāļąāļāļāļēāļāļāļ§āļēāļĄāļāđāļēāļāļāļēāļ, āļ§āļēāļāļēāđāļāļĩāļĒāļĄāđāļāļāļāļāđāļāļāđ (VO2), 15Âĩm
- āđāļŦāļĄāļ HD-KFM: āļāļ§āļēāļĄāđāļ§āļŠāļđāļāđāļĨāļ°āļāļ§āļēāļĄāļĨāļ°āđāļāļĩāļĒāļāđāļāļīāļāļāļ·āđāļāļāļĩāđāļāļĩāđāđāļŦāļāļ·āļāļāļ§āđāļē
- āđāļŦāļĄāļ sMIM: āļāļēāļĢāļāļģāđāļāļāļāļĩāđāļāđāļēāļāļāļāļĩāđāđāļāļāļīāđāļĨāđāļāļāļĢāļīāļāđāļĨāļ°āļāđāļēāļāļēāļĢāļāļģāđāļāļāđāļēāđāļāļĢāļ°āļāļąāļāļāļēāđāļ