Wafer Internal Stress Tester SV200

ภาพรวมผลิตภัณฑ์

มีฟังก์ชั่นการตรวจจับการวัดการกระจายความเค้นและการคัดกรองข้อบกพร่องในเวเฟอร์ผสม

ทิศทางการใช้งาน

เหมาะสำหรับการตรวจจับความเค้นภายในของเวเฟอร์ผสมรุ่นที่สาม เวเฟอร์แก้ว และส่วนประกอบออปติคอลที่มีความแม่นยำ (คริสตัลแบน ปริซึม แผ่นเวฟ เลนส์ ฯลฯ)

ลักษณะทางเทคนิค:

ข้อดี:

• ขึ้นอยู่กับแบบจำลองการวัดความเค้นแบบไบรีฟริงเจนซ์ ทำให้สามารถวัดความเค้นได้ทันที และแสดงแผนที่สีหลอกของการกระจายสองมิติของความเค้น
• ใช้เส้นทางแสงตรวจจับแบบเทเลเซนตริกคู่ และความแม่นยำในการวัดความล่าช้าของเฟสสูง
• มีเลนส์หลากหลายให้เลือกตามความต้องการของสนามวัดที่แตกต่างกัน
• ถาดตัวอย่างแบบกำหนดเองเพื่อปรับให้เข้ากับการทดสอบเวเฟอร์เป็นชุดที่มีข้อกำหนดที่แตกต่างกัน

สาขาการใช้งาน

• เหมาะสำหรับอุตสาหกรรมการผลิตเวเฟอร์ผสม การแปรรูปที่มีความแม่นยำทางแสง และอุตสาหกรรมอื่นๆ