āļ āļēāļāļĢāļ§āļĄāļāļĨāļīāļāļ āļąāļāļāđ
āļĢāļ°āļāļ VAIS-AMT series āđāļāđāļĢāļąāļāļāļēāļĢāļāļąāļāļāļēāļāļķāđāļāđāļāļāļĩ 2007 āđāļĨāļ°āđāļāđāļāļĢāļ°āļāļāļāđāļāļāļāļąāļāļāļēāļĢāļŠāļąāđāļāļŠāļ°āđāļāļ·āļāļāđāļāļāđāļāļāļāļĩāļāđāļāļāļāļąāđāļāđāļāđāļ°āļāļĩāđāđāļāđāļĢāļąāļāļāļēāļĢāļ§āļēāļāļāļĨāļēāļāđāļāđāļāļāļĢāļąāđāļāđāļĢāļāđāļāđāļāļēāļŦāļĨāļĩ āļĢāļ°āļāļāļāļĩāđāļŠāļēāļĄāļēāļĢāļāļāļāļāļŠāļāļāļāļĄāļēāļāļĢāļāļēāļ IEST VC-G class āļŠāļģāļŦāļĢāļąāļāļŠāļ āļēāļāđāļ§āļāļĨāđāļāļĄāļāļĩāđāļāļĢāļēāļĻāļāļēāļāļāļēāļĢāļŠāļąāđāļāļŠāļ°āđāļāļ·āļāļ āđāļāļ·āđāļāļĢāļāļāļĢāļąāļ Atomic Force Microscope (AFM) āļāļķāđāļāđāļāđāļāļāļļāļāļāļĢāļāđāļāļĩāđāđāļ§āļāđāļāļāļēāļĢāļĢāļāļāļ§āļāļāļēāļĢāļŠāļąāđāļāļŠāļ°āđāļāļ·āļāļāļāļ§āļēāļĄāļāļĩāđāļāđāļģ
VAIS-AMT āļĒāļąāļāļāđāļ§āļĒāļāļģāļāļąāļāļāļąāļāļŦāļēāļāļēāļĢāļŠāļąāđāļāļāđāļāļāļāļāļāļĢāļ°āļāļāļāđāļāļāļāļąāļāļāļēāļĢāļŠāļąāđāļāļŠāļ°āđāļāļ·āļāļāđāļāļāļāļēāļŠāļāļĩāļāļāđāļ§āļĒāļāļąāđāļāļāļāļāļāļēāļĢāļāļīāļāļāļąāđāļāđāļĨāļ°āļāļēāļĢāđāļāđāļāļēāļāļāļĩāđāļāđāļēāļĒāļāļēāļĒ āļāļąāđāļāđāļāđāđāļĢāļīāđāļĄāļ§āļēāļāļāļĨāļēāļ VAIS-AMT āđāļāđāļĢāļąāļāļāļēāļĢāļĒāļāļĄāļĢāļąāļāļāļēāļāļāļđāđāļāļĨāļīāļ AFM āļāļąāđāļ§āđāļĨāļāđāļāļāđāļēāļāļāļĢāļ°āļŠāļīāļāļāļīāļ āļēāļāļāļĩāđāļĒāļāļāđāļĒāļĩāđāļĒāļĄāđāļĨāļ°āļĢāļēāļāļēāļāļĩāđāđāļāđāļāļāļąāļāđāļāđ āđāļĨāļ°āļāļđāļāļāļģāđāļāđāļāđāđāļāđāļāļĢāļ·āđāļāļāļĄāļ·āļāļ§āļąāļāļāļēāđāļāļāđāļēāļāđ
āļāđāļāļĄāļđāļĨāļāļ·āđāļāļāļēāļ
| āļĢāļļāđāļ | AMTR45 | AMTR56 |
| āļāļāļēāļāđāļāđāļ [āļĄāļĄ.] | 396(āļāļ§āđāļēāļ) x 496(āļĒāļēāļ§) | 496(āļāļ§āđāļēāļ) x 596(āļĒāļēāļ§) |
| āļāļ§āļēāļĄāļŠāļđāļ [āļĄāļĄ.] | 110 | |
| āļāđāļģāļŦāļāļąāļāļāļąāļ§āđāļāļ | 23 āļāļ. | 37 āļāļ. |
| āļāđāļģāļŦāļāļąāļāļāļĩāđāļĢāļąāļāđāļāđ | 0~60 āļāļ. | 0~150 āļāļ. |
| āļāļĢāļ°āđāļ āļāđāļāđāļ | āđāļāđāļāļāļĨāļđāļĄāļīāđāļāļĩāļĒāļĄ (āļĄāļēāļāļĢāļāļēāļ) / āđāļāđāļāļāļĨāļđāļĄāļīāđāļāļĩāļĒāļĄāđāļāļēāļ°āđāļāļĨāļĩāļĒāļ§ M-6 (āļāļąāļ§āđāļĨāļ·āļāļ) | |
| āļāđāļ§āļāļāļ§āļāļāļļāļĄ | 0.5 ~ 1,000 Hz | |
| āļāļĢāļ°āđāļ āļāļāļ§āļāļāļļāļĄ | Feedback & Floor Feed Forward Control | |
| āđāļĢāļ Actuator | āđāļāļ§āļāļąāđāļ : 8N / āđāļāļ§āļāļāļ : 4N | |
| āđāļĢāļāļāļąāļāđāļāļāđāļēāļāļēāđāļāđāļē | AC 100 ~ 230V / 50 ~ 60Hz |
āļāļīāļĻāļāļēāļāļāļēāļĢāđāļāđāļāļēāļ
1. āļāļąāļāļāļķāļāļāļēāļĢāđāļāđāļāļēāļ
(1) VAIS-AMT series āđāļāđāļĢāļąāļāļāļēāļĢāļāļąāļāļāļēāļāļķāđāļāđāļāļ·āđāļāļĢāļāļāļĢāļąāļ AFM/SPM āļāļķāđāļāļāđāļāļāļāļēāļĢāđāļ§āļĨāļēāļāļēāļāđāļāļāļēāļĢāđāļāđāļ āļēāļāļāļĩāđāļĄāļĩāļāļĢāļ°āļŠāļīāļāļāļīāļ āļēāļāļŠāļđāļāļŠāļļāļ āļāļ§āļēāļĄāļŠāļēāļĄāļēāļĢāļāļāļāļāļĢāļ°āļāļāđāļāļāļēāļĢāļŠāļĢāđāļēāļāļŠāļ āļēāļāđāļ§āļāļĨāđāļāļĄāļāļēāļĢāļŠāļąāđāļāļŠāļ°āđāļāļ·āļāļāļāļĩāđāđāļŠāļāļĩāļĒāļĢāđāļāđāļĢāļąāļāļāļēāļĢāļāļĢāļ§āļāļŠāļāļāļāļĒāđāļēāļāļĨāļ°āđāļāļĩāļĒāļāđāļāļĒāļāļđāđāļāļĨāļīāļ AFM āļāļąāđāļ§āđāļĨāļāđāļĨāļ°āļāļđāļāļāļģāđāļāđāļāđāđāļāļŠāļāļēāļāļāļĩāđāļāđāļēāļāđ
(2) āļāđāļ§āļĒāļāļĢāļ°āļŠāļāļāļēāļĢāļāđāđāļāļāļēāļĢāļāļģāļāļēāļāļāļąāļ AFM āļāļĩāđāđāļ§āļāđāļāļāļēāļĢāļŠāļąāđāļāļŠāļ°āđāļāļ·āļāļ VAIS-AMT āļāļģāļĨāļąāļāļāļĒāļēāļĒāļāļāļāđāļāļāļāļēāļĢāđāļāđāļāļēāļāđāļāļĒāļąāļāļāļĨāđāļāļāļāļļāļĨāļāļĢāļĢāļĻāļāđāļāđāļēāļāđ āļāļĩāđāļāđāļāļāļāļēāļĢāļāļēāļĢāļ§āļąāļāļāļ§āļēāļĄāđāļĄāđāļāļĒāļģāļŠāļđāļ āļĢāļ§āļĄāļāļķāļāļāļĨāđāļāļāļāļļāļĨāļāļĢāļĢāļĻāļāđāļāļāļāļāļīāļāļąāļĨāļĢāļ°āļāļąāļāļŠāļđāļ āđāļāļĢāļ·āđāļāļāļ§āļąāļāļāļ·āđāļāļāļīāļ§ 3 āļĄāļīāļāļī SEM āđāļāļāļāļąāđāļāđāļāđāļ° āđāļĨāļ°āļĢāļ°āļāļāļ§āļąāļāļāļ§āļēāļĄāđāļāđāļāļāļēāđāļ
(3) āļāđāļ§āļĒāļāļēāļĢāļāļģāļāļąāļāļāļąāļāļŦāļēāļāļēāļĢāļāļĒāļēāļĒāļāļēāļĢāļŠāļąāđāļāļŠāļ°āđāļāļ·āļāļ (āļāļēāļĢāļŠāļąāđāļāļāđāļāļ) āļāļāļāļĢāļ°āļāļāļāđāļāļāļāļąāļāļāļēāļĢāļŠāļąāđāļāļŠāļ°āđāļāļ·āļāļāđāļāļāļāļēāļŠāļāļĩāļāļāđāļ§āļĒāļĨāļĄāđāļĨāļ°āļĢāļēāļāļēāļāļĩāđāđāļāđāļāļāļąāļāđāļāđ VAIS-AMT series āļāļ°āļĄāļļāđāļāļĄāļąāđāļāđāļāļ·āđāļāđāļŦāđāļŠāļ āļēāļāđāļ§āļāļĨāđāļāļĄāļāļēāļĢāļŠāļąāđāļāļŠāļ°āđāļāļ·āļāļāļāļĩāđāđāļŦāļĄāļēāļ°āļŠāļĄāļŠāļģāļŦāļĢāļąāļāļāļļāļāļāļĢāļāđāļ§āļīāđāļāļĢāļēāļ°āļŦāđāļāļąāđāļāļŦāļĄāļāļāļĩāđāļāđāļāļāļāļēāļĢāļāļēāļĢāļ§āļąāļāđāļāļĢāļ°āļāļąāļāļāļēāđāļ
2.āđāļāļĢāļ·āđāļāļāļĄāļ·āļāđāļāđāļēāļŦāļĄāļēāļĒ