Pioneer 120 Advanced PLD System ระบบ Pulsed Laser Deposition (PLD) ขั้นสูง สำหรับงานเคลือบฟิล์มบางระดับไมโคร-นาโน

ภาพรวมผลิตภัณฑ์

Neocera Pioneer Series PLD System
การออกแบบที่สร้างสรรค์จากประสบการณ์อันยอดเยี่ยม Neocera ได้ทำการวิจัยอย่างกว้างขวางโดยใช้ PLD เพื่อกำหนดพารามิเตอร์สำคัญสำหรับการบรรลุคุณภาพของฟิล์ม โดยเฉพาะสำหรับการสะสมฟิล์มออกไซด์ที่ซับซ้อน การพิจารณาเหล่านี้ได้ถูกนำมาใช้ในการออกแบบระบบ Pioneer

• ฟิล์มออกไซด์ที่ซับซ้อนหลายชนิดถูกทำให้เย็นลงที่ความดันออกซิเจนค่อนข้างสูง (>100 Torr) เพื่อให้ได้คุณภาพที่สูงขึ้น คุณลักษณะนี้มีอยู่ในระบบ Pioneer ทุกรุ่น (ช่วงความดันตั้งแต่ความดันเริ่มต้นจนถึงความดันบรรยากาศ) ซึ่งยังเป็นประโยชน์ต่อการสร้างอนุภาคนาโนอีกด้วย
• ระบบ Pioneer PLD มีมุมตกกระทบของลำแสงเลเซอร์ที่ 45° ซึ่งช่วยรักษาความสม่ำเสมอของความหนาแน่นเลเซอร์บนเป้าหมายให้สูงสุด โดยหลีกเลี่ยงการใช้เลนส์ที่ซับซ้อนและมีราคาแพง มุมตกกระทบที่ใหญ่กว่าจะทำให้จุดเลเซอร์บนเป้าหมายยาวขึ้น ส่งผลให้ความสม่ำเสมอของความหนาแน่นลดลง
• เพื่อหลีกเลี่ยงการใช้ปั๊มสุญญากาศที่เข้ากันได้กับออกซิเจนที่มีราคาแพง และเพื่อกำจัดผลกระทบของการไหลกลับของน้ำมันต่อคุณภาพฟิล์ม ระบบ Pioneer ทุกรุ่นมาพร้อมกับระบบปั๊มที่ปราศจากน้ำมันเป็นมาตรฐาน
• การวิจัยของเราแสดงให้เห็นว่าระยะห่างระหว่างเป้าหมายและพื้นผิวเป็นพารามิเตอร์สำคัญสำหรับการบรรลุคุณภาพฟิล์ม ระบบ Pioneer ควบคุมระยะห่างระหว่างเป้าหมายและพื้นผิวเพื่อให้ได้สภาวะการสะสมที่เหมาะสมที่สุด

ทิศทางการใช้งาน
Pulsed Laser Deposition (PLD) เป็นเทคนิคการสะสมฟิล์มบางที่ใช้กันอย่างแพร่เดิม พัลส์เลเซอร์จะระเหยเป้าหมายอย่างรวดเร็ว ทำให้เกิดฟิล์มบางที่เหมือนกับเป้าหมาย คุณลักษณะเฉพาะของ PLD คือแหล่งพลังงาน (พัลส์เลเซอร์) อยู่ภายนอกห้องสุญญากาศ ด้วยวิธีนี้ เมื่อวัสดุถูกสังเคราะห์ ช่วงความดันทำงานจะกว้างมาก ตั้งแต่ 10^-10 Torr ถึง 100 Torr โดยการควบคุมความดันและอุณหภูมิของการเคลือบ สามารถสังเคราะห์โครงสร้างนาโนและอนุภาคนาโนที่มีฟังก์ชันเฉพาะได้ นอกจากนี้ PLD ยังเป็นเทคโนโลยี "ดิจิทัล" ที่ควบคุมกระบวนการ (Å/pulse) ในระดับนาโน

• Neocera มีประสบการณ์อันยอดเยี่ยมในด้านอุปกรณ์ PLD และการพัฒนากระบวนการ ระบบ PLD ในซีรีส์ Pioneer ถูกใช้อย่างแพร่หลายในการวิจัยและพัฒนาทั่วโลก Neocera ไม่เพียงแต่จัดหา PLD ระบบพื้นฐานให้กับลูกค้าเท่านั้น แต่ยังมีโซลูชันแบบครบวงจรสำหรับห้องปฏิบัติการ PLD อีกด้วย