ICP Etching – 300 เครื่องกัดผิวแบบ Inductively Coupled Plasma (ICP) สำหรับงานไมโครและนาโนแฟบริเคชัน

ภาพรวมผลิตภัณฑ์
ภาพรวมเทคโนโลยี ICP
Inductively Coupled Plasma (ICP) เป็นเทคโนโลยีการกัดแบบแห้งขั้นสูงที่ใช้กันอย่างแพร่หลายในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ การประมวลผลอุปกรณ์ไมโครอิเล็กทรอนิกส์ และระบบ Micro-Electro-Mechanical Systems (MEMS) เมื่อเทียบกับ Reactive Ion Etching (RIE) แบบดั้งเดิม ICP ให้ความหนาแน่นพลาสมาที่สูงกว่า พลังงานไอออนที่ต่ำกว่า และอัตราการกัดที่สูงขึ้น ทำให้เหมาะสำหรับกระบวนการกัดที่มีความแม่นยำสูง

คุณสมบัติ
1. การสร้างพลาสมา

• ระบบ ICP ใช้พลังงาน RF (Radio Frequency) ผ่านขดลวดเหนี่ยวนำเพื่อสร้างพลาสมาความหนาแน่นสูงในห้องสุญญากาศ
• สนามแม่เหล็กไฟฟ้าสลับทำให้โมเลกุลของก๊าซแตกตัวเป็นไอออน และสร้างพลาสมาความหนาแน่นสูง (10¹¹-10¹² cm³)
• ต่างจาก RIE, ICP แยกความหนาแน่นของไอออนออกจากพลังงานไอออน ทำให้สามารถควบคุมพารามิเตอร์เหล่านี้ได้อย่างอิสระ

2. การชนด้วยไอออนและปฏิกิริยาเคมี

• พลาสมาความหนาแน่นสูงช่วยให้การกัดเป็นไปอย่างสม่ำเสมอ โดยพลังงานไอออนถูกควบคุมอย่างแม่นยำ
• ก๊าซกัดจะแตกตัวในพลาสมาเพื่อสร้างอนุมูลอิสระที่มีปฏิกิริยาสูง ซึ่งทำปฏิกิริยาเคมีกับพื้นผิวของวัสดุ
• การชนด้วยไอออนพลังงานต่ำช่วยในการกำจัดผลพลอยได้ที่ระเหยได้

3. การควบคุมอิสระ

• ระบบ ICP มักมีแหล่งจ่าย RF สองแบบ:
  - Coil Power (ICP Power): ควบคุมความหนาแน่นของพลาสมา
  - Substrate Bias Power: ควบคุมพลังงานไอออนและทิศทาง

การใช้งาน
1. การผลิตเซมิคอนดักเตอร์

• การสร้าง High Aspect Ratio Silicon Vias (TSV)
• การผลิต FinFET, CMOS และอุปกรณ์ขั้นสูง
• เทคโนโลยีวงจรรวม 3D

2. ระบบ Micro-Electro-Mechanical Systems (MEMS)

• ไมโครเซ็นเซอร์ (เช่น เซ็นเซอร์ความดัน, accelerometers)
• ไมโครแอคชูเอเตอร์
• การผลิตโครงสร้างขนาดเล็กบนซิลิคอน

3. อุปกรณ์ออปโตอิเล็กทรอนิกส์

• ส่วนประกอบ Optical waveguide
• การผลิตอุปกรณ์เลเซอร์
• การผลิตฟิล์มบางออปติคัล

4. นาโนเทคโนโลยี

• การกัด Nano-pore array
• อุปกรณ์เก็บข้อมูลความหนาแน่นสูง
• อุปกรณ์นาโนโฟโตนิกส์

5. เทคโนโลยีการบรรจุภัณฑ์ขั้นสูง

• Wafer-Level Packaging (WLP)
• เทคโนโลยีการเชื่อมต่อความหนาแน่นสูง

6. งานวิจัย

• การศึกษาโครงสร้างไมโครและนาโน
• การประมวลผลพื้นผิววัสดุ
• การปรับปรุงกระบวนการไมโครอิเล็กทรอนิกส์