KLA related (Profilm3D/R50-4PP)

Filmetrics® R50 ialah sistem pengukuran ketebalan filem menggunakan teknologi metrologi optik. Sistem ini digunakan untuk analisis ketebalan filem nipis dalam industri semikonduktor, mikroelektronik dan sains bahan dengan ketepatan tinggi termasuk analisis filem berbilang lapisan.

Profilm3D® Optical Profilometer ialah sistem pengukuran profil permukaan 3D menggunakan teknologi metrologi optik. Ia digunakan untuk analisis topografi permukaan, kekasaran permukaan dan struktur mikro-nano dalam industri semikonduktor, mikroelektronik dan penyelidikan bahan.