Siri SUME MA-L8 (SEPARUH AUTOMATED MASK ALIGNER)

Penerangan Produk

Spesifikasi

Maklumat Asas

SUME MA-L8 ialah mesin litografi matik separa automatik penjajaran dua sisi berketepatan tinggi yang melakukan proses litografi standard

dengan kualiti yang tinggi. Ia juga boleh disesuaikan reka bentuk dan pembangunan mengikut pengumpulan teknikal pasukan dalam bidang litografi front-end, digabungkan dengan keperluan proses sebenar pelanggan. Produk siri SUME MA-L8 menetapkan penanda aras baharu untuk peranti litografi dalam pasaran akademik, MEMS dan NEMS, penyepaduan 3D dan semikonduktor kompaun.

Arahan Permohonan

Ketepatan tinggi membawa kepada kraf berkualiti tinggi

keperibadian.

Siri SUME MA-L8 boleh dilengkapi dengan sistem TSA（penjajaran sisi atas） yang sangat tepat. Ia pasti menyokong ketepatan penjajaran sehingga 0.25 μm (memerlukan parameter tertentu), disokong oleh penjajaran automatik atau langsung.

Banyak aplikasi seperti pembungkusan MEMS memerlukan penjajaran pada kedua-dua belah substrat. Siri SUME MA-L8 secara pilihan boleh dilengkapi dengan mikroskop bahagian bawah medan terang, menyediakan penjajaran

Prestasi

Prestasi kos yang sangat baik

Dengan reka bentuk ergonomik dan mesra pengguna yang dipertingkatkan, kecekapan kos dan jejak yang dikurangkan, siri SUME MA-L8 ialah alat yang sempurna untuk digunakan dalam

penyelidikan dan pengeluaran volum rendah.

Di samping itu, peralatan ini dilengkapi dengan sumber cahaya LED penjimatan tenaga sebagai standard untuk pengguna, yang boleh menjimatkan lebih banyak kos operasi dan penyelenggaraan. Peralatan ini kukuh dan tahan lama, dan reka bentuk modularnya memudahkan penggantian komponen. Dengan penggunaan LED

sumber cahaya, siri SUME MA-L8 sangat mengurangkan kos penyelenggaraan.