Semiconductor Industry-High Concentration Ozone Water Machine

Bekalan DIO3 Berbilang Ruang；
Kepekatan Air Ozon Terlarut：5-100ppm；
Kepekatan ozon malar dan tekanan operasi pada kadar aliran yang berbeza-beza;
Monitor air O3 terlarut disepadukan;
Ultra bersih untuk proses Semikonduktor;
Sistem kawalan kepekatan DIO3 gelung tutup;
Unit pengasingan gas-cecair disepadukan, air ozon bebas gelembung;
Penyentuh ozon kecekapan tinggi;
Pensijilan SEMI-S2 dan CE;
Permohonan: Pembersihan, penyaman permukaan, Goresan