SUME MA-L8 Series (SEMI-AUTOMATED MASK ALIGNER)

ข้อมูลพื้นฐาน

SUME MA-L8 เป็นเครื่องฉายแสงแบบกึ่งอัตโนมัติที่มีการจัดแนวสองด้านที่มีความแม่นยำสูง ซึ่งดำเนินการกระบวนการฉายแสงมาตรฐานที่มีคุณภาพสูง นอกจากนี้ยังสามารถปรับแต่งการออกแบบและพัฒนาตามการสะสมทางเทคนิคของทีมในด้านการฉายแสงส่วนหน้า ร่วมกับข้อกำหนดกระบวนการจริงของลูกค้า ผลิตภัณฑ์ SUME MA-L8 series กำลังสร้างมาตรฐานใหม่สำหรับอุปกรณ์ฉายแสงในตลาดวิชาการ MEMS และ NEMS การรวม 3 มิติ และเซมิคอนดักเตอร์สารประกอบ

ทิศทางการใช้งาน

ความแม่นยำสูงนำไปสู่งานฝีมือที่มีคุณภาพสูงขึ้น

SUME MA-L8 series สามารถติดตั้งระบบ TSA (top-side alignment) ที่มีความแม่นยำสูง รองรับความแม่นยำในการจัดแนวลงไปถึง 0.25 μm (ต้องใช้พารามิเตอร์บางอย่าง) ได้อย่างน่าเชื่อถือ โดยรองรับการจัดแนวอัตโนมัติหรือโดยตรง การใช้งานมากมาย เช่น บรรจุภัณฑ์ MEMS จำเป็นต้องมีการจัดแนวทั้งสองด้านของพื้นผิว SUME MA-L8 series สามารถติดตั้งกล้องจุลทรรศน์ด้านล่างแบบ bright-field เป็นอุปกรณ์เสริม ทำให้สามารถจัดแนวได้

ประสิทธิภาพ

ประสิทธิภาพด้านต้นทุนที่ยอดเยี่ยม

ด้วยการออกแบบตามหลักสรีรศาสตร์ที่ได้รับการปรับปรุงและใช้งานง่าย ประสิทธิภาพด้านต้นทุน และขนาดที่เล็กลง SUME MA-L8 series เป็นเครื่องมือที่สมบูรณ์แบบสำหรับใช้ในการวิจัยและการผลิตปริมาณน้อย

นอกจากนี้ อุปกรณ์นี้ยังติดตั้งแหล่งกำเนิดแสง LED ประหยัดพลังงานเป็นมาตรฐานสำหรับผู้ใช้ ซึ่งสามารถประหยัดค่าดำเนินการและค่าบำรุงรักษาได้มากขึ้น อุปกรณ์มีความทนทานและทนทาน และการออกแบบแบบโมดูลาร์ทำให้การเปลี่ยนส่วนประกอบเป็นเรื่องง่าย ด้วยการใช้แหล่งกำเนิดแสง LED SUME MA-L8 series ช่วยลดค่าบำรุงรักษาลงอย่างมาก