KLA related (Profilm3D/R50-4PP)

Filmetrics® R50 เป็นระบบวัดความหนาฟิล์มบางด้วยเทคโนโลยี Optical Metrology สำหรับการวิเคราะห์ความหนาและคุณสมบัติของฟิล์มในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ ไมโครอิเล็กทรอนิกส์ และวัสดุขั้นสูง รองรับการวัด thin film หลายชั้นด้วยความแม่นยำสูง

Profilm3D® Optical Profilometer เป็นระบบวัดโปรไฟล์พื้นผิวแบบ 3 มิติด้วยเทคโนโลยีออปติคัลสำหรับการวิเคราะห์ความขรุขระ ความสูง และลักษณะพื้นผิวระดับไมโครและนาโน เหมาะสำหรับอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ ไมโครอิเล็กทรอนิกส์ และงานวิจัยด้านวัสดุศาสตร์