SUME BW510 Series (Wafer Bonding System)

ข้อมูลพื้นฐาน

SUME BW510 เป็นอุปกรณ์เชื่อมเวเฟอร์แบบกึ่งอัตโนมัติที่ใช้สำหรับการวิจัยและพัฒนาหรือการผลิตชุดเล็ก มีความสม่ำเสมอของแรงกดและอุณหภูมิที่ดี การออกแบบโครงสร้างที่เป็นเอกลักษณ์ช่วยให้มั่นใจได้ว่าแผ่นแรงกดเชื่อมติดจะอยู่ในแนวราบสัมพัทธ์ ระบบสุญญากาศขั้นสูงและการออกแบบช่องทำให้สะดวก การแก้ไขเมนูที่ง่ายและการตรวจสอบสถานะอุปกรณ์ตลอดจนฟังก์ชั่นการป้องกันความปลอดภัย SUME BW510 เข้ากันได้กับขนาดเวเฟอร์ส่วนใหญ่ การออกแบบห้องเปิด การบำรุงรักษาง่าย และการแปลงข้อกำหนดที่แตกต่างกัน ขนาดเล็ก และฟังก์ชั่นที่สมบูรณ์.

เพื่อให้ลูกค้าได้รับชุดโซลูชันที่สมบูรณ์ เช่น การจัดแนวเวเฟอร์ การเชื่อมเวเฟอร์ การวัดและการตรวจสอบ และการควบคุมกระบวนการ และให้บริการความต้องการด้านการวิจัยและพัฒนาและการผลิตจำนวนมากของลูกค้าอย่างเต็มที่

ด้านการใช้งาน

SUME BW510 เป็นอุปกรณ์เชื่อมที่มีความยืดหยุ่นสูงซึ่งสามารถรองรับชิปเดี่ยวได้ถึงขนาดเวเฟอร์ 200 มม. อุปกรณ์รองรับกระบวนการเชื่อมเวเฟอร์ทั่วไป เช่น การเชื่อมแบบยูเทคติก การเชื่อมโลหะ การเชื่อมด้วยกาว การเชื่อมโดยตรง และข้อกำหนดกระบวนการอื่นๆ การออกแบบห้องเชื่อมที่ใช้งานง่ายช่วยให้เปลี่ยนเครื่องมือได้อย่างรวดเร็วเพื่ออำนวยความสะดวกในการประมวลผลกระบวนการขนาดอื่นๆ ซ้ำในเวลาน้อยกว่า 5 นาที เหมาะอย่างยิ่งสำหรับการผลิตชุดเล็กในห้องปฏิบัติการ สถาบันวิจัย หรือบริษัทต่างๆ เมนูสามารถคัดลอกไปยังอุปกรณ์เชื่อมอื่นๆ ได้โดยตรงเพื่ออำนวยความสะดวกในการผลิตที่ขยายออก

ข้อดี

SUME BW510 มีฟังก์ชั่นมากกว่าและเอฟเฟกต์ที่ดีกว่าอุปกรณ์เชื่อมที่คล้ายกัน เมื่อรวมกับการยศาสตร์ที่เป็นมิตรของอุปกรณ์และระบบปฏิสัมพันธ์กับผู้ใช้ ทำให้การผลิตเร็วขึ้นและสะดวกยิ่งขึ้น ทำให้ผลผลิตของผลิตภัณฑ์สูงขึ้นและมีประสิทธิภาพมากขึ้น ช่วยลดค่าบำรุงรักษาและทำให้การบำรุงรักษามีประสิทธิภาพมากขึ้น ทำให้เป็นตัวเลือกแรกสำหรับหน่วยงานวิจัยทางวิทยาศาสตร์และเป้าหมายการผลิตชุดเล็ก

ไฮไลท์

• ช่องเชื่อมสุญญากาศสูง
• การทำความร้อนและการดูดฝุ่นที่เร็วขึ้นเพื่อเพิ่มผลผลิต
• สามารถผลิตผลิตภัณฑ์ชิปเดี่ยวถึง 200 มม.
• เข้ากันได้กับการทดลองและการผลิต
  
• ระดับระบบอัตโนมัติของโปรแกรมสูง
• การควบคุมต้นทุนที่ดีขึ้น