High Concentration Ozone Destroyer

หมวดหมู่ : Product , Products Fabs , Micro-nano Fabrication , Ozone Delivery System (Clean products & prepare the sample machine)

รายละเอียดสินค้า

ข้อมูลจำเพาะ

โครงสร้างฟังชั่น

ภาพรวมผลิตภัณฑ์

High Concentration Ozone Destroyer
เครื่องทำลายโอโซนความเข้มข้นสูงได้รับการออกแบบมาเพื่อกำจัดโอโซนที่เหลือจากกระบวนการต่างๆ ในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ โดยเฉพาะในกระบวนการที่ใช้โอโซนความเข้มข้นสูง เช่น CVD, ALD, MOCVD, Ashers และ Wet tools

ทิศทางการใช้งาน

CVD (Chemical Vapor Deposition): กำจัดโอโซนที่เหลือจากกระบวนการเคลือบ
ALD (Atomic Layer Deposition): กำจัดโอโซนที่ใช้ในกระบวนการเคลือบชั้นบาง
MOCVD (Metal Organic Chemical Vapor Deposition): กำจัดโอโซนที่ใช้ในกระบวนการเคลือบสารกึ่งตัวนำ
Ashers: กำจัดโอโซนที่ใช้ในกระบวนการขจัดโฟโตเรซิสต์
Wet tools: กำจัดโอโซนที่ใช้ในกระบวนการทำความสะอาดและกัดเซาะ

สรุป
เครื่องทำลายโอโซนความเข้มข้นสูงนี้เป็นเครื่องมือที่สำคัญสำหรับอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ ด้วยประสิทธิภาพสูงในการทำลายโอโซนและการออกแบบที่ง่ายต่อการติดตั้งและบำรุงรักษา ทำให้เหมาะสำหรับกระบวนการต่างๆ ที่ใช้โอโซนความเข้มข้นสูง