āļ āļēāļāļĢāļ§āļĄāļāļĨāļīāļāļ āļąāļāļāđ
āđāļāļāđāļāđāļĨāļĒāļĩ MEMS āļāļĩāđāđāļāđāļāđāļāļāļĨāļąāļāļĐāļāđāļāļāļ Norcada āļāđāļ§āļĒāđāļŦāđāļāļīāļ E-Biasing āļŠāļģāļŦāļĢāļąāļāļāļēāļĢāļ§āļīāđāļāļĢāļēāļ°āļŦāđ In-Situ āđāļāļīāļāļŠāļąāļĄāļāļąāļāļāđāđāļāļāļĨāđāļāļāļāļļāļĨāļāļĢāļĢāļĻāļāđāļāļīāđāļĨāđāļāļāļĢāļāļāđāļĨāļ°āļĢāļąāļāļŠāļĩāđāļāļāļāđ āđāļĨāļ°āđāļāđāļēāļāļąāļāđāļāđāļāļąāļāļāļąāļ§āļĒāļķāļāđāļŦāđāļāļ§āļēāļĄāļĢāđāļāļāđāļĨāļ°āđāļāļāļąāļŠāļāļāļ Norcada, Hitachi āđāļĨāļ° Mel-Build
āļĒāļđāļāļīāļāđāļŦāļĨāđāļēāļāļĩāđāđāļŦāļĄāļēāļ°āļāļĒāđāļēāļāļĒāļīāđāļāļŠāļģāļŦāļĢāļąāļāđāļāļāļąāļŠ AC āđāļĨāļ° DC āđāļāļāļēāļĢāļāļģāļŦāļāļāļāđāļēāđāļāļ 2-Probe āđāļĨāļ° 4-Probe